【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及探针卡，具体的是一种垂直探针卡的探针头及其制备方法。
技术介绍
1、探针卡是芯片测试环节中的关键部件，是测试机和被测芯片之间的接口，主要负责芯片封装之前的电性能测试，筛选出不良的芯片，避免不良芯片流入芯片封装环节，降低芯片制造成本。目前市场上的探针卡主要有悬臂探针卡、垂直探针卡、薄膜探针卡等种类，其中垂直探针卡主要用于soc类芯片的测试，而探针头(probe head，简称ph)是垂直探针卡的核心部件之一。
2、探针头通常包括上盖板、下盖板和多个探针，其中，上盖板和下盖板用于对探针进行支撑和定位，随后通过上盖板或下盖板与探针卡的其他部件连接。探针头是非常精密的机械产品，其中mems探针和盖板上插针孔的配合工程需要控制在微米级，在某些小间距的探针卡产品中，探针和针孔的间隙往往只有2-3个微米。因此，如何能够保证探针和针孔配合合理，从而确保探针与待测芯片的pad点精确定位，是探针头设计和制造过程中必须要考虑的问题。
技术实现思路
1、为了克服现有技术中的缺陷，本专利技...
【技术保护点】
1.一种垂直探针卡的探针头，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的垂直探针卡的探针头，其特征在于，所述紧固件为螺栓，所述探针头还包括位于所述第一上盖板和所述第一间隔板之间的第二间隔板和第三间隔板，所述第二间隔板位于所述第三间隔板朝向所述第一上盖板的一侧，所述第二间隔板设有与所述第一窗口对应的第二窗口，所述第三间隔板设有与所述第一窗口对应的第三窗口，所述第二上盖板固定于所述第三间隔板上，所述螺栓依次穿设于所述第一上盖板、所述第二间隔板、所述第三间隔板和所述第一间隔板内，所述螺栓的头部位于所述第一上盖板和所述第二间隔板内。
3.根据权利要求2...
【技术特征摘要】
1.一种垂直探针卡的探针头，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的垂直探针卡的探针头，其特征在于，所述紧固件为螺栓，所述探针头还包括位于所述第一上盖板和所述第一间隔板之间的第二间隔板和第三间隔板，所述第二间隔板位于所述第三间隔板朝向所述第一上盖板的一侧，所述第二间隔板设有与所述第一窗口对应的第二窗口，所述第三间隔板设有与所述第一窗口对应的第三窗口，所述第二上盖板固定于所述第三间隔板上，所述螺栓依次穿设于所述第一上盖板、所述第二间隔板、所述第三间隔板和所述第一间隔板内，所述螺栓的头部位于所述第一上盖板和所述第二间隔板内。
3.根据权利要求2所述的垂直探针卡的探针头，其特征在于，所述探针头还包括第四间隔板，所述第四间隔板位于所述第二间隔板和所述第三间隔板之间且具有第四窗口，所述第二上盖板被容纳于所述第四窗口内，所述螺栓穿设于所述第四间隔板内。
4.根据权利要求3所述的垂直探针卡的探针头，其特征在于，所述第一上盖板所述第二间隔板和所述第四间隔板粘接，所述第二上盖板和所述第三间隔板粘接。
5.根据权利要求3所述的垂直探针卡的探针头，其特征在于，所述第一上盖板包括主体和多个第一外延部，多个所述第一外延部分布于所述主体长度方向和/或宽度方向的两侧，所述主体的长度和宽度尺寸分别小于所述第一间隔板的长度和宽度尺寸，所述第一外延部设有定位孔，所述第一间隔板设有与所述定...
【专利技术属性】
技术研发人员：张款，于海超，李伟，
申请(专利权)人：强一半导体苏州股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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