【技术实现步骤摘要】
本技术涉及冷却水系统，更具体地，涉及一种混水冷却水系统。
技术介绍
1、工艺冷却水系统是用于半导体、微电子等行业中关键设备的间接冷却装置。
2、现有技术中与本申请最接近的冷却水系统，为公告号：cn212130799u，一种电池车间压缩空气系统，本技术提出一种电池车间压缩空气系统，其包括：冷却塔系统1、冷却水泵组2、冷却水保护板换换热系统3、热回收水泵组4、空压机热回收系统5、空压机组10、第一储气罐组12、干燥机组14和第二储气罐组16设置空压机热回收系统5。
3、该冷却水系统采用板式换热器来进行换热冷却，冷却成本较高，且能耗高，无法满足低成本、低能耗的生产需求。
4、有鉴于此，本技术提出一种能耗低的、低扬程的，一种混水冷却水系统。
技术实现思路
1、本技术的目的在于，提出一种能耗低的、灵活调节的，一种混水冷却水系统。
2、一种混水冷却水系统，包括冷水机组1、回水变频水泵组2、混水变频水泵组3、控制台，其特征在于：所述冷水机组1有多台，多台冷水机组1并联设置，每一冷水机组1的蒸发器输出端通过第一冷冻水供水管4与外接空调系统冷冻水输入端连接，第一冷冻水供水管4侧边通过第一冷却水供水管5与混水变频水泵组3输入端连接，混水变频水泵组3输出端通过第二冷却水供水管6与工艺设备pcw输入端连接，每一冷水机组1的蒸发器输入端通过第一冷冻水回水管与回水变频水泵组2输出端连接，回水变频水泵组2输入端通过第一冷冻水回水管7与外接空调系统冷冻水输出端连接，
3、进一步的，所述第一冷却水回水管8从上到下一次设有第二蝶阀81、第一水力平衡阀82、第一电动阀83、第三蝶阀84、第一温度计85、第一压力表86，第二蝶阀81、第三蝶阀84用于控制管道开闭，第一水力平衡阀82用于消除管线的剩余压头及压力波动所引起的流量偏差，第一电动阀83用于控制管道内流量，第一温度计85用于反馈冷却水回水温度，第一压力表86用于反馈第一冷却水回水管8内管道压力。
4、在一些实施方式中，所述第二冷却水供水管6上靠近工艺设备pcw输入端上还设有温度传感器61，温度传感器61用于监测混合后的供水温度。
5、在一些实施方式中，所述第一冷却水供水管5上靠近混水变频水泵组3输入端处从上到下依次设有第四蝶阀51、第一y型过滤器52、第五蝶阀53，第四蝶阀51、第五蝶阀53用于控制管道开闭，第一y型过滤器52用于对水进行过滤。
6、在一些实施方式中，混水变频水泵组3有2组，一组为使用组，1组为备用组，所述混水变频水泵组3包括第二温度计31、第六蝶阀32、第二压力表33、第一回水变频水泵34、第三压力表35、第二止回阀36、第七蝶阀37，第二温度计31用于反馈混水变频水泵输入前端的温度，第二压力表33用于反馈混水变频水泵输入前端的压力，第三压力表35用于反馈混水变频水泵输出后端的压力，第六蝶阀32、第七蝶阀37用于控制管道开闭，第二止回阀36用于防止水回流。
7、在一些实施方式中，所述第二冷却水供水管6与第一冷却水回水管8之间还设有旁通管10，旁通管10从上到下依次设有第八蝶阀101、第二电动阀102、第九蝶阀103，第八蝶阀101、第九蝶阀103用于控制管道开闭，第二电动阀102用于控制管道流量，旁通管10侧边设有压差传感器104，压差传感器104一端与第二冷却水供水管6连接，压差传感器104与第一冷却水回水管8连接。
8、在一些实施方式中，第一电动阀83、第二电动阀102、温度传感器61、压差传感器104与控制台电性连接，当温度传感器61监测到供水温度较高或低时，调节第一电动阀83开度来调节水温，当压差传感器104监测到供水末端用量较少时，调节第二电动阀102，使其由旁通管10进行回水而不进入工艺设备pcw供水端。
