一种抑制MEMS微镜串扰的方法技术

本申请提供一种抑制MEMS微镜串扰的方法。由于MEMS微镜的串扰来源于机械耦合引起的高频谐振，因此本申请抑制MEMS微镜串扰的方法包括抑制MEMS微镜的高频机械谐振的步骤；抑制MEMS微镜高频谐振的方式可以通过增大第一致动器与第二致动器之间的谐振频率差，从而有效抑制双轴之间的串扰，且不以牺牲双轴的偏转角度为代价，保证MEMS微镜在各个轴向上的偏转性能；抑制MEMS微镜的高频机械谐振的方式还可以通过对激励信号进行滤波，有效滤除激励信号中的高频信号分量，减少高频谐振对MEMS微镜控制的干扰，提升MEMS微镜的控制精度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及微机电系统，特别涉及一种抑制mems微镜串扰的方法。

技术介绍

1、在微机电系统(mems)领域，mems微镜技术因其在尺寸、响应速度和精度方面的优势而备受关注。mems准静态微镜，特别是双轴致动器类型的，已成为现代激光扫描系统中不可或缺的组件，广泛应用于光探测和测距(lidar)、生物医学成像、激光跟踪瞄准与通信以及激光投影显示等领域。

2、然而，尽管mems准静态微镜具有诸多优势，但在实际应用中仍面临诸多挑战，其中双轴串扰问题尤为突出。双轴串扰是指在驱动微镜某一轴运动时，由于机械结构、电磁耦合或其他物理因素的影响，导致另一轴也产生非预期的运动，进而使得微镜的真实运动状态与预期设置的运动状态之间存在显著偏差。这种偏差不仅会降低系统的控制精度，还可能影响整个系统的稳定性和可靠性。

3、为了解决双轴串扰问题，研究人员已尝试多种方法。其中，模拟滤波是一种常用的技术手段，通过设计专门的滤波电路来抑制高频谐振，进而减弱双轴之间的串扰。但是，这种方法在抑制串扰的同时，也可能滤除部分正常的驱动信号，影响微镜的动态性能。此外，过阻尼本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种抑制MEMS微镜串扰的方法，其特征在于，MEMS微镜包括镜面、以所述镜面为对称中心沿第一方向对称设置的两个第一致动器、以及以所述镜面为对称中心沿第二方向对称设置的两个第二致动器，所述第一致动器和所述第二致动器驱动所述镜面偏转，所述第一方向与所述第二方向垂直；

2.根据权利要求1所述的抑制MEMS微镜串扰的方法，其特征在于，所述增大所述第一致动器与所述第二致动器之间的谐振频率差包括改变所述第一致动器或所述第二致动器的刚度、或者改变MEMS微镜的转动惯量。

3.根据权利要求2所述的抑制MEMS微镜串扰的方法，其特征在于，所述改变所述第一致动器或所述第二致动器的...

【技术特征摘要】

1.一种抑制mems微镜串扰的方法，其特征在于，mems微镜包括镜面、以所述镜面为对称中心沿第一方向对称设置的两个第一致动器、以及以所述镜面为对称中心沿第二方向对称设置的两个第二致动器，所述第一致动器和所述第二致动器驱动所述镜面偏转，所述第一方向与所述第二方向垂直；

2.根据权利要求1所述的抑制mems微镜串扰的方法，其特征在于，所述增大所述第一致动器与所述第二致动器之间的谐振频率差包括改变所述第一致动器或所述第二致动器的刚度、或者改变mems微镜的转动惯量。

3.根据权利要求2所述的抑制mems微镜串扰的方法，其特征在于，所述改变所述第一致动器或所述第二致动器的刚度包括改变所述第一致动器或所述第二致动器的厚度，或者改变所述第一致动器或所述第二致动器的横截面积。

4.根据权利要求3所述的抑制mems微镜串扰的方法，其特征在于，所述第一致动器包括第一悬臂梁和第一弹性结构，所述第一悬臂梁与所述镜面通过所述第一弹性结构连接；所述第二致动器包括第二悬臂梁和第二弹性结构，所述第二悬臂梁与所述镜面通过所述第二弹性结构连接。

5.根据权利要求4所述的抑制mems微镜串扰的...

【专利技术属性】
技术研发人员：武震宇，汪洋，张家昌，李安娜，张程，
申请(专利权)人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所，
类型：发明
国别省市：