双层电容差分式柔性压力传感器及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种双层电容差分式柔性压力传感器及其制备方法，涉及风压测量技术领域。双层电容差分式柔性压力传感器包括压差传感单元，压差传感单元包括应变组件、第一定位块、第二定位块、第一电极、第二电极和引出导线。应变组件包括中间电极、第一绝缘薄膜以及第二绝缘薄膜。第一定位块具有第一凹槽、第一定位面和第一通气孔，第二定位块具有第二凹槽、第二定位面和第二通气孔。第一电极安装于第一凹槽的底部，第一电极与中间电极组成第一电容。第二电极安装于第二凹槽的底部，第二电极与中间电极组成第二电容。相比于现有技术，本发明专利技术的双层电容差分式柔性压力传感器在提高压力传感器灵敏度的同时，使其在全量程内保证线性度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及风压测量，特别是涉及一种双层电容差分式柔性压力传感器及其制备方法。

技术介绍

1、无人机在人类生产、科研活动中扮演着越来越重要的角色，而表面压力分布的测量对无人机的飞行控制尤为重要。目前，广泛使用的压力测量方法是嵌入式传感系统，包括分布于机头或机翼的测压孔、引气管路和压力传感器，然而存在系统复杂、信号滞后、损伤机身、低速状态下可靠性差等问题。

2、现有的单电容柔性压力传感器通常会在负压下表现出灵敏度的急剧降低，原因是应变薄膜向上变形后，电极间距增大，从而导致传感器的灵敏度降低以及传感器输出的非线性。

技术实现思路

1、本专利技术的目的是提供一种双层电容差分式柔性压力传感器及其制备方法，以解决上述相关技术存在的问题，提高压力传感器灵敏度的同时，使其在全量程内保证线性度。

2、为实现上述目的，本专利技术提供了如下方案：

3、本专利技术公开了一种双层电容差分式柔性压力传感器，包括压差传感单元，所述压差传感单元包括：

4、应变组件，所述应变组件包括能够弯曲本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种双层电容差分式柔性压力传感器，其特征在于，包括压差传感单元，所述压差传感单元包括：

2.根据权利要求1所述的双层电容差分式柔性压力传感器，其特征在于：所述第一通气孔连接所述第一凹槽的一端位于所述第一凹槽的底部；所述第二通气孔连接所述第二凹槽的一端位于所述第二凹槽的底部。

3.根据权利要求2所述的双层电容差分式柔性压力传感器，其特征在于：所述第一定位块上设有多个所述第一凹槽，所述第二定位块上设有多个所述第二凹槽，以得到多个所述压差传感单元；所述双层电容差分式柔性压力传感器还包括位于所述第二定位块第二侧的连通组件，所述连通组件具有连通凹槽和第三定位面；所述连通...

【技术特征摘要】

1.一种双层电容差分式柔性压力传感器，其特征在于，包括压差传感单元，所述压差传感单元包括：

2.根据权利要求1所述的双层电容差分式柔性压力传感器，其特征在于：所述第一通气孔连接所述第一凹槽的一端位于所述第一凹槽的底部；所述第二通气孔连接所述第二凹槽的一端位于所述第二凹槽的底部。

3.根据权利要求2所述的双层电容差分式柔性压力传感器，其特征在于：所述第一定位块上设有多个所述第一凹槽，所述第二定位块上设有多个所述第二凹槽，以得到多个所述压差传感单元；所述双层电容差分式柔性压力传感器还包括位于所述第二定位块第二侧的连通组件，所述连通组件具有连通凹槽和第三定位面；所述连通凹槽分别连通多个所述压差传感单元的所述第二通气孔，使多个所述压差传感单元的所述第二凹槽具有共同的气压，此气压称为参考气压；所述第三定位面位于所述连通凹槽的四周，用于从第二侧接触所述第二定位块。

4.根据权利要求3所述的双层电容差分式柔性压力传感器，其特征在于：还包括绝压传感芯片，所述绝压传感芯片的至少部分位于所述第二通气孔内或所述连通凹槽内，用于测量所述基准气压；所述引出导线还包括芯片引出导线，所述芯片引出导线的一端连接所述绝压传感芯片。

5.根据权利要求3所述的双层电容差分式柔性压力传感器，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋永刚，李云帆，柯鑫，高育，
申请(专利权)人：北京航空航天大学，
类型：发明
国别省市：