【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本公开涉及一种基板保持器具、基板处理装置以及基板搬送方法。
技术介绍
1、在专利文献1中公开了一种真空吸附并搬送基板的基板搬送装置。基板搬送装置具备：多个垫，该多个垫包括凸缘部，用于保持基板；以及机械手，其将多个垫以能够装卸的方式固定。
2、现有技术文献
3、专利文献
4、专利文献1：日本特开2015-103696号公报
技术实现思路
1、专利技术要解决的问题
2、本公开所涉及的技术对于保持并搬送基板的搬送臂适当地评价基板的脱离性。
3、用于解决问题的方案
4、本公开的一个方式是一种基板保持器具，从搬送臂接受并保持基板，所述基板保持器具具有：载置部，其以在铅直方向上升降自如的方式构成，所述载置部载置基板；测定部，其测定所述载置部的重量、压力以及位移中的至少任一方；以及控制部，其基于所述测定部的测定结果来预测所述搬送臂的状态。
5、专利技术的效果
6、根据本公开，能够对于保持并搬送基板的搬送臂适当...
【技术保护点】
1.一种基板保持器具，从搬送臂接受并保持基板，所述基板保持器具具有：
2.根据权利要求1所述的基板保持器具，其中，
3.根据权利要求2所述的基板保持器具，其中，
4.根据权利要求2或3所述的基板保持器具，其中，
5.根据权利要求2～4中的任一项所述的基板保持器具，其中，
6.根据权利要求3～5中的任一项所述的基板保持器具，其中，
7.根据权利要求2～6中的任一项所述的基板保持器具，其中，
8.一种基板处理装置，具有根据权利要求1～7中的任一项所述的基板保持器具，其中，
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【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种基板保持器具，从搬送臂接受并保持基板，所述基板保持器具具有：
2.根据权利要求1所述的基板保持器具，其中，
3.根据权利要求2所述的基板保持器具，其中，
4.根据权利要求2或3所述的基板保持器具，其中，
5.根据权利要求2～4中的任一项所述的基板保持器具，其中，
6.根据权利要求3～5中的任一项所述的基板保持器具，其中，
...【专利技术属性】
技术研发人员：近藤圭祐，岩崎智德，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：
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