9、在一些实施方式中，所述第二冷却水供水管6上靠近工艺设备pcw输入端还设有袋式过滤器11，袋式过滤器11用于对输出混合冷却水进行过滤，袋式过滤器11过滤精度为50μm。
10、在一些实施方式中，所述第一冷冻水回水管7上还设有加药装置12，用于对回水进行加药消毒。
11、在一些实施方式中，所述第一冷冻水回水管7上还设有定压补水装置13，用于补充系统内ro水。
12、本技术的有益效果：本技术提出一种混水冷却水系统，所述冷水机组1有多台，多台冷水机组1并联设置，每一冷水机组1的蒸发器输出端通过第一冷冻水供水管4与外接空调系统冷冻水输入端连接，第一冷冻水供水管4侧边通过第一冷却水供水管5与混水变频水泵组3输入端连接，混水变频水泵组3输出端通过第二冷却水供水管6与工艺设备pcw输入端连接，每一冷水机组1的蒸发器输入端通过第一冷冻水回水管与回水变频水泵组2输出端连接，回水变频水泵组2输入端通过第一冷冻水回水管7与外接空调系统冷冻水输出端连接，第一冷冻水回水管7侧边通过第一冷却水回水管8与工艺设备pcw输出端连接，所述第一冷却水回水管8与第二冷却水供水管6之间设有第一混水管9，第一混水管9上从左到右依次设有第一蝶阀91、第一止回阀92，通过将冷冻水与冷却水进行混合降温，代替现有板式换热器冷却换热，降低生产成本；可同时提供冷冻水与冷却水，提高可供水范围；设置第一电动阀83、第二电动阀102、温度传感器61、压差传感器104，可以灵活调节，进一步降低能耗。
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1.一种混水冷却水系统，包括冷水机组（1）、回水变频水泵组（2）、混水变频水泵组（3）、控制台，其特征在于：所述冷水机组（1）有多台，多台冷水机组（1）并联设置，每一冷水机组（1）的蒸发器输出端通过第一冷冻水供水管（4）与外接空调系统冷冻水输入端连接，第一冷冻水供水管（4）侧边通过第一冷却水供水管（5）与混水变频水泵组（3）输入端连接，混水变频水泵组（3）输出端通过第二冷却水供水管（6）与工艺设备PCW输入端连接，每一冷水机组（1）的蒸发器输入端通过第一冷冻水回水管与回水变频水泵组（2）输出端连接，回水变频水泵组（2）输入端通过第一冷冻水回水管（7）与外接空调系统冷冻水输出端连接，第一冷冻水回水管（7）侧边通过第一冷却水回水管（8）与工艺设备PCW输出端连接，所述第一冷却水回水管（8）与第二冷却水供水管（6）之间设有第一混水管（9），第一混水管（9）上从左到右依次设有第一蝶阀（91）、第一止回阀（92），回水变频水泵组（2）、混水变频水泵组（3）与控制台电性连接。
2.如权利要求1所述的混水冷却水系统，其特征在于：所述第一冷却水回水管（8）从上到下一次设有第二蝶阀（8
3.如权利要求1所述的混水冷却水系统，其特征在于：所述第二冷却水供水管（6）上靠近工艺设备PCW输入端上还设有温度传感器（61），温度传感器（61）用于监测混合后的供水温度。
4.如权利要求1所述的混水冷却水系统，其特征在于：所述第一冷却水供水管（5）上靠近混水变频水泵组（3）输入端处从上到下依次设有第四蝶阀（51）、第一Y型过滤器（52）、第五蝶阀（53），第四蝶阀（51）、第五蝶阀（53）用于控制管道开闭，第一Y型过滤器（52）用于对水进行过滤。
5.如权利要求1所述的混水冷却水系统，其特征在于：混水变频水泵组（3）有2组，一组为使用组，1组为备用组，所述混水变频水泵组（3）包括第二温度计（31）、第六蝶阀（32）、第二压力表（33）、第一回水变频水泵（34）、第三压力表（35）、第二止回阀（36）、第七蝶阀（37），第二温度计（31）用于反馈混水变频水泵输入前端的温度，第二压力表（33）用于反馈混水变频水泵输入前端的压力，第三压力表（35）用于反馈混水变频水泵输出后端的压力，第六蝶阀（32）、第七蝶阀（37）用于控制管道开闭，第二止回阀（36）用于防止水回流。
