【技术实现步骤摘要】
本公开内容一般涉及用于对包括内部小平面的样品进行度量的方法和系统。
技术介绍
1、一些透明光学元件，例如玻璃棱镜和波导，可以包括反射性的内部小平面。为了高精度验证这样的小平面相对于光学元件的一个或更多个外部表面的取向，当前的现有技术需要高端光学部件以及实现复杂的对准和校准过程。因此，本领域中存在对简单且可容易实现的度量技术的未满足的需要，该技术避免使用高端光学部件，从而解决了大规模生产需求。
技术实现思路
1、根据本公开内容的一些实施方式，本公开内容的方面涉及用于对包括一个或更多个内部小平面的样品进行度量的方法和系统。更具体地，但非排他性地，根据本公开内容的一些实施方式，本公开内容的方面涉及用于对包括一个或更多个内部小平面的样品进行度量的基于光学的方法和系统。
2、有利地，本申请公开了用于验证样品的内部小平面或样品的多个标称平行的内部小平面相对于样品的一个或更多个外部平坦表面的倾斜度的快速、简单且精确的方法和系统。
3、因此，根据一些实施方式的一个方面，提供了一种基...
【技术保护点】
1.一种基于光学的方法，用于验证样品的一个或更多个内部小平面相对于所述样品的外部平坦表面的取向，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的基于光学的方法，其中，所述样品包括第一部分和第二部分，所述内部小平面在所述第一部分与所述第二部分之间延伸，其中，所述第一部分位于所述样品的外部第二表面与所述内部小平面之间，并且其中，构成所述第二入射LB的一部分的被直接或间接地透射到所述样品中的透射LB经由所述第二表面进入所述样品中。
3.根据权利要求2所述的基于光学的方法，其中，所述LGA包括光折叠部件LFC，所述LFC标称地被配置成至少当光沿垂直于所述第一表...
【技术特征摘要】
1.一种基于光学的方法，用于验证样品的一个或更多个内部小平面相对于所述样品的外部平坦表面的取向，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的基于光学的方法，其中，所述样品包括第一部分和第二部分，所述内部小平面在所述第一部分与所述第二部分之间延伸，其中，所述第一部分位于所述样品的外部第二表面与所述内部小平面之间，并且其中，构成所述第二入射lb的一部分的被直接或间接地透射到所述样品中的透射lb经由所述第二表面进入所述样品中。
3.根据权利要求2所述的基于光学的方法，其中，所述lga包括光折叠部件lfc，所述lfc标称地被配置成至少当光沿垂直于所述第一表面的方向投射在所述lfc上时以等于所述标称倾斜角的光折叠角折叠光。
4.根据权利要求3所述的基于光学的方法，其中，所述lfc是或包括棱镜、一个或更多个反射镜和/或衍射光栅。
5.根据权利要求4所述的基于光学的方法，其中，所述光折叠角对所述lfc的俯仰的变化不敏感。
6.根据权利要求5所述的基于光学的方法，其中，所述lfc是或包括五棱镜或类似功能棱镜，或相对于彼此以一角度设置的一对反射镜，或类似功能反射镜装置。
7.根据权利要求3所述的基于光学的方法，其中，所述lga还包括耦合基础结构，所述耦合基础结构被配置成将由所述lfc折叠的光引导到所述样品上或所述样品中，使得由所述样品透射到所述样品中的光标称地法向地射在所述内部小平面上。
8.根据权利要求7所述的基于光学的方法，其中，所述耦合基础结构包括耦合棱镜cp，所述cp包括外部平坦cp第一表面、相对于所述cp第一表面以所述标称倾斜角标称地倾斜的外部平坦cp第二表面以及与所述cp第二表面相对的外部cp第三表面；
9.根据权利要求8所述的基于光学的方法，其中，所述耦合基础结构还包括形状顺应接口，所述形状顺应接口被布置在所述cp第三表面与所述样品之间，并且被制成呈现使得所述cp第一表面平行于所述样品的第一表面的形状。
10.根据权利要求9所述的基于光学的方法，其中，所述形状顺应接口具有与所述样品的第一部分的折射率相同的折射率，或者接近所述样品的第一部分的折射率的折射率。
11.根据权利要求9所述的基于光学的方法，其中，所述形状顺应接口是或包括液体和/或凝胶。
12.根据权利要求2所述的基于光学的方法，其中，所述样品是棱镜、波导或分束器。
13.根据权利要求1所述的基于光学的方法，其中，所述第一入射lb和所述第二入射lb构成单个准直lb的互补部分，或者通过阻挡单个准直lb的一个或更多个部分来制备。
14.根据权利要求13所述的基于光学的方法，其中，所述单个准直lb是多色的，或者其中，所述单个准直lb是激光束。
15.根据权利要求8所述的基于光学的方法，还包括初始校准阶段，其中，利用金标准样品来校准所述lfc、所述cp以及/或者所述样品的取向。
16.根据权利要求8所述的基于光学的方法，还包括生成附加入射lb，所述附加入射lb指向所述cp第一表面处并且平行于所述第一入射lb，并且其中，在测量所述第一角度偏差期间、通过测量附加返回lb相对于所述第一返回lb的附加角度偏差来(a)校准和/或(b)测试所述cp的取向以获得正确的取向，所述附加返回lb通过所述附加入射lb从所述第一cp表面的反射来获得。
17.根据权利要求1所述的基于光学的方法，其中，根据分别由所述第一返回lb和所述第二返回lb在光传感器或图像传感器的光敏表面上形成的第一点和第二点的测量坐标来获得所述第一角度偏差。
18.根据权利要求1所述的基于光学的方法，其中，使用自准直仪测量所述第一角度偏差。
19.根据权利要求18所述的基于光学的方法，其中，所测量的第一角度偏差等于δu/f，其中，δu是所述自准直仪的光敏表面上的第一点的坐标与第二点的对应坐标之间的差，并且f是所述自准直仪的准直透镜的焦距，并且其中，所述第一点由所述第一返回lb形成，并且所述第二点由所述第二返回lb形成。
20.根据权利要求8所述的基于光学的方法，包括所述cp，并且其中，根据所测量的第一角度偏差并且考虑所述cp第二表面相对于所述cp第一表面的实际倾斜角的值和所述样品的第一部分的折射率并且可选地考虑所述lfc的实际光折叠角，来获得所述内部小平面相对于所述第一表面的实际倾斜角。
21.根据权利要求2至20中任一项所述的基于光学的方法，其中，所述样品包括所述第一部分和所述第二部分，其中，所述标称倾斜角是90°并且所述样品包括外部第三表面，所述外部第三表面是平坦的并且平行于所述样品的第一表面，并且其中，所述方法还包括在测量所述第一角度偏差之后进行以下操作：
22.根据权利要求21所述的基于光学的方法，包括所述cp，其中，所述cp还包括与所述cp第一表面相对且平行的cp第四表面，并且其中，所述样品的翻转伴随有所述cp的翻转，使得所述cp第一表面和所述cp第四表面被反转，同时保持所述cp第二表面相对于所述样品的标称取向。
23.根据权利要求21所述的基于光学的方法，其中，所述样品的第一表面和所述样品的第三表面的平行度的不确定度显著小于所述实际倾斜角的所需测量精度。
24.根据权利要求21所述的基于光学的方法，包括所述cp，并且其中，根据所测量的第一角度偏差和所述cp第二表面相对于所述cp第一表面的实际倾斜角的值以及所述样品的第一部分的折射率来获得所述内部小平面相对于所述第一表面的实际倾斜角...
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