一种微波等离子体制备纳米粉的装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术是一种微波等离子体制备纳米粉的装置及方法，该装置包括：内导体管，内导体管包括第一内导管和设置在第一内导管外周的第二内导管，它们的下端为伞状，第二内导管的伞状下端内侧面具有向轴线方向进行弯曲的拐角部；等离子腔，等离子腔下端开口，上端和下端均收窄的结构，等离子腔为单模腔；冷却腔，冷却腔设置在等离子腔的下方，微波等离子体分布在内导体管的下方、等离子腔以及部分冷却腔内；旋风分离器；过滤器。本发明专利技术通过对内导体管和等离子腔的形状进行设置，使内导体管具有伞状下端，等离子腔的上端和下端均为收窄结构，提高微波等离子体成形效果，同时提高粉末处理效率和纳米粉收率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术实施例涉及增材制造，尤其涉及一种微波等离子体制备纳米粉的装置及方法。

技术介绍

1、利用微米级粉末来制备纳米级粉末的技术通常是将微米级粉末送入等离子体（电弧等离子体，感应耦合等离子体，微波等离子体）中，粉末受热汽化，然后冷却形成纳米粉，经过旋风分离器后微米粉被收集，经过过滤器后纳米粉被收集。

2、相关技术中，同轴微波等离子体只能在低功率下运行，温度低，难以达到汽化粉末的温度，制备纳米粉效率低；感应耦合等离子体和压缩波导形式的微波等离子体容易将石英管或陶瓷管烧损；热电弧等离子体制粉时，粉末从侧面进入等离子体尾焰，不能充分利用高温来实现粉末汽化。

3、因此，有必要改善上述相关技术方案中存在的一个或者多个问题。

4、需要注意的是，本部分旨在为权利要求书中陈述的本专利技术的技术方案提供背景或上下文。此处的描述不因为包括在本部分中就承认是现有技术。

技术实现思路

1、本专利技术的目的在于提供一种微波等离子体制备纳米粉的装置及方法，进而至少在一定程度上解决由于相关技术的限制和本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种微波等离子体制备纳米粉的装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述微波等离子体制备纳米粉的装置，其特征在于，所述内导体管的所述伞状下端与水平面所形成的夹角为30~60°。

3.根据权利要求1所述微波等离子体制备纳米粉的装置，其特征在于，所述等离子腔的侧壁设有双层水冷结构。

4.根据权利要求1所述微波等离子体制备纳米粉的装置，其特征在于，所述装置还包括微波传输区，所述微波传输区内设有石英玻璃管，所述第二内导管部分设置在所述微波传输区内，所述石英玻璃管和所述第二内导管之间设有2~5mm间隙。

5.根据权利要求4所述微波等离子体制备...

【技术特征摘要】

1.一种微波等离子体制备纳米粉的装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述微波等离子体制备纳米粉的装置，其特征在于，所述内导体管的所述伞状下端与水平面所形成的夹角为30~60°。

3.根据权利要求1所述微波等离子体制备纳米粉的装置，其特征在于，所述等离子腔的侧壁设有双层水冷结构。

4.根据权利要求1所述微波等离子体制备纳米粉的装置，其特征在于，所述装置还包括微波传输区，所述微波传输区内设有石英玻璃管，所述第二内导管部分设置在所述微波传输区内，所述石英玻璃管和所述第二内导管之间设有2~5mm间隙。

5.根据权利要求4所述微波等离子体制备纳米粉的装置，其特征在于，所述第二内导管的侧壁上设有吹送气体的第一进气口，所述微波传输区设有向斜下方吹送气体的第二进气口，所述等离子腔的侧壁上设有向斜下方吹送汇聚气体的第三进气口。

6.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：王强，孙念光，王浩，向长淑，王超，康鑫，孙江龙，
申请(专利权)人：西安赛隆增材技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：