6.如权利要求1所述的混水冷却水系统，其特征在于：所述第二冷却水供水管（6）与第一冷却水回水管（8）之间还设有旁通管（10），旁通管（10）从上到下依次设有第八蝶阀（101）、第二电动阀（102）、第九蝶阀（103），第八蝶阀（101）、第九蝶阀（103）用于控制管道开闭，第二电动阀（102）用于控制管道流量，旁通管（10）侧边设有压差传感器（104），压差传感器（104）一端与第二冷却水供水管（6）连接，压差传感器（104）与第一冷却水回水管（8）连接。
7.如权利要求1所述的混水冷却水系统，其特征在于：第一电动阀（83）、第二电动阀（102）、温度传感器（61）、压差传感器（104）与控制台电性连接。
8.如权利要求1所述的混水冷却水系统，其特征在于：所述第二冷却水供水管（6）上靠近工艺设备PCW输入端还设有袋式过滤器（11），袋式过滤器（11）用于对输出混合冷却水进行过滤，袋式过滤器（11）过滤精度为50μm。
9.如权利要求1所述的混水冷却水系统，其特征在于：所述第一冷冻水回水管（7）上还设有加药装置（12），用于对回水进行加药消毒。
10.如权利要求1所述的混水冷却水系统，其特征在于：所述第一冷冻水回水管（7）上还设有定压补水装置（13），用于补充系统内RO水。
...【技术特征摘要】
1.一种混水冷却水系统，包括冷水机组（1）、回水变频水泵组（2）、混水变频水泵组（3）、控制台，其特征在于：所述冷水机组（1）有多台，多台冷水机组（1）并联设置，每一冷水机组（1）的蒸发器输出端通过第一冷冻水供水管（4）与外接空调系统冷冻水输入端连接，第一冷冻水供水管（4）侧边通过第一冷却水供水管（5）与混水变频水泵组（3）输入端连接，混水变频水泵组（3）输出端通过第二冷却水供水管（6）与工艺设备pcw输入端连接，每一冷水机组（1）的蒸发器输入端通过第一冷冻水回水管与回水变频水泵组（2）输出端连接，回水变频水泵组（2）输入端通过第一冷冻水回水管（7）与外接空调系统冷冻水输出端连接，第一冷冻水回水管（7）侧边通过第一冷却水回水管（8）与工艺设备pcw输出端连接，所述第一冷却水回水管（8）与第二冷却水供水管（6）之间设有第一混水管（9），第一混水管（9）上从左到右依次设有第一蝶阀（91）、第一止回阀（92），回水变频水泵组（2）、混水变频水泵组（3）与控制台电性连接。
2.如权利要求1所述的混水冷却水系统，其特征在于：所述第一冷却水回水管（8）从上到下一次设有第二蝶阀（81）、第一水力平衡阀（82）、第一电动阀（83）、第三蝶阀（84）、第一温度计（85）、第一压力表（86），第二蝶阀（81）、第三蝶阀（84）用于控制管道开闭，第一水力平衡阀（82）用于消除管线的剩余压头及压力波动所引起的流量偏差，第一电动阀（83）用于控制管道内流量，第一温度计（85）用于反馈冷却水回水温度，第一压力表（86）用于反馈第一冷却水回水管（8）内管道压力。
3.如权利要求1所述的混水冷却水系统，其特征在于：所述第二冷却水供水管（6）上靠近工艺设备pcw输入端上还设有温度传感器（61），温度传感器（61）用于监测混合后的供水温度。
4.如权利要求1所述的混水冷却水系统，其特征在于：所述第一冷却水供水管（5）上靠近混水变频水泵组（3）输入端处从上到下依次设有第四蝶阀（51）、第一y型过滤器（52）、第五蝶阀（53），第四蝶阀（51...
【专利技术属性】
技术研发人员：项琼，宋吉庆，李群，
申请(专利权)人：江苏源一工程科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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