【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种固晶机物料托架领域，尤其涉及一种固晶机物料托架。
技术介绍
1、随着半导体技术的不断进步，半导体器件的集成度不断提高，晶圆的直径逐渐增大。这促使固晶机物料托架需要更高的性能和稳定性，以适应更大直径的晶圆和更复杂的制程要求。现有固晶机物料托架的大小通常是固定大小，针对于特定固晶机设计的，在更换固晶机或采用新的制程技术时，可能需要重新设计或更换物料托架。
2、针对于上述不足，设计一种可适应不同固晶机物料托盘大小的固晶机物料托架。
技术实现思路
1、为了克服现有固晶机物料托架适应性低的缺点，要解决的技术问题为：提供一种可适应不同固晶机物料托盘大小的固晶机物料托架。
2、本技术的技术方案是：一种固晶机物料托架，包括有底座；支撑脚，底座上部连接有前后两根支撑脚；连接块，支撑脚上部连接有连接块；圆盘，连接块右侧连接有圆盘；电动推杆一号，圆盘上部连接有4根电动推杆一号；夹子，电动推杆一号外侧均连接有夹子，夹子均与圆盘滑动式连接；卡块，圆盘上部有多个卡块滑动式连接在电...
【技术保护点】
1.一种固晶机物料托架，其特征在于：包括有底座(1)；支撑脚(2)，底座(1)上部连接有前后两根支撑脚(2)；连接块(3)，支撑脚(2)上部连接有连接块(3)；圆盘(4)，连接块(3)右侧连接有圆盘(4)；电动推杆一号(6)，圆盘(4)上部连接有4根电动推杆一号(6)；夹子(5)，电动推杆一号(6)外侧均连接有夹子(5)，夹子(5)均与圆盘(4)滑动式连接；卡块(7)，圆盘(4)上部有多个卡块(7)滑动式连接在电动推杆一号(6)的两侧；弹簧(70)，卡块(7)与圆盘(4)之间连接有弹簧(70)；放料机构(8)，连接块(3)上侧的左部设有放料机构(8)；清洁机构(9)，...
【技术特征摘要】
1.一种固晶机物料托架，其特征在于：包括有底座(1)；支撑脚(2)，底座(1)上部连接有前后两根支撑脚(2)；连接块(3)，支撑脚(2)上部连接有连接块(3)；圆盘(4)，连接块(3)右侧连接有圆盘(4)；电动推杆一号(6)，圆盘(4)上部连接有4根电动推杆一号(6)；夹子(5)，电动推杆一号(6)外侧均连接有夹子(5)，夹子(5)均与圆盘(4)滑动式连接；卡块(7)，圆盘(4)上部有多个卡块(7)滑动式连接在电动推杆一号(6)的两侧；弹簧(70)，卡块(7)与圆盘(4)之间连接有弹簧(70)；放料机构(8)，连接块(3)上侧的左部设有放料机构(8)；清洁机构(9)，连接块(3)上侧的右部设有清洁机构(9)。
2.如权利要求1所述的一种固晶机物料...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨勇，温炜，
申请(专利权)人：抚州致晶自动化设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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