一种半导体材料加工刀具的生产工艺及生产设备制造技术

技术编号:43895359 阅读:18 留言:0更新日期:2025-01-03 13:09
本发明专利技术涉及公开了一种半导体材料加工刀具的生产工艺,首先在混料工序中,逐步在磨料中添加树脂液进行搅拌、添加树脂粉进行搅拌,实现利用树脂液进行初步粘结,并使得树脂粉可均匀混合,避免树脂粉溶解在树脂液中的情况发生,且前期物料较为干燥时方便混合均匀,后续加入湿润剂以实现调节干湿程度,最终通过振筛后得到均匀、松散、干湿适中的混合料;同时在对成型胚体进行固化时,通过设置在固化反应炉内设置空气循环,以使得固化反应炉内的温度均衡,从而保证反应气氛的均衡和完全,提高固化后的半导体刀具的结构强度。本发明专利技术还涉及公开了一种半导体材料加工刀具的生产设备。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体刀具生产,特别涉及一种半导体材料加工刀具的生产工艺及生产设备


技术介绍

1、半导体刀具(也称为半导体材料专用加工刀具)适用于干磨和湿磨,特别是使用水基和油基磨削液的条件下。

2、半导体刀具生产工艺包括混料工序、压制工序、固化工序。在混料工序中实现将磨料、树脂、填充料、着色剂等进行搅拌混合,得到均匀、松散、干湿适中的混合料。在压制工序中将混合料输送到成型模具中并进行压制成型,得到成型坯体。在固化工序中将成型坯体输送到固化反应炉内进行固结硬化处理,得到半导体刀具。

3、但是在固化工序中,成型胚体在固化反应炉内的反应气氛难以均衡和完全,从而导致半导体刀具的组织内部难以均衡,降低了半导体刀具的结构强度。


技术实现思路

1、本专利技术的目的是提供一种半导体材料加工刀具的生产工艺,通过在固化反应炉内设置空气循环,从而保证反应气氛的均衡和完全,提高固化后的半导体刀具的结构强度。

2、本专利技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的:一种半导体材料加工刀具的生产工本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种半导体材料加工刀具的生产工艺,包括混料工序、压制工序和固化工序,其特征在于:

2.根据权利要求1所述的一种半导体材料加工刀具的生产工艺,其特征在于:启动固化反应炉的升温程序进行固化包括如下阶段:

3.根据权利要求2所述的一种半导体材料加工刀具的生产工艺,其特征在于:第三阶段固化温度为110~180摄氏度中,固化终温为以下两种选择的之一:

4.一种根据权利要求3所述的半导体材料加工刀具的生产设备,包括双锅逆流混料机、振筛、冷压成型机、固化反应炉,其特征在于:固化反应炉包括固化炉本体(1)、设置在固化炉本体(1)内且进出端延伸到固化区域外的传输网链...

【技术特征摘要】

1.一种半导体材料加工刀具的生产工艺,包括混料工序、压制工序和固化工序,其特征在于:

2.根据权利要求1所述的一种半导体材料加工刀具的生产工艺,其特征在于:启动固化反应炉的升温程序进行固化包括如下阶段:

3.根据权利要求2所述的一种半导体材料加工刀具的生产工艺,其特征在于:第三阶段固化温度为110~180摄氏度中,固化终温为以下两种选择的之一:

4.一种根据权利要求3所述的半导体材料加工刀具的生产设备,包括双锅逆流混料机、振筛、冷压成型机、固化反应炉,其特征在于:固化反应炉包括固化炉本体(1)、设置在固化炉本体(1)内且进出端延伸到固化区域外的传输网链(2)、设置在固化炉本体(1)位于加热区域两端的封闭门(3)、设置在固化炉本体(1)内的电加热装置(4)、设置在固化炉本体(1)内的空气循环装置(5)、多个陶瓷圆盘(6)、多个置于传输网链(2)上并且供陶瓷圆盘(6)搁置的搁置机构(7);

5.根据权利要求4所述的一种半导体材料加工刀具的生产设备,其特征在于:所述底托(71)的底部设置有多个通孔(711),所述防脱组件(72)包括升降设置在底托(71)内的托板(721)、多个设置在底托(71)内且驱使托板(721)向上运动的弹性件(722)、多个设置在托板(721)下表面且在托板(721)向下运动过程中穿过通孔(711)后刺入到传输网链(2)上的固定尖桩(723),所述转盘(73)转动连接在托板(721)上;所述弹性件(722)包括设置在底托(71)上的第一限位柱(7221)、设置在托板(721)下表面的第二限位柱(7222)、套设在第一限位柱(7221)和第二限位柱(7222)之间的第一压缩弹簧(7223),所述底托(71)下表面设置有对应第一限位柱(7221)的活动槽(712),所述第二限位柱(7222)上设置有螺纹调节孔(72221),所述活动槽(712)内设置有向上穿过第一限位柱(7221)后螺纹连接在螺纹调节孔(72221)内的调节螺钉(7224)。

6.根据权利要求4所述的一种半导体材料加工刀具的生产设备,其特征在于:所述转盘(73)下表面设置有转动连接在托板(721)上的圆形腔体(731),所述风力驱动件(74)包括多个圆周阵列设置在圆形腔体(731)的周侧的风筒(741),所述风筒(741)和圆形腔体(731)之间设置有连通孔(732),所述转盘(73)下表面设置有与圆形腔体(731)相通的网孔部(733),所述第一出风管(54)、第二出风管(55)吹出的循环风同时作用到...

【专利技术属性】
技术研发人员:邵永杰
申请(专利权)人:煜涵新材料杭州有限公司
类型:发明
国别省市:

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