【技术实现步骤摘要】
本申请涉及超精密切削加工设备，尤其涉及一种超精密切削微量润滑冷却系统及方法。
技术介绍
1、在进行超精密切削加工的过程中，为了提高工件的表面光洁度，对刀具与工件的接触位置不断喷施切削液，以降低刀具和工件接触区域摩擦和温度，避免剧烈摩擦和高温导致的被加工工件表面产生麻点、凹坑、裂纹以及表层/亚表层损伤等表面缺陷，同时，降低刀具的磨损。
2、对于单晶硅材料而言，一般是通过激光将加工区域加热到400℃左右进行超精密切削加工，原因是单晶硅材料在室温下是脆性材料，约400℃左右其会由脆性转变为塑性，能够改善切削性能。然而，由于激光的加热作用，刀具的刚度会降低，因此在加工的过程中需要不断喷施切削液，从而降低切削热，降低刀具磨损。然而，如果切削液喷施过多，会导致激光加热单晶硅的效果不理想，切削液喷施过少，降低切削热的效果会不明显。
3、对于单晶锗等材料而言，一般是直接通过传统的超精密切削加工方式对材料进行去除，在加工过程中，为了降低刀具与工件之间的摩擦和温度，通常需要喷施切削液。传统的切削液喷施方法通常是通过固定喷嘴向切削区域...
【技术保护点】
1.一种超精密切削微量润滑冷却系统，其特征在于：包括刀具座（1）、热感摄像机（2）、切削液导流管（3）、切削液喷头（4）、第一角度调节电动伸缩杆（5）、第二角度调节电动伸缩杆（6）、显示屏（7）、控制器（8）、流量控制阀（11）；
2.根据权利要求1所述的一种超精密切削微量润滑冷却系统，其特征在于：
3.根据权利要求2所述的一种超精密切削微量润滑冷却系统，其特征在于：
4.根据权利要求3所述的一种超精密切削微量润滑冷却系统，其特征在于：
5.根据权利要求4所述的一种超精密切削微量润滑冷却系统，其特征在于：
6...
【技术特征摘要】
1.一种超精密切削微量润滑冷却系统，其特征在于：包括刀具座（1）、热感摄像机（2）、切削液导流管（3）、切削液喷头（4）、第一角度调节电动伸缩杆（5）、第二角度调节电动伸缩杆（6）、显示屏（7）、控制器（8）、流量控制阀（11）；
2.根据权利要求1所述的一种超精密切削微量润滑冷却系统，其特征在于：
3.根据权利要求2所述的一种超精密切削微量润滑冷却系统，其特征在于：
4.根据权利要求3所述的一种超精密切削微量润滑冷却系统，其特征在于：
5.根据权利要求4所述的一种超精密...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨晓京，缪文华，娄放，郭彦军，杨伟声，王元康，谭英，康杰，姚同，程铂涵，
申请(专利权)人：昆明理工大学，
类型：发明
国别省市：
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