【技术实现步骤摘要】
本公开涉及晶体生长领域,更具体地涉及一种提拉法用坩埚尺寸检测装置。
技术介绍
1、在晶体生长领域中,提拉法生长晶体需要使用到大量的石英坩埚,对其加工尺寸的精度要求高,对于坩埚的高度、直径及底部弧度都有着一定的要求。目前所用检测方法通常是人工以卡尺、刻度尺等传统工具来进行测量,由于人工测量受测量者习惯、操作熟练程度等因素的影响,无论是在测量的精度还是测量的功能性上均有待提高。
技术实现思路
1、鉴于
技术介绍
中存在的问题,本公开的一目的在于提供一种提拉法用坩埚尺寸检测装置,其能提高提拉法用坩埚尺寸检测的精度。
2、本公开的另一目的在于提供一种提拉法用坩埚尺寸检测装置,其能提高提拉法用坩埚尺寸检测装置的功能性。
3、由此,提供一种提拉法用坩埚尺寸检测装置,提拉法用坩埚尺寸检测装置包括框架以及多个测距传感器;框架包括两u型架以及顶板,两u型架在底部中心十字垂直连接,两u型架共同围成用于容置提拉法用坩埚的轴对称的容置空间,两u型架在底部形成在同一水平面内延伸的十字型水平底面,
...【技术保护点】
1.一种提拉法用坩埚尺寸检测装置,其特征在于,
2.根据权利要求1所述的提拉法用坩埚尺寸检测装置,其特征在于,
3.根据权利要求1所述的提拉法用坩埚尺寸检测装置,其特征在于,
4.根据权利要求3所述的提拉法用坩埚尺寸检测装置,其特征在于,
5.根据权利要求1所述的提拉法用坩埚尺寸检测装置,其特征在于,
6.根据权利要求1所述的提拉法用坩埚尺寸检测装置,其特征在于,
7.根据权利要求6所述的提拉法用坩埚尺寸检测装置,其特征在于,
8.根据权利要求1所述的提拉法用坩埚尺寸检测装置,其特征在
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【技术特征摘要】
1.一种提拉法用坩埚尺寸检测装置,其特征在于,
2.根据权利要求1所述的提拉法用坩埚尺寸检测装置,其特征在于,
3.根据权利要求1所述的提拉法用坩埚尺寸检测装置,其特征在于,
4.根据权利要求3所述的提拉法用坩埚尺寸检测装置,其特征在于,
5.根据权利要求1所述的提拉法用坩埚尺寸检测装置,其特征在于,
6.根据权利要求1所述的提拉法用坩埚尺寸检...
【专利技术属性】
技术研发人员:李镇宏,狄聚青,李丽波,
申请(专利权)人:广东晶智光电科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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