【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于光纤传感应用，具体涉及一种基于游标效应的空气微泡高灵敏度应变传感器及其制作方法。
技术介绍
1、应变是医疗监测、土木工程、航空航天、结构工程、汽车工业和军事领域的一个重要参数。光纤传感器具有体积小、可远程监测、灵活性高、传播损耗低、制造成本低、抗电磁干扰等独特优势，因此被广泛研究。基于不同原理的光纤传感器已经被展示和研究，包括光纤布拉格光栅（fbgs）、萨格纳克干涉仪、马赫-曾德干涉仪（mzis）和法布里-珀罗干涉仪（fpis）。与其它传感器结构相比，基于法布里-珀罗干涉原理的光纤传感器具有高灵敏度、线性响应、低温交叉灵敏度和微型尺寸的优势。
2、在应变测量中，基于法布里-珀罗干涉原理的光纤传感器具有高灵敏度、线性响应、低温度交叉敏感度以及与其它传感器结构相比体积小等优点。其中，气泡应变传感器比传统应变传感器具有更高的灵敏度。此外，由于空气的热膨胀效应很小且不含湿敏材料，由气泡组成的法布里-珀罗干涉仪大气环境中工作时，环境温度和湿度对传感器应变测量的影响可以忽略不计，因此气泡应变传感器对温度和湿度的交叉敏感性很
【技术保护点】
1.一种基于游标效应的空气微泡高灵敏度应变传感器，其特征在于：应变传感器由并行的微气泡传感腔法布里-珀罗干涉仪（1）和空气参考腔法布里-珀罗干涉仪（2）组成；
2.根据权利要求1所述的基于游标效应的空气微泡高灵敏度应变传感器，其特征在于：所述椭球形微气泡（3）的轴向直径为 51.15μm -53.15μm，其纵向直径为 65.15 μm -67.15μm；所述空气腔（5）的长度为 62.32 μm-64.32 μm。
3.根据权利要求2所述的基于游标效应的空气微泡高灵敏度应变传感器，其特征在于：所述椭球形微气泡（3）的轴向直径为 51.15μm...
【技术特征摘要】
1.一种基于游标效应的空气微泡高灵敏度应变传感器，其特征在于：应变传感器由并行的微气泡传感腔法布里-珀罗干涉仪（1）和空气参考腔法布里-珀罗干涉仪（2）组成；
2.根据权利要求1所述的基于游标效应的空气微泡高灵敏度应变传感器，其特征在于：所述椭球形微气泡（3）的轴向直径为 51.15μm -53.15μm，其纵向直径为 65.15 μm -67.15μm；所述空气腔（5）的长度为 62.32 μm-64.32 μm。
3.根据权利要求2所述的基于游标效应的空气微泡高灵敏度应变传感器，其特征在于：所述椭球形微气泡（3）的轴向直径为 51.15μm，其纵向直径为 65.15 μm；所述空气腔（5）的长度为 62.32 μm。
4.根据权利要求2所述的基于游标效应的空气微泡高灵敏度应变传感器，其特征在于：所述椭球形微气泡（3）的轴向直径为 52.15μm，其纵向直径为 66.15μm；所述空气腔（5）的长度为 63.32 μm。
【专利技术属性】
技术研发人员：吕靖薇，孔维杰，刘超，于训涛，刘强，时佳宁，王建鑫，刘伟，孟攀，郭昕蕊，
申请(专利权)人：东北石油大学三亚海洋油气研究院，
类型：发明
国别省市：
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