一种类球形的掺杂型二氧化铈及其制备方法和应用技术

本发明专利技术涉及一种类球形的掺杂型二氧化铈及其制备方法和应用，所述制备方法包括如下步骤：将铈盐、掺杂金属盐、溶剂、酸性试剂和沉淀剂混合后，进行水热反应，得到沉淀物，对所述沉淀物进行煅烧，得到所述的类球形的掺杂型二氧化铈；所述掺杂金属盐包括镨盐和/或钕盐。本发明专利技术以铈盐和作为掺杂金属盐的镨盐和/或钕盐为原料，通过与酸性试剂和沉淀剂混合过程以及反应工序的设计结合制备工艺的选择，实现了类球形的掺杂型二氧化铈的制备，得到了纳米级别颗粒的掺杂型二氧化铈，并且，其形貌规则且颗粒大小均匀，并且，本发明专利技术采用的制备方法工艺简便、反应时间短、能够用于大批量的生产。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及纳米稀土材料制备，尤其涉及一种类球形的掺杂型二氧化铈及其制备方法和应用。

技术介绍

1、二氧化铈作为典型的稀土材料，具有独特的晶体结构、优异的氧化还原能力、熔点高、化学活性强、安全、环境友好以及具有半导体特性等的优势，能够广泛应用于抛光工艺、化妆品和催化剂等领域，尤其是在抛光工艺中起着关键性的组分，能够作为化学机械抛光(cmp)工艺的主要磨料，并且，由于其硬度适中和化学活性强，被广泛应用于半导体制造和精密光学加工中。特别是类球形或球形结构的二氧化铈，由于光滑的表面和微磨粒磨损机理，能够产生更好的抛光效果。

2、此外，二氧化铈的形貌和粒径均会影响其的使用性能，尤其影响二氧化铈在化学机械抛光(cmp)工艺中的应用效果，不规则的二氧化铈的形貌以及粒径偏差较大会导致其抛光后得到的抛光材料的表面平整度较差，甚至无法应用于抛光工艺当中。

3、目前，二氧化铈主要采用固相法、液相法或气相法的制备方法制备得到。现有技术cn109761261a公开了一种二氧化铈的制备方法，采用含胺类和醇类的混合溶剂吸收二氧化碳，并制备出沉淀剂，沉淀铈盐制本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种类球形的掺杂型二氧化铈的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述铈盐和所述溶剂的质量比为1:(100-200)；

3.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，所述酸性试剂包括第一酸性试剂和第二酸性试剂；

4.根据权利要求1-3任一项所述的制备方法，其特征在于，所述沉淀剂包括第一沉淀剂和/或第二沉淀剂；

5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，当所述沉淀剂采用分步加入法时，所述水热反应为分段水热反应；

6.根据权利要求4或5所述的制备方法，其特征在于，...

【技术特征摘要】

1.一种类球形的掺杂型二氧化铈的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述铈盐和所述溶剂的质量比为1:(100-200)；

3.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，所述酸性试剂包括第一酸性试剂和第二酸性试剂；

4.根据权利要求1-3任一项所述的制备方法，其特征在于，所述沉淀剂包括第一沉淀剂和/或第二沉淀剂；

5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，当所述沉淀剂采用分步加入法时，所述水热反应为分段水热反应；

6.根据权利要求4或5所述的制备方法，其特征在于，所述第一沉淀剂和所述第二沉淀剂独立地选自尿素...

【专利技术属性】
技术研发人员：张佳奇，郭伟，李文龙，张兴祖，宋卓勇，
申请(专利权)人：广东聚芯半导体材料有限公司，
类型：发明
国别省市：