一种新型低失真度数字调制直接驱动功放装置的实现方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种新型低失真度数字调制直接驱动功放装置的实现方法，涉及等离子体产生射频电源领域，该方法通过Δ‑Σ过采样技术实现调制波形信号的采集，通过PDM脉冲分配单元内插滤波器实现调制波形信号采样率的进一步提升，激励器可以产生多相PDM调制波形脉冲和载波驱动脉冲，直接驱动功放模块完成载波产生和波形调制；多相位PDM调制可以实现更好的调制波形THD(Total Harmonic Distortion总谐波失真)指标，确保调制波形信号得到基本无失真恢复，但是为了降低系统的复杂性和兼顾调制波形总谐波失真指标，一般将多相PDM调制控制在12相以内。另外多相位PDM调制和叠加技术把调制波形信号分成多个等幅PDM方波信号，使功放工作在开关状态，提高了功放的效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及等离子体产生射频电源领域，具体为一种新型低失真度数字调制直接驱动功放装置的实现方法。

技术介绍

1、等离子体是一种由自由电子和带电粒子为主要组成的物质形态，广泛存在于宇宙之中，被称为物质第四态。其具有很高的电导性，富含大量高能电子、离子以及大量活性物质，在食品加工、金属冶炼、环境治理、生物医学、半导体刻蚀与薄膜沉积、表面清洗、航空航天等领域具有广泛的应用场景。在等离子体的实际应用中，用于产生等离子体的特种电源是其核心之重，一般由高压直流电源、高压脉冲电源、高频交流电源以及射频电源等四类组成，其中在核技术产业以及半导体制造产业多以射频电源为主。射频电源激发产生等离子体时，在等离子体建立初期由于负载阻抗的剧烈变化会产生较大反射信号，该反射信号对射频电源危害很大，为了降低反射信号对射频电源危害，一般通过建立初期梯形波或者指数函数波等波形调制射频信号来降低短时间内等离子体建立初期反射能量的累积。

2、目前，行业内有相关专利公开了如何进行低失真功放的专利技术，如专利号202110545047.6公开的一种基于高性能mcu大功率低失真d类功放本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种新型低失真度数字调制直接驱动功放装置的实现方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种新型低失真度数字调制直接驱动功放装置的实现方法，其特征在于：所述激励器完成不同波形格式信号的采集处理，并生成n路多相PDM调制波形驱动信号、射频驱动信号的产生、内外时钟的参考切换、射频电压电流的取样采集以及功放模块电源的取样采集。

3.根据权利要求1所述的一种新型低失真度数字调制直接驱动功放装置的实现方法，其特征在于：所述PDM脉冲分配单元完成激励器产生的n路PDM调制波形驱动信号的分配，分配送入功放模块单元的BUCK电路完成调制波形调制电压的生成。

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【技术特征摘要】

1.一种新型低失真度数字调制直接驱动功放装置的实现方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种新型低失真度数字调制直接驱动功放装置的实现方法，其特征在于：所述激励器完成不同波形格式信号的采集处理，并生成n路多相pdm调制波形驱动信号、射频驱动信号的产生、内外时钟的参考切换、射频电压电流的取样采集以及功放模块电源的取样采集。

3.根据权利要求1所述的一种新型低失真度数字调制直接驱动功放装置的实现方法，其特征在于：所述pdm脉冲分配单元完成激励器产生的n路pdm调制波形驱动信号的分配，分配送入功放模块单元的buck电路完成调制波形调制电压的生成。

4.根据权利要求1所述的一种新型低失真度数字调制直接驱动功放装置的实现方法，其特征在于：该新型低失真度数字调制直接驱动功放装置的实现方法还包括射频驱动分配单元，所述射频驱动分配单元完成激励器产生的一路射频驱动信号的分配，送入功放模块单元的h桥电路完成载波电压的生成。

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【专利技术属性】
技术研发人员：付浩然，王志宇，刘巍，杨家奇，蔡晓葳，王旭东，翟港佳，孟慧娜，李绪枫，
申请(专利权)人：国电投核力电科无锡技术有限公司，
类型：发明
国别省市：

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