一种单晶炉用炉室旋转与升降机构及单晶炉制造技术

技术编号:43718912 阅读:31 留言:0更新日期:2024-12-20 12:48
本技术适用于单晶炉技术领域,提供一种单晶炉用炉室旋转与升降机构及单晶炉,包括:第一架体,第一架体设有沿竖直方向分布的导轨;固定于第一架体上的第一液压缸,第一液压缸包括缸体、及安装于缸体上的活塞杆;固定于活塞杆上的第一齿轮;与导轨相配合并沿导轨上下运动的限位部件,限位部件与第一齿轮或活塞杆固定连接;旋转组件,旋转组件包括支架、第二齿轮、电机;第二架体,第二架体可转动连接于活塞杆,活塞杆用于带动第二架体升降,旋转组件与第二架体连接。本技术的单晶炉用炉室旋转与升降机构利用第一齿轮或第一液压缸的活塞杆外接与导轨相配合的限位部件,活塞杆周向限位效果好,活塞杆不易旋转,单晶炉的炉室旋转可靠性好。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及单晶炉,具体涉及一种单晶炉用炉室旋转与升降机构及单晶炉


技术介绍

1、单晶炉是用于生产太阳能级单晶硅棒的设备,为了提高其产能,降低生产成本,提高单晶硅棒生产效率,众多硅棒制造厂商多采用单炉多次加料,多次拉制单晶硅棒的办法来提高产能。这就要求单晶炉在制备硅棒时副炉室被多次升起和旋开以实现多次加料。

2、现有技术中,单晶炉的炉室通常包括主炉室和副炉室,主炉室和副炉室一般采用液压缸驱动升降,主炉室或副炉室的提升架与液压缸的活塞杆连接,液压缸的活塞杆带动提升架升降实现主炉室或副炉室升降;同时,提升架与液压缸的活塞杆形成转动连接,通过驱动组件带动提升架绕液压缸的活塞杆的中心轴线旋转,从而实现主炉室或副炉室的旋转。其中,液压缸的活塞杆在升降过程中,需要对液压缸的活塞杆进行周向限位,即限制液压缸的活塞杆绕其中心轴线转动,通常在液压缸的活塞杆侧面开设限位槽,并在架体上固定与限位槽配合的导轮,实现液压缸的活塞杆的周向限位。但是,由于重量和空间的限制,液压缸的活塞杆并不能把直径做得太大,因此导轮到液压缸的活塞杆的中心轴线的距离较小,对液压缸的活塞杆周向本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种单晶炉用炉室旋转与升降机构,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的单晶炉用炉室旋转与升降机构,其特征在于,所述限位部件为导轮,所述导轨设有竖直方向分布的滑槽,所述导轮嵌入所述滑槽内并可沿所述滑槽上下滚动。

3.根据权利要求1所述的单晶炉用炉室旋转与升降机构,其特征在于,所述限位部件为滑块,所述导轨设有竖直方向分布的凸条,所述滑块与所述凸条形成滑动连接并可沿所述凸条上下滑动。

4.根据权利要求2所述的单晶炉用炉室旋转与升降机构,其特征在于,所述第一齿轮设有向所述第一架体方向延伸的连接部,所述限位部件固定于所述连接部。p>

5.根据权...

【技术特征摘要】

1.一种单晶炉用炉室旋转与升降机构,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的单晶炉用炉室旋转与升降机构,其特征在于,所述限位部件为导轮,所述导轨设有竖直方向分布的滑槽,所述导轮嵌入所述滑槽内并可沿所述滑槽上下滚动。

3.根据权利要求1所述的单晶炉用炉室旋转与升降机构,其特征在于,所述限位部件为滑块,所述导轨设有竖直方向分布的凸条,所述滑块与所述凸条形成滑动连接并可沿所述凸条上下滑动。

4.根据权利要求2所述的单晶炉用炉室旋转与升降机构,其特征在于,所述第一齿轮设有向所述第一架体方向延伸的连接部,所述限位部件固定于所述连接部。

5.根据权利要求4所述的单晶炉用炉室旋转与升降机构,其特征在于,还包括用于安装所述导轮的连接轴,所述连接部设有掏空形成的通槽、及与所述通槽连通的安装孔,所述连接轴一端与所述导轮形成可转动连接,另一端自所述安装孔...

【专利技术属性】
技术研发人员:熊兼海王刚王永谦陈刚
申请(专利权)人:珠海富山爱旭太阳能科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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