一种旋转式钙钛矿蒸发仪制造技术

本技术公开了一种旋转式钙钛矿蒸发仪，包括机座，还包括镀膜室和调节机构，所述机座顶部设置有进行钙钛矿蒸镀的镀膜室，所述镀膜室顶部设置有调节机构，所述调节机构包括顶盖、安装座、从动齿轮、传动轴、电机、主动齿轮、插杆和连接齿轮，所述顶盖顶部固定连接有安装座且安装座内部靠近顶盖圆心位置通过传动轴安装有从动齿轮，需要旋转基材时，下压插杆使得连接齿轮分别与主动齿轮和从动齿轮相啮合，电机运行通过主动齿轮、连接齿轮、从动齿轮和传动轴带动夹座的转动，进而使得基材在镀膜过程中处于缓速旋转状态，保证镀膜厚度均匀性，提高成品质量。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及钙钛矿蒸镀，特别涉及一种旋转式钙钛矿蒸发仪。

技术介绍

1、钙钛矿一般为立方体或八面体形状，具有光泽，浅色到棕色。它们可用于提炼钛、铌和稀土元素，也是蒸镀加工中常用的原材料，钙钛矿蒸镀是一种利用物理气相沉积技术在表面上制备钙钛矿晶体的过程，可应用于电子学、太阳能电池和传感器等领域，具有高纯度、薄膜均匀性好、晶体质量高等优点。

2、现有的钙钛矿蒸镀设备在使用过程中存在以下弊端：在进行钙钛矿蒸镀加工时，待加工基材直接置于镀膜室内部固定，通过加热蒸发源材进行蒸镀作业，由于基材在加工过程中位置固定，所以在蒸镀作业时有时会出现表面成膜厚度不均匀的问题，影响整体质量，为此，我们提出一种旋转式钙钛矿蒸发仪。

技术实现思路

1、本技术的主要目的在于提供一种旋转式钙钛矿蒸发仪，通过位于镀膜室顶部的调节机构，在需要时可以控制基材在蒸镀过程中不断旋转，以提高镀膜厚度均匀性，可以有效解决
技术介绍
中的问题。

2、为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：

3、一种旋转式钙钛矿蒸发仪，包括机座本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种旋转式钙钛矿蒸发仪，包括机座(1)，其特征在于，还包括镀膜室(2)和调节机构(3)，所述机座(1)顶部设置有进行钙钛矿蒸镀的镀膜室(2)，所述镀膜室(2)顶部设置有调节机构(3)，所述调节机构(3)包括顶盖(301)、安装座(302)、从动齿轮(303)、传动轴(304)、电机(305)、主动齿轮(307)、插杆(308)和连接齿轮(309)，所述顶盖(301)顶部固定连接有安装座(302)且安装座(302)内部靠近顶盖(301)圆心位置通过传动轴(304)安装有从动齿轮(303)，所述电机(305)动力输出端安装有主动齿轮(307)，所述安装座(302)内部竖直方向插接有插杆(...

【技术特征摘要】

1.一种旋转式钙钛矿蒸发仪，包括机座(1)，其特征在于，还包括镀膜室(2)和调节机构(3)，所述机座(1)顶部设置有进行钙钛矿蒸镀的镀膜室(2)，所述镀膜室(2)顶部设置有调节机构(3)，所述调节机构(3)包括顶盖(301)、安装座(302)、从动齿轮(303)、传动轴(304)、电机(305)、主动齿轮(307)、插杆(308)和连接齿轮(309)，所述顶盖(301)顶部固定连接有安装座(302)且安装座(302)内部靠近顶盖(301)圆心位置通过传动轴(304)安装有从动齿轮(303)，所述电机(305)动力输出端安装有主动齿轮(307)，所述安装座(302)内部竖直方向插接有插杆(308)且插杆(308)底部安装有位于主动齿轮(307)和从动齿轮(303)之间的连接齿轮(309)。

2.根据权利要求1所述的一种旋转式钙钛矿蒸发仪，其特征在于：还包括夹持机构(4)，所述顶盖(301)底部设置有夹持机构(4)，所述夹持机构...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁苗苗，
申请(专利权)人：无锡拓新纳米科技有限公司，
类型：新型
国别省市：