【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体，尤其涉及一种用于硅片花篮支撑钢管的保护套套装装置。
技术介绍
1、硅片是半导体制造中的关键原材料，其表面质量直接影响到芯片的性能和可靠性。传统的硅片花篮在运输和存储过程中容易受到外界环境的污染，尤其是支撑钢管部分，一旦受到污染或损伤，将直接影响硅片的质量。
2、目前对硅片花篮支撑钢管套装保护套均是由人工操作完成的，自动化程度低，这就使得目前的硅片花篮支撑钢管套装保护套的效率低下，长时间的套装操作会造成工作人员手部疲劳，从而进一步的降低硅片花篮支撑钢管套装保护套的套装效率，因此急需改进。
技术实现思路
1、针对现有技术存在的不足，本专利技术的目的在于提供一种用于硅片花篮支撑钢管的保护套套装装置，旨在解决上述技术问题。
2、为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：
3、一种用于硅片花篮支撑钢管的保护套套装装置，包括框体和控制装置，所述控制装置与所述框体固定连接，所述框体上设置有用于放置保护套卷的收卷部，用于硅片花篮支撑钢管的保护...
【技术保护点】
1.一种用于硅片花篮支撑钢管的保护套套装装置，包括框体（1）和控制装置（2），所述控制装置（2）与所述框体（1）固定连接，其特征在于，所述框体（1）上设置有用于放置保护套卷的收卷部，用于硅片花篮支撑钢管的保护套套装装置还包括：
2.根据权利要求1所述的一种用于硅片花篮支撑钢管的保护套套装装置，其特征在于，所述收卷部包括：
3.根据权利要求2所述的一种用于硅片花篮支撑钢管的保护套套装装置，其特征在于，所述拉套机构包括：
4.根据权利要求3所述的一种用于硅片花篮支撑钢管的保护套套装装置，其特征在于，所述驱动部包括：
5.根据...
【技术特征摘要】
1.一种用于硅片花篮支撑钢管的保护套套装装置，包括框体（1）和控制装置（2），所述控制装置（2）与所述框体（1）固定连接，其特征在于，所述框体（1）上设置有用于放置保护套卷的收卷部，用于硅片花篮支撑钢管的保护套套装装置还包括：
2.根据权利要求1所述的一种用于硅片花篮支撑钢管的保护套套装装置，其特征在于，所述收卷部包括：
3.根据权利要求2所述的一种用于硅片花篮支撑钢管的保护套套装装置，其特征在于，所述拉套机构包括：
4.根据权利要求3所述的一种用于硅片花篮支撑钢管的保护套套装装置，其特征在于，所述驱动部包括：
5.根据权利要求4所述的一种用于硅片花...
【专利技术属性】
技术研发人员：成如诗，毛爱民，李文红，付浩然，吴峰光，
申请(专利权)人：深圳市石金科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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