【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及低温生长条件下利用化学气相沉积工艺(CVD)制备大尺寸高光学透过性能硫化锌(ZnS)设备及其工艺，属于无机块状材料制备的领域。
技术介绍
ZnS属于性能优良的红外光学透过材料，它的透射波段涵盖可见光、中红外和远红外，同时具备优良的力学和热学性能，是应用于特殊环境或者先进武器中的红外探测、成像等装置的窗口 、整流罩和透镜的首选材料。 目前国际上制备ZnS途径有粉末热压工艺、熔融单晶拉制工艺和化学气相沉积(CVD)工艺等。CVD工艺制备的ZnS材料纯度好、密度高、光学透过性能优良，目前国际上高性能ZnS窗口 、透镜等元件普遍采用CVD工艺制备。 CVD工艺低温(600 670°C )生长ZnS材料杂相少，红外透过性能优异，但是材料生长过程中内应力大，容易出现起拱、开裂等问提，产品利用率低下。目前国际上普遍采用高温(670 730°C )生长ZnS。但高温生长ZnS的红外透过性能降低。低温生长ZnS抑制起拱，获得高红外透过性能的大尺寸ZnS块材在国际上一直是一个难题。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种化学气相沉积ZnS低温生长的设备及其工艺，可消除...
【技术保护点】
一种化学气相沉积ＺｎＳ低温生长的设备，其特征在于，在真空炉内最下端安放锌池（１），内部盛放锌原料，锌池侧壁接有氩气进口管（５），在锌池的盖部通过喷嘴（２）与其上部的沉积室（３）接通，并有经氩气稀释的硫化氢气体进口管（６）与喷嘴相连，沉积室（３）的上口与卸料箱（４）的下口相通，卸料箱内安放挡板（９），且上口与抽气管道（７）、高效过滤器（１０）、真空泵（１１）、硫化氢吸收塔（１２）相连。在真空炉内设有加热器（８），给锌池和沉积室提供加热。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王铁艳，苏小平，张福昌，杨海，魏乃光，杨建纯，赵永田，霍承松，付利刚，石红春，
申请(专利权)人：北京有色金属研究总院，北京国晶辉红外光学科技有限公司，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]
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