【技术实现步骤摘要】
本技术涉及靶材装箱，尤其涉及一种大靶材装箱装置。
技术介绍
1、目前，高纯溅射靶材在生产制造完成后，通常采用大货箱装运。对于表面积很大、厚度较薄的大靶材来说，直接采用叉车插入大货箱内，货箱内部需要有足够的空间使货叉进入，且对叉车操作人员的熟练度有很高的要求。然而，当箱体边缘与大靶材之间没有足够距离时，货叉无法调整靶材的装箱位置，若靶材的端部撞击箱体内壁，容易出现破损。并且靶材需要堆叠摆放，靶材与靶材之间的距离无法保证货叉顺利进出，可能会损伤靶材。
技术实现思路
1、本申请的目的在于提供一种大靶材装箱装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的，本申请提供如下的技术方案：
3、一种大靶材装箱装置，包括机体和气罐，所述机体包括升降板、气包和推板，所述升降板上方放置有气包，所述气包的一侧设置有推板，所述推板滑动安装在升降板的上方，所述气包的一侧外壁固定安装有固定环，所述推板朝向气包的一侧固定安装有连接杆，所述连接杆和固定环的外壁均开设有螺纹，所述连接杆的端部...
【技术保护点】
1.大靶材装箱装置，包括机体(1)和气罐(2)，其特征在于：所述机体(1)包括升降板(3)、气包(6)和推板(8)，所述升降板(3)上方放置有气包(6)，所述气包(6)的一侧设置有推板(8)，所述推板(8)滑动安装在升降板(3)的上方，所述气包(6)的一侧外壁固定安装有固定环(15)，所述推板(8)朝向气包(6)的一侧固定安装有连接杆(16)，所述连接杆(16)和固定环(15)的外壁均开设有螺纹，所述连接杆(16)的端部螺纹连接有套管(17)，所述气罐(2)与气包(6)管道连接。
2.根据权利要求1所述的大靶材装箱装置，其特征在于：所述升降板(3)的一侧底...
【技术特征摘要】
1.大靶材装箱装置，包括机体(1)和气罐(2)，其特征在于：所述机体(1)包括升降板(3)、气包(6)和推板(8)，所述升降板(3)上方放置有气包(6)，所述气包(6)的一侧设置有推板(8)，所述推板(8)滑动安装在升降板(3)的上方，所述气包(6)的一侧外壁固定安装有固定环(15)，所述推板(8)朝向气包(6)的一侧固定安装有连接杆(16)，所述连接杆(16)和固定环(15)的外壁均开设有螺纹，所述连接杆(16)的端部螺纹连接有套管(17)，所述气罐(2)与气包(6)管道连接。
2.根据权利要求1所述的大靶材装箱装置，其特征在于：所述升降板(3)的一侧底部设置有固定板一(7)，所述固定板一(7)的一侧固定安装有支撑板，所述升降板(3)位于支撑板的上方，所述固定板一(7)的上方设置有固定板二(9)，所述固定板二(9)与固定板一(7)之间安装有螺杆(4)和固定杆(5)，所述螺杆(4)的一端与固定板一(7)通过轴承连接，另一端与固定板二(9)通过轴承连接，所述固定杆(5)两个设置，两个所述固定杆(5)对称设置在螺杆(4)的两侧，所述固定杆(5)固定安装在固定板一(7)...
【专利技术属性】
技术研发人员：倪耀杰，王康，蒋洁，
申请(专利权)人：常州苏晶电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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