一种硅片传输机器臂用的柔性夹爪制造技术

技术编号:43832133 阅读:20 留言:0更新日期:2024-12-31 18:31
本技术公开了一种硅片传输机器臂用的柔性夹爪,属于柔性夹爪技术领域,一种硅片传输机器臂用的柔性夹爪,包括机器臂,机器臂的端部固定连接有安装盘;本技术,硅片在传输过程中需要转运时,通过机器臂带动柔性夹爪向硅片移动,夹持硅片时,通过液压杆伸长带动伸缩架向右侧移动,伸缩架在移动时,通过传动杆带动四侧夹爪同时转动,所夹爪带动端部的柔性夹头相互靠拢,通过柔性夹头对硅片进行夹持,松开硅片时,使液压杆缩短即可将硅片松开,该机器臂用的柔性夹爪,通过单个液压杆的伸缩,能够带动四侧夹爪与柔性夹头同时靠拢或远离,对工件完成夹持或松开,其结构简单,降低液压杆油路的复杂性,有效的降低了柔性夹爪的生产和维修成本。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及柔性夹爪,具体为一种硅片传输机器臂用的柔性夹爪


技术介绍

1、用硅片制成的芯片是有名的“神算子”,有着惊人的运算能力,在硅片的生产过程中,对硅片进行传输时,机器臂需要通过柔性夹爪对硅片进行夹持并转运。

2、硅片传输机器臂用的柔性夹爪在使用时,虽然能够对硅片进行柔性夹持,但夹爪一般在三个或以上,并且单个夹爪需要通过单个液压杆进行控制,因此柔性夹爪需要使用多个液压杆对多个夹爪进行控制,使得柔性夹爪的油路控制较为复杂,使得其生产和维修成本较高,不便使用,因此我们提出了一种硅片传输机器臂用的柔性夹爪,以解决所提出的问题。


技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种硅片传输机器臂用的柔性夹爪,达到了该机器臂用的柔性夹爪,通过单个液压杆的伸缩,能够带动四侧夹爪与柔性夹头同时靠拢或远离,对工件完成夹持或松开,其结构简单,降低液压杆油路的复杂性,有效的降低了柔性夹爪的生产和维修成本的目的。

2、为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种硅片传输机器臂用的柔性夹爪,包括机器臂,所述机器臂的本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种硅片传输机器臂用的柔性夹爪,包括机器臂(1),其特征在于:所述机器臂(1)的端部固定连接有安装盘(2),所述安装盘(2)远离机器臂(1)的一侧安装有安装座(3),其中,

2.根据权利要求1所述的硅片传输机器臂用的柔性夹爪,其特征在于:所述夹爪(5)靠近柔性夹头(7)的一端开设有卡槽(8),所述柔性夹头(7)对应卡槽(8)一侧固定连接有卡块(9)。

3.根据权利要求2所述的硅片传输机器臂用的柔性夹爪,其特征在于:所述卡块(9)为矩形柱状,且卡块(9)与柔性夹头(7)均由橡胶材料制成。

4.根据权利要求1所述的硅片传输机器臂用的柔性夹爪,其特征在于...

【技术特征摘要】

1.一种硅片传输机器臂用的柔性夹爪,包括机器臂(1),其特征在于:所述机器臂(1)的端部固定连接有安装盘(2),所述安装盘(2)远离机器臂(1)的一侧安装有安装座(3),其中,

2.根据权利要求1所述的硅片传输机器臂用的柔性夹爪,其特征在于:所述夹爪(5)靠近柔性夹头(7)的一端开设有卡槽(8),所述柔性夹头(7)对应卡槽(8)一侧固定连接有卡块(9)。

3.根据权利要求2所述的硅片传输机器臂用的柔性夹爪,其特征在于:所述卡块(9)为矩形柱状,且卡块(9)与柔性夹头(7)均由橡胶材料制成。

4.根据权利要求1所述的硅片传输机器臂用的柔性夹爪,其特征在于:所述快速拆装机构包括安装槽(1...

【专利技术属性】
技术研发人员:许博
申请(专利权)人:北京信息科技大学
类型:新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1