【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及隔振器,特别是涉及一种低频隔振器。
技术介绍
1、随着高端制造技术的快速发展,精密加工、航空航天、半导体、医疗器械等领域对制造精度和系统稳定性提出了更高要求。这些制造平台通常集成了大量的精密设备,如传感器、电子控制系统和高精度加工设备,这些设备对外界环境中的振动尤为敏感。特别是低频振动,因其频率接近设备的固有频率,极易引发共振,从而对设备的正常运行和产品的制造精度造成不利影响。在高端制造平台中,设备的精度对最终产品质量至关重要。然而,低频振动容易引起设备共振,导致数据采集不准确,加工过程中出现误差,最终影响产品质量。尤其在要求极高的生产环境中,如半导体制造中的纳米级精度,低频振动的影响更为明显。持续的低频振动不仅会影响设备的即时性能,还会导致设备内部元件的长期疲劳,缩短设备使用寿命。这对高端制造平台中昂贵的精密设备而言尤其不利,频繁的更换和维护设备将极大增加运营成本。因此,有效隔离低频振动是延长设备寿命、减少设备维护频率的关键。
2、传统的隔振装置主要针对的是中高频振动,低频隔振装置往往行程和尺寸较大,或是承载
...【技术保护点】
1.一种低频隔振器,其特征在于:包括上端盖、下端盖以及使所述低频隔振器具备准零刚度特性的负刚度隔振组件和正刚度隔振组件;
2.根据权利要求1所述的低频隔振器,其特征在于:所述左半部分和所述右半部分之间并联有n根所述第二弹簧,其中n为≥1的整数。
3.根据权利要求2所述的低频隔振器,其特征在于:所述正刚度隔振组件还包括上隔振组件和下隔振组件,所述上端盖与所述下端盖之间设有中板,所述上隔振组件分别与所述上端盖和所述中板相连接,所述下隔振组件分别与所述中板和所述下端盖相连接。
4.根据权利要求3所述的低频隔振器,其特征在于:所述上隔振组件
...【技术特征摘要】
1.一种低频隔振器,其特征在于:包括上端盖、下端盖以及使所述低频隔振器具备准零刚度特性的负刚度隔振组件和正刚度隔振组件;
2.根据权利要求1所述的低频隔振器,其特征在于:所述左半部分和所述右半部分之间并联有n根所述第二弹簧,其中n为≥1的整数。
3.根据权利要求2所述的低频隔振器,其特征在于:所述正刚度隔振组件还包括上隔振组件和下隔振组件,所述上端盖与所述下端盖之间设有中板,所述上隔振组件分别与所述上端盖和所述中板相连接,所述下隔振组件分别与所述中板和所述下端盖相连接。
4.根据权利要求3所述的低频隔振器,其特征在于:所述上隔振组件和所述下隔振组件的结构相同,且所述上隔振组件和所述下隔振组件中对应设置的所述隔振单元对齐设置。
5.根据权利要求4所述的低频隔振器,其特征在于:单个所述隔振单元沿所述中板或所述下端盖的径向设置,且所述上隔振组件中的所有隔振单元和所述下隔振组件中的所有隔振单元均排列形成内部集中外部分散的辐射状。
6.根据权利要求5所述的低频隔振器,其特征在于:所述上...
【专利技术属性】
技术研发人员:田为军,李旭,吴小莉,孔令华,黄浩然,
申请(专利权)人:吉林大学,
类型:发明
国别省市:
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