异常判定装置、异常判定方法、及异常判定程序制造方法及图纸

本发明专利技术的异常判定装置包括：测量单元，测量对在生产设备中生产的制品的品质产生影响的多个因素；控制部；以及存储部，所述存储部存储：因果关系模型，基于根据在所述生产设备中生产正常的制品时的所述因素算出的特征量，确定了所述因素间的因果关系；预测式，基于所述因果关系模型且将至少一个所述特征量作为输入、将与所述输入不同的其他所述特征量作为输出；以及所述输出的预测范围，所述控制部构成为对根据在所述生产设备的生产工序中测量出的所述因素所算出的所述特征量中的、成为所述输出的所述特征量是否处于所述预测范围内进行判定。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术涉及一种异常判定装置、异常判定方法、及异常判定程序。

技术介绍

1、作为监视设备状态的方法，在专利文献1中，公开了一种系统，其有效利用通过制造工序数据而获得的因果关系模型，使基于领域(domain)知识的验证变得容易。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本专利特开2018-181158号公报

技术实现思路

1、专利技术所要解决的问题

2、但是，在所述方法中，将对影响品质的现象保有某程度的领域知识作为前提。因此，认为对于非熟练者、新产生的现象而言难以利用所述方法。本专利技术是为了解决所述问题而成，其目的在于提供一种异常判定装置、异常判定方法、及异常判定程序，其中即便为被熟练者也可容易地确定与在生产设备中可产生的异常有关的因素。

3、解决问题的技术手段

4、本专利技术的第一观点的异常判定装置包括：测量单元，测量对在生产设备中生产的制品的品质产生影响的多个因素；控制部；以及存储部，所述存储部存储：因果关系模型，基于根据本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种异常判定装置，包括：

2.根据权利要求1所述的异常判定装置，其中所述控制部构成为

3.根据权利要求2所述的异常判定装置，其中构成为算出所述特征量从所述预测范围偏离的偏离度。

4.根据权利要求3所述的异常判定装置，其中所述控制部构成为

5.根据权利要求1所述的异常判定装置，其中所述控制部构成为

6.根据权利要求1所述的异常判定装置，其中基于通过多个正常数据而导出的多个特征量的偏差的幅度来规定所述预测范围。

7.根据权利要求1所述的异常判定装置，其中基于判定为异常的所述制品的所述因素，输出所述因素的值超出所述预测...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种异常判定装置，包括：

2.根据权利要求1所述的异常判定装置，其中所述控制部构成为

3.根据权利要求2所述的异常判定装置，其中构成为算出所述特征量从所述预测范围偏离的偏离度。

4.根据权利要求3所述的异常判定装置，其中所述控制部构成为

5.根据权利要求1所述的异常判定装置，其中所述控制部构成为<...

【专利技术属性】
技术研发人员：野村泰佑，藤井彻，服部玲子，
申请(专利权)人：欧姆龙株式会社，
类型：发明
国别省市：