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一种基于混合键合工艺的Micro-LED显示器及其制备方法技术

技术编号:43914830 阅读:86 留言:0更新日期:2025-01-03 13:21
本发明专利技术公开一种基于混合键合工艺的Micro‑LED显示器及其制备方法,涉及显示器制备技术领域。所述制备方法包括:利用硅基板和聚合物材料制备Micro‑LED显示器的基板;使用倒装键合机,并通过施加压力和温度将所述基板与Micro‑LED芯片之间进行混合键合,得到Micro‑LED显示器。本发明专利技术能够通过引入聚合物材料,提升Micro‑LED显示器件的性能和可靠性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及显示器制备,特别是涉及一种基于混合键合工艺的micro-led显示器及其制备方法。


技术介绍

1、随着显示技术的迅猛进步,micro-led技术作为显示领域的未来之星,凭借其卓越的性能特征——包括高亮度、低功耗、超长寿命以及无与伦比的高对比度,正逐步占据研究与应用的前沿阵地。然而,micro-led显示器件的高性能追求对其制造工艺提出了前所未有的高标准,特别是在芯片与基板之间的精密键合环节,如何有效应对因材料热膨胀系数差异引发的应力集中问题,从而确保器件的结构完整性和长期可靠性,成为了亟待攻克的技术壁垒。

2、当前,micro-led显示器件的键合技术主要包括传统共晶键合法、金属焊接法以及新兴的激光巨量键合法等。尽管这些方法各有其优势,如共晶键合法能实现较强的键合强度,但伴随而来的热应力不匹配问题限制了其长期稳定性;金属焊接法虽能减轻热应力,但其高昂的成本与复杂的工艺流程限制了其广泛应用;激光巨量键合法以其高精度和高效率著称,但高精尖设备的需求与高成本投入同样构成了挑战。

3、聚合物材料,如苯并环丁烯(bcb)和聚酰亚本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于混合键合工艺的Micro-LED显示器的制备方法,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的基于混合键合工艺的Micro-LED显示器的制备方法,其特征在于,所述Micro-LED显示器的基板的制备过程包括:

3.根据权利要求2所述的基于混合键合工艺的Micro-LED显示器的制备方法,其特征在于,所述Ti/Ni/Au共阳极、共阴极的厚度为350nm。

4.根据权利要求2所述的基于混合键合工艺的Micro-LED显示器的制备方法,其特征在于,所述聚合物材料采用苯并环丁烯或聚酰亚胺。

5.一种基于混合键合工艺的Micro-LED...

【技术特征摘要】

1.一种基于混合键合工艺的micro-led显示器的制备方法,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的基于混合键合工艺的micro-led显示器的制备方法,其特征在于,所述micro-led显示器的基板的制备过程包括:

3.根据权利要求2所述的基于混合键合工艺的micro-led显示器的制备方法,其特征在于,所述ti/ni/au共阳极、共阴极的厚度为350nm。

4.根据权利要求2所述的基于混...

【专利技术属性】
技术研发人员:殷录桥张建华王昕怡
申请(专利权)人:上海大学
类型:发明
国别省市:

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