一种具有固气分离结构的硅烷燃烧筒制造技术

本技术公开了一种具有固气分离结构的硅烷燃烧筒，涉及硅烷燃烧筒技术领域，包括燃烧筒主体和分离组件，所述燃烧筒主体外部设置有进气口，所述燃烧筒主体内部设置有分离组件，且分离组件包括上安装块、气动杆、中空承接框、过筛网、弹簧阻尼杆和下安装块，所述上安装块下端设置有气动杆，且气动杆前端安装有中空承接框，并且中空承接框内部增设有过筛网，同时中空承接框下端外侧安装有弹簧阻尼杆。该具有固气分离结构的硅烷燃烧筒，通过分离组件的设置，避免多数硅烷燃烧筒内部二氧化硅烟尘与气体的分离效果不好，致使二氧化硅烟尘容易随气体一起从排气管排入空气中的问题出现，便于提高硅烷燃烧筒整体实用性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及硅烷燃烧筒，具体为一种具有固气分离结构的硅烷燃烧筒。

技术介绍

1、在喷涂和烘干设备以及在集成电路和电子元件的制造领域中采用化学气相淀积技术时，其工艺产生的气体对人体是有害的，在高温条件下与空气接触容易产生自燃，甚至是在常温的条件下或者是氧化剂接触的时候也可能产生自燃，这种工业废气主要是硅烷以及氨氯等，现在大多是通过焚烧法来处理这些工业废气，为了提高工业废气处理效率，需要用到一种硅烷燃烧筒，但是现有硅烷燃烧筒依然存在以下不足：

2、如申请号为202321052101.4的技术公开了一种硅烷燃烧筒，该技术通过不断调节氮气输出管的角度，使氮气均匀的充斥在筒内，让氮气发挥好退火保护等功能，提升装置的使用年限的同时，减少意外事故的发生，通过定时清洁积灰箱，放置灰尘污染环境，保护使用者的健康，但类似于上述申请的对比文件，在现有硅烷燃烧筒进行使用时，由于多数硅烷燃烧筒内部工艺废气燃烧后所产生稠密的二氧化硅烟尘与气体的分离效果不好，致使二氧化硅烟尘容易随气体一起从排气管排入空气中，造成硅烷燃烧筒实用性下降且使用效率降低的问题出现。

3、本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种具有固气分离结构的硅烷燃烧筒，包括燃烧筒主体(1)和分离组件(5)，其特征在于，所述燃烧筒主体(1)外部设置有进气口(2)，所述燃烧筒主体(1)内部设置有分离组件(5)，且分离组件(5)包括上安装块(501)、气动杆(502)、中空承接框(503)、过筛网(504)、弹簧阻尼杆(505)和下安装块(506)，所述上安装块(501)下端设置有气动杆(502)，且气动杆(502)前端安装有中空承接框(503)，并且中空承接框(503)内部增设有过筛网(504)，同时中空承接框(503)下端外侧安装有弹簧阻尼杆(505)，所述弹簧阻尼杆(505)底部设置有下安装块(506)，所述燃烧筒...

【技术特征摘要】

1.一种具有固气分离结构的硅烷燃烧筒，包括燃烧筒主体(1)和分离组件(5)，其特征在于，所述燃烧筒主体(1)外部设置有进气口(2)，所述燃烧筒主体(1)内部设置有分离组件(5)，且分离组件(5)包括上安装块(501)、气动杆(502)、中空承接框(503)、过筛网(504)、弹簧阻尼杆(505)和下安装块(506)，所述上安装块(501)下端设置有气动杆(502)，且气动杆(502)前端安装有中空承接框(503)，并且中空承接框(503)内部增设有过筛网(504)，同时中空承接框(503)下端外侧安装有弹簧阻尼杆(505)，所述弹簧阻尼杆(505)底部设置有下安装块(506)，所述燃烧筒主体(1)下端设置有收集组件(6)。

2.根据权利要求1所述的一种具有固气分离结构的硅烷燃烧筒，其特征在于，所述燃烧筒主体(1)上端中部设置有排气口(3)，且燃烧筒主体(1)底部四角安装的支撑柱杆(4)。

3.根据权利要求1所述的一种具有固气分离结构的硅烷燃烧筒，其特征在于，所述中空承接框(503)内部尺寸与过筛网(504)外部尺寸相匹配，且过筛网(504)与中空承接框(503)螺纹连接。

4.根据权利要求1所述的一种具有固气分离结构的硅烷燃烧筒，其特征在于，所述中空承接框(503)与弹簧阻尼杆(505)呈垂直状分布，且中空承接框(503)通过弹簧阻尼杆(505)与下安装块(506)弹性连接。

【专利技术属性】
技术研发人员：孙文成，
申请(专利权)人：安徽朗蔚环境科技有限公司，
类型：新型
国别省市：

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