【技术实现步骤摘要】
本技术涉及单晶炉,具体涉及一种单晶炉用炉室旋转与升降机构及单晶炉。
技术介绍
1、单晶炉是用于生产太阳能级单晶硅棒的设备,为了提高其产能,降低生产成本,提高单晶硅棒生产效率,众多硅棒制造厂商多采用单炉多次加料,多次拉制单晶硅棒的办法来提高产能。这就要求单晶炉在制备硅棒时副炉室被多次升起和旋开以实现多次加料。
2、现有技术中,单晶炉的炉室通常包括主炉室和副炉室,主炉室和副炉室一般采用液压缸驱动升降,主炉室或副炉室的提升架与液压缸的活塞杆连接,液压缸的活塞杆带动提升架升降实现主炉室或副炉室升降;同时,提升架与液压缸的活塞杆形成转动连接,通过驱动组件带动提升架绕液压缸的活塞杆的中心轴线旋转,从而实现主炉室或副炉室的旋转。其中,液压缸的活塞杆在升降过程中,需要对液压缸的活塞杆进行周向限位,即限制液压缸的活塞杆绕其中心轴线转动,通常在液压缸的活塞杆侧面开设限位槽,并在架体上固定与限位槽配合的导轮,实现液压缸的活塞杆的周向限位。但是,由于重量和空间的限制,液压缸的活塞杆并不能把直径做得太大,因此导轮到液压缸的活塞杆的中心轴线的距离较小,
...【技术保护点】
1.一种单晶炉用炉室旋转与升降机构,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的单晶炉用炉室旋转与升降机构,其特征在于,所述限位部件为导轮,所述导轨设有竖直方向分布的滑槽,所述导轮嵌入所述滑槽内并可沿所述滑槽上下滚动。
3.根据权利要求1所述的单晶炉用炉室旋转与升降机构,其特征在于,所述限位部件为滑块,所述导轨设有竖直方向分布的凸条,所述滑块与所述凸条形成滑动连接并可沿所述凸条上下滑动。
4.根据权利要求2所述的单晶炉用炉室旋转与升降机构,其特征在于,所述第一齿轮设有向所述第一架体方向延伸的连接部,所述限位部件固定于所述连接部。
...【技术特征摘要】
1.一种单晶炉用炉室旋转与升降机构,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的单晶炉用炉室旋转与升降机构,其特征在于,所述限位部件为导轮,所述导轨设有竖直方向分布的滑槽,所述导轮嵌入所述滑槽内并可沿所述滑槽上下滚动。
3.根据权利要求1所述的单晶炉用炉室旋转与升降机构,其特征在于,所述限位部件为滑块,所述导轨设有竖直方向分布的凸条,所述滑块与所述凸条形成滑动连接并可沿所述凸条上下滑动。
4.根据权利要求2所述的单晶炉用炉室旋转与升降机构,其特征在于,所述第一齿轮设有向所述第一架体方向延伸的连接部,所述限位部件固定于所述连接部。
5.根据权利要求4所述的单晶炉用炉室旋转与升降机构,其特征在于,还包括用于安装所述导轮的连接轴,所述连接部设有掏空形成的通槽、及与所述通槽连通的安装孔,所述连接轴一端与所述导轮形成可转动连接,另一端自所述安装孔...
【专利技术属性】
技术研发人员:熊兼海,王刚,王永谦,陈刚,
申请(专利权)人:珠海富山爱旭太阳能科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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