【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体生产制造，特别是涉及一种基于目标腔室的任务处理方法、一种基于目标腔室的任务处理装置、一种半导体工艺设备和一种存储介质。
技术介绍
1、在半导体制造领域，往往会出现由于目标腔室正在被量产任务(task)占用，而无法使用该腔室执行一些紧急任务或dummyseason(清洁用晶圆)的场景。
2、基于上述场景，若机台腔室目前正被多个task占用，但由于特殊原因，又想在机台端基于该腔室执行紧急任务或dummyseason，目前只能在abort(禁止)掉后续所有涉及到该腔室的task，或者执行强制取消操作的操作才可将目标腔室释放，进而执行紧急任务或dummyseason的操作。
3、现有的方式，在量产过程中，执行紧急任务或dummyseason的操作通过采用目标腔室的状态切换的方式或者任务插队的方式进行；但是这些方式存在操作效率低下以及流程复杂的问题。
技术实现思路
1、鉴于上述问题，提出了本专利技术实施例以便提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的...
【技术保护点】
1.一种基于目标腔室的任务处理方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述创建指令包括任务参数，所述文本下发任务对应有预设参数列表信息；所述依据所述创建指令创建文本下发任务的步骤包括：
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述启动所述文本下发任务的步骤包括：
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述文本下发任务包括腔室标识；所述将所述文本下发任务分配至所述目标腔室的步骤包括：
6.根据权利要求4所述的方法，其特...
【技术特征摘要】
1.一种基于目标腔室的任务处理方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述创建指令包括任务参数，所述文本下发任务对应有预设参数列表信息；所述依据所述创建指令创建文本下发任务的步骤包括：
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述启动所述文本下发任务的步骤包括：
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述文本下发任务包括腔室标识；所述将所述文本下发任务分配至所述目标腔室的步骤包括：
6.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，当拒绝启动所述文本下发任务时，所述方法还包括：
7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于所述处理优先级，执行所述文本下发任务的步骤包括：
8.一种基于目标腔室的任务处...
【专利技术属性】
技术研发人员：孔令帅，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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