【技术实现步骤摘要】
本技术涉及的一种电子级硫酸生产废气处理喷淋组件,特别是涉及应用于喷淋组件领域的一种电子级硫酸生产废气处理喷淋组件。
技术介绍
1、电子级硫酸又称高纯硫酸、超纯硫酸,属于超净高纯试剂,是一种微电子技术发展过程中不可缺少的关键基础化学试剂,广泛应用于半导体、超大规模集成电路的装配和加工过程,主要用于硅晶片的清洗和蚀刻,可有效除去晶片上的杂质颗粒、无机残留物和碳沉积物,电子级硫酸的纯度和洁净度对电子元件的成品率、电性能及可靠性有着重要的影响,电子级硫酸生产制备的过程中易产生对环境有害的工业废气。
2、为解决电子级硫酸生产制备的过程中易产生对环境有害的工业废气的问题,市场中的电子级硫酸生产可采用喷淋法的方式将其废气进行有效处理,具有一定的市场占比。
3、现有市场中的电子级硫酸生产可采用喷淋法的方式将其废气进行有效处理时,废气与喷淋水液的混合度不够均匀,会导致废气处理效果欠佳,因此需要设计一种具有气流混拌功能的电子级硫酸生产废气处理喷淋组件解决以上问题。
技术实现思路
1、针
...【技术保护点】
1.一种电子级硫酸生产废气处理喷淋组件,其特征在于:包括喷淋塔(9),所述喷淋塔(9)的内端固定连接有多个喷淋管架(2),所述喷淋管架(2)的下端固定连接有马达(8),所述马达(8)的输出端固定连接有辅助盘架(4),所述辅助盘架(4)位于喷淋管架(2)的正下方,所述辅助盘架(4)的下端固定连接有多个出液口(3),所述辅助盘架(4)的下端固定连接有多个电力扇叶(7),所述电力扇叶(7)的下端中部固定连接有延长搅拌杆(6)。
2.根据权利要求1所述的一种电子级硫酸生产废气处理喷淋组件,其特征在于:所述辅助盘架(4)靠近喷淋管架(2)的一端固定连接有多个防护罩筒
...【技术特征摘要】
1.一种电子级硫酸生产废气处理喷淋组件,其特征在于:包括喷淋塔(9),所述喷淋塔(9)的内端固定连接有多个喷淋管架(2),所述喷淋管架(2)的下端固定连接有马达(8),所述马达(8)的输出端固定连接有辅助盘架(4),所述辅助盘架(4)位于喷淋管架(2)的正下方,所述辅助盘架(4)的下端固定连接有多个出液口(3),所述辅助盘架(4)的下端固定连接有多个电力扇叶(7),所述电力扇叶(7)的下端中部固定连接有延长搅拌杆(6)。
2.根据权利要求1所述的一种电子级硫酸生产废气处理喷淋组件,其特征在于:所述辅助盘架(4)靠近喷淋管架(2)的一端固定连接有多个防护罩筒(5),多个所述防护罩筒(5)与对应的出液口(3)之间相配合。
3.根据权利要求1所...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘海丰,秦龙飞,
申请(专利权)人:联仕新材料苏州股份有限公司,
类型:新型
国别省市:
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