【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体刀具生产,特别涉及一种半导体材料加工刀具的生产工艺及生产设备。
技术介绍
1、半导体刀具(也称为半导体材料专用加工刀具)适用于干磨和湿磨,特别是使用水基和油基磨削液的条件下。
2、半导体刀具生产工艺包括混料工序、压制工序、固化工序。在混料工序中实现将磨料、树脂、填充料、着色剂等进行搅拌混合,得到均匀、松散、干湿适中的混合料。在压制工序中将混合料输送到成型模具中并进行压制成型,得到成型坯体。在固化工序中将成型坯体输送到固化反应炉内进行固结硬化处理,得到半导体刀具。
3、但是在固化工序中,成型胚体在固化反应炉内的反应气氛难以均衡和完全,从而导致半导体刀具的组织内部难以均衡,降低了半导体刀具的结构强度。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是提供一种半导体材料加工刀具的生产工艺,通过在固化反应炉内设置空气循环,从而保证反应气氛的均衡和完全,提高固化后的半导体刀具的结构强度。
2、本专利技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的:一种半导体
...【技术保护点】
1.一种半导体材料加工刀具的生产工艺,包括混料工序、压制工序和固化工序,其特征在于:
2.根据权利要求1所述的一种半导体材料加工刀具的生产工艺,其特征在于:启动固化反应炉的升温程序进行固化包括如下阶段:
3.根据权利要求2所述的一种半导体材料加工刀具的生产工艺,其特征在于:第三阶段固化温度为110~180摄氏度中,固化终温为以下两种选择的之一:
4.一种根据权利要求3所述的半导体材料加工刀具的生产设备,包括双锅逆流混料机、振筛、冷压成型机、固化反应炉,其特征在于:固化反应炉包括固化炉本体(1)、设置在固化炉本体(1)内且进出端延伸到
...【技术特征摘要】
1.一种半导体材料加工刀具的生产工艺,包括混料工序、压制工序和固化工序,其特征在于:
2.根据权利要求1所述的一种半导体材料加工刀具的生产工艺,其特征在于:启动固化反应炉的升温程序进行固化包括如下阶段:
3.根据权利要求2所述的一种半导体材料加工刀具的生产工艺,其特征在于:第三阶段固化温度为110~180摄氏度中,固化终温为以下两种选择的之一:
4.一种根据权利要求3所述的半导体材料加工刀具的生产设备,包括双锅逆流混料机、振筛、冷压成型机、固化反应炉,其特征在于:固化反应炉包括固化炉本体(1)、设置在固化炉本体(1)内且进出端延伸到固化区域外的传输网链(2)、设置在固化炉本体(1)位于加热区域两端的封闭门(3)、设置在固化炉本体(1)内的电加热装置(4)、设置在固化炉本体(1)内的空气循环装置(5)、多个陶瓷圆盘(6)、多个置于传输网链(2)上并且供陶瓷圆盘(6)搁置的搁置机构(7);
5.根据权利要求4所述的一种半导体材料加工刀具的生产设备,其特征在于:所述底托(71)的底部设置有多个通孔(711),所述防脱组件(72)包括升降设置在底托(71)内的托板(721)、多个设置在底托(71)内且驱使托板(721)向上运动的弹性件(722)、多个设置在托板(721)下表面且在托板(721)向下运动过程中穿过通孔(711)后刺入到传输网链(2)上的固定尖桩(723),所述转盘(73)转动连接在托板(721)上;所述弹性件(722)包括设置在底托(71)上的第一限位柱(7221)、设置在托板(721)下表面的第二限位柱(7222)、套设在第一限位柱(7221)和第二限位柱(7222)之间的第一压缩弹簧(7223),所述底托(71)下表面设置有对应第一限位柱(7221)的活动槽(712),所述第二限位柱(7222)上设置有螺纹调节孔(72221),所述活动槽(712)内设置有向上穿过第一限位柱(7221)后螺纹连接在螺纹调节孔(72221)内的调节螺钉(7224)。
6.根据权利要求4所述的一种半导体材料加工刀具的生产设备,其特征在于:所述转盘(73)下表面设置有转动连接在托板(721)上的圆形腔体(731),所述风力驱动件(74)包括多个圆周阵列设置在圆形腔体(731)的周侧的风筒(741),所述风筒(741)和圆形腔体(731)之间设置有连通孔(732),所述转盘(73)下表面设置有与圆形腔体(731)相通的网孔部(733),所述第一出风管(54)、第二出风管(55)吹出的循环风同时作用到...
【专利技术属性】
技术研发人员:邵永杰,
申请(专利权)人:煜涵新材料杭州有限公司,
类型:发明
国别省市:
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