一种还原炉余热高效利用系统技术方案

本申请公开了一种还原炉余热高效利用系统，属于余热再利用技术领域，其包括过滤器、TCS汽化系统、H<subgt;2</subgt;加热器和TCS预热器。底盘上的出口与过滤器的热程通道连通，过滤器、TCS汽化系统、H<subgt;2</subgt;加热器和TCS预热器的热程通道依次连通，TCS预热器和TCS汽化系统的冷程通道依次连通后与底盘上的入口连通，H<subgt;2</subgt;加热器的冷程通道也与底盘上的入口连通。本技术公开的还原炉余热高效利用系统通过尾气热量的多次利用，一方面能够对SiHCl<subgt;3</subgt;进行多次加热，另一方面，每个环节内尾气和SiHCl<subgt;3</subgt;的温差都被控制在一定范围内，且当尾气经过TCS预热器时，具有更低的温度，也就令尾气排放时具有更低的温度，这样能够有效地减少热量浪费，从而有效地提升了还原炉余热的利用率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及余热再利用，具体而言，涉及一种还原炉余热高效利用系统。

技术介绍

1、改良西门子法是国际上生产多晶硅的主流技术，其核心设备为还原炉。还原炉的工作原理是通过通电高温硅芯将三氯氢硅与氢气的混和气体反应生成多晶硅并沉积在硅芯上。还原炉的反应物料从底盘进入还原炉内，炉内的反应是以1050℃左右的硅芯为载体，在表面发生化学气相沉积。反应需消耗大量的电能进行加热到反应温度，为保护还原炉和提高还原炉的使用寿命，炉体和底盘温度不可过高，温度过高，不仅影响设备寿命，同时存在安全隐患，所以要对还原炉及底盘持续降温，在此过程中，多余的热量都被还原炉冷却水带走，造成能源浪费。冷却水带走高温循环水经过换热器进行降温，然后再送到还原炉钟罩、底盘、电极及还原炉尾气进行降温。

2、余热利用工艺，是通过相应工艺流程将高温循环水以及需要降温的高温尾气的热量回收利用，目前还原的余热利用系统整体效率一般。

技术实现思路

1、本技术公开了一种还原炉余热高效利用系统，以改善上述的问题。

2、本技术解决上述技术问题所采用本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种还原炉余热高效利用系统，用于对还原炉的余热进行再利用，所述还原炉包括钟罩、底盘和电极所述钟罩盖接于所述底盘，所述电极安装于所述底盘，所述底盘上设置有入口和出口，其特征在于，所述系统包括过滤器、TCS汽化系统、H2加热器和TCS预热器，所述过滤器的输入端与所述底盘的所述出口连通，所述过滤器的输出端与所述TCS汽化系统的热程通道连通，所述TCS汽化系统的热程通道与所述H2加热器的热程通道连通，所述H2加热器的热程通道与所述TCS预热器的热程通道连通，所述H2加热器的冷程通道与所述底盘的所述入口连通，所述TCS预热器的冷程通道与所述TCS汽化系统的冷程通道连通，所述TCS汽化系统的冷程...

【技术特征摘要】

1.一种还原炉余热高效利用系统，用于对还原炉的余热进行再利用，所述还原炉包括钟罩、底盘和电极所述钟罩盖接于所述底盘，所述电极安装于所述底盘，所述底盘上设置有入口和出口，其特征在于，所述系统包括过滤器、tcs汽化系统、h2加热器和tcs预热器，所述过滤器的输入端与所述底盘的所述出口连通，所述过滤器的输出端与所述tcs汽化系统的热程通道连通，所述tcs汽化系统的热程通道与所述h2加热器的热程通道连通，所述h2加热器的热程通道与所述tcs预热器的热程通道连通，所述h2加热器的冷程通道与所述底盘的所述入口连通，所述tcs预热器的冷程通道与所述tcs汽化系统的冷程通道连通，所述tcs汽化系统的冷程通道与所述底盘的所述入口连通。

2.根据权利要求1所述的还原炉余热高效利用系统，其特征在于，还包括过tcs过预热器，所述过滤器的输出端与所述tcs过预热器的热程通道连通，所述tcs过预热器的热程通道与所述tcs汽化系统的热程通道连通；所述tcs预热器的冷程通道与所述tcs过预热器的冷程通道连通，所述tcs过预热器的冷程通道与所述底盘的所述入口连通。

3.根据权利要求1所述的还原炉余热高效利用系统，其特征在于，还包括余热利用系统、电极调功水罐和水管，所述余热利用系统和所述电极调功水罐相互连通，所述水管的一端与所述余热利用系统连通，所述水管的另一端与所述电极调功...

【专利技术属性】
技术研发人员：张军文，高志明，赵以宏，肖建忠，魏致凯，
申请(专利权)人：青海亚洲硅业多晶硅有限公司，
类型：新型
国别省市：