【技术实现步骤摘要】
本技术涉及柔性夹爪,具体为一种硅片传输机器臂用的柔性夹爪。
技术介绍
1、用硅片制成的芯片是有名的“神算子”,有着惊人的运算能力,在硅片的生产过程中,对硅片进行传输时,机器臂需要通过柔性夹爪对硅片进行夹持并转运。
2、硅片传输机器臂用的柔性夹爪在使用时,虽然能够对硅片进行柔性夹持,但夹爪一般在三个或以上,并且单个夹爪需要通过单个液压杆进行控制,因此柔性夹爪需要使用多个液压杆对多个夹爪进行控制,使得柔性夹爪的油路控制较为复杂,使得其生产和维修成本较高,不便使用,因此我们提出了一种硅片传输机器臂用的柔性夹爪,以解决所提出的问题。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种硅片传输机器臂用的柔性夹爪,达到了该机器臂用的柔性夹爪,通过单个液压杆的伸缩,能够带动四侧夹爪与柔性夹头同时靠拢或远离,对工件完成夹持或松开,其结构简单,降低液压杆油路的复杂性,有效的降低了柔性夹爪的生产和维修成本的目的。
2、为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种硅片传输机器臂用的柔性夹爪,包括
...【技术保护点】
1.一种硅片传输机器臂用的柔性夹爪,包括机器臂(1),其特征在于:所述机器臂(1)的端部固定连接有安装盘(2),所述安装盘(2)远离机器臂(1)的一侧安装有安装座(3),其中,
2.根据权利要求1所述的硅片传输机器臂用的柔性夹爪,其特征在于:所述夹爪(5)靠近柔性夹头(7)的一端开设有卡槽(8),所述柔性夹头(7)对应卡槽(8)一侧固定连接有卡块(9)。
3.根据权利要求2所述的硅片传输机器臂用的柔性夹爪,其特征在于:所述卡块(9)为矩形柱状,且卡块(9)与柔性夹头(7)均由橡胶材料制成。
4.根据权利要求1所述的硅片传输机器臂用的
...【技术特征摘要】
1.一种硅片传输机器臂用的柔性夹爪,包括机器臂(1),其特征在于:所述机器臂(1)的端部固定连接有安装盘(2),所述安装盘(2)远离机器臂(1)的一侧安装有安装座(3),其中,
2.根据权利要求1所述的硅片传输机器臂用的柔性夹爪,其特征在于:所述夹爪(5)靠近柔性夹头(7)的一端开设有卡槽(8),所述柔性夹头(7)对应卡槽(8)一侧固定连接有卡块(9)。
3.根据权利要求2所述的硅片传输机器臂用的柔性夹爪,其特征在于:所述卡块(9)为矩形柱状,且卡块(9)与柔性夹头(7)均由橡胶材料制成。
4.根据权利要求1所述的硅片传输机器臂用的柔性夹爪,其特征在于:所述快速拆装机构包括安装槽(1...
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