一种单晶炉的炉室旋转与升降机构及单晶炉制造技术

技术编号:43875712 阅读:22 留言:0更新日期:2024-12-31 18:59
本技术适用于单晶炉技术领域,提供一种单晶炉的炉室旋转与升降机构及单晶炉,包括:第一架体;固定于第一架体上的第一液压缸;用于与主炉室或副炉室连接的第二架体,第二架体可转动连接于第一液压缸的活塞杆,活塞杆用于带动第二架体升降;驱动组件,驱动组件包括固定于活塞杆上的安装板、固定于安装板上的电机、及连杆机构,连杆机构包括相互铰接的第一连杆和第二连杆,第一连杆与电机连接,第二连杆与第二架体铰接。本技术的单晶炉的炉室旋转与升降机构利用连杆机构带动主炉室或副炉室旋转,取代齿轮传动实现主炉室或副炉室旋转的方式,可以提升单晶炉的主炉室或副炉室旋转精度,单晶炉的主炉室或副炉室旋转可靠性好。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及单晶炉,具体涉及一种单晶炉的炉室旋转与升降机构及单晶炉


技术介绍

1、单晶炉是用于生产太阳能级单晶硅棒的设备,为了提高其产能,降低生产成本,提高单晶硅棒生产效率,众多硅棒制造厂商多采用单炉多次加料,多次拉制单晶硅棒的办法来提高产能。这就要求单晶炉在制备硅棒时副炉室被多次升起和旋开以实现多次加料。

2、现有技术中,单晶炉的炉室通常包括主炉室和副炉室,主炉室和副炉室一般采用液压缸驱动升降,主炉室或副炉室的提升架与液压缸的活塞杆连接,液压缸的活塞杆带动提升架升降实现主炉室或副炉室升降;同时,在液压缸的活塞杆固定安装定齿轮,并需要安装与定齿轮相啮合且可相对活塞杆转动的动齿轮,通过电机带动动齿轮相对定齿轮旋转,动齿轮带动主炉室或副炉室旋转。然而,电机利用齿轮带动主炉室或副炉室旋转,由于齿轮之间安装容易产生较大的齿轮间隙,导致主炉室或副炉室旋转精度低,主炉室或副炉室旋转角度误差较大,主炉室或副炉室旋转可靠性差。


技术实现思路

1、本技术提供一种单晶炉的炉室旋转与升降机构,旨在解决现有技术单晶炉的炉本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种单晶炉的炉室旋转与升降机构,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的单晶炉的炉室旋转与升降机构,其特征在于,还包括固定于所述活塞杆的连接板,所述连接板与所述安装板连接。

3.根据权利要求2所述的单晶炉的炉室旋转与升降机构,其特征在于,还包括固定于所述连接板一端的滚轮,所述安装板设有与所述滚轮的安装孔,所述滚轮嵌入所述安装孔内以支撑固定所述安装板。

4.根据权利要求1所述的单晶炉的炉室旋转与升降机构,其特征在于,所述第一架体上设置有沿竖直方向布置的导轨;所述驱动组件包括与所述安装板固定连接的限位部件,所述限位部件与所述导轨相配合并可沿所述导轨...

【技术特征摘要】

1.一种单晶炉的炉室旋转与升降机构,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的单晶炉的炉室旋转与升降机构,其特征在于,还包括固定于所述活塞杆的连接板,所述连接板与所述安装板连接。

3.根据权利要求2所述的单晶炉的炉室旋转与升降机构,其特征在于,还包括固定于所述连接板一端的滚轮,所述安装板设有与所述滚轮的安装孔,所述滚轮嵌入所述安装孔内以支撑固定所述安装板。

4.根据权利要求1所述的单晶炉的炉室旋转与升降机构,其特征在于,所述第一架体上设置有沿竖直方向布置的导轨;所述驱动组件包括与所述安装板固定连接的限位部件,所述限位部件与所述导轨相配合并可沿所述导轨上下运动。

5.根据权利要求4所述的单晶炉的炉室旋转与升降机构,其特征在于,所述限位部件为滑块,所述滑块与所述导轨形成滑动连接并可沿所述导...

【专利技术属性】
技术研发人员:熊兼海王刚王永谦陈刚
申请(专利权)人:珠海富山爱旭太阳能科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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