一种固晶装置及固晶机制造方法及图纸

技术编号:43704705 阅读:19 留言:0更新日期:2024-12-18 21:17
本申请提供了一种固晶装置及固晶机,固晶机包括固晶装置,固晶装置包括旋转机构、旋转座、升降机构及摆臂;旋转座安装于旋转机构的输出端,升降机构安装于旋转座上;摆臂具有相对设置的第一端及第二端,摆臂还具有位于第一端与第二端之间并靠近第一端的连接点,连接点与升降机构的输出端连接,第一端与旋转座之间通过弹性结构活动连接,当连接点被升降机构驱动时摆臂做弧形摆动运动。本申请通过弹性结构连接旋转座与摆臂,使得摆臂做弧形摆动运动,降低了摆臂的运动幅度,提高了摆臂的运动效率。

【技术实现步骤摘要】

本申请属于固晶机,更具体地说,是涉及一种固晶装置及固晶机


技术介绍

1、固晶机是一种用于将晶片或芯片固定在基板上的机器。现有固晶机一般包括两个伺服电机及摆臂,其中一个伺服电机用于驱动另一个伺服电机及摆臂整体旋转,另一个伺服电机用于驱动摆臂上下运动以取晶或固晶,这种驱动方式,导致摆臂的运动幅度大,工作效率低。


技术实现思路

1、本申请实施例的目的在于提供一种固晶装置及固晶机,以解决现有技术中存在的摆臂运动幅度大及工作效率低的技术问题。

2、为实现上述目的,本申请采用的技术方案是:提供一种固晶装置,包括旋转机构、旋转座、升降机构及摆臂;所述旋转座安装于所述旋转机构的输出端,所述升降机构安装于所述旋转座上;所述摆臂具有相对设置的第一端及第二端,所述摆臂还具有位于所述第一端与所述第二端之间并靠近所述第一端的连接点,所述连接点与所述升降机构的输出端连接,所述第一端与所述旋转座之间通过弹性结构活动连接,当所述连接点被所述升降机构驱动时所述摆臂做弧形摆动运动。

3、在一个实施例中,所述弹性结构包括本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种固晶装置,其特征在于,包括旋转机构、旋转座、升降机构及摆臂;所述旋转座安装于所述旋转机构的输出端,所述升降机构安装于所述旋转座;所述摆臂具有相对设置的第一端及第二端,所述摆臂还具有位于所述第一端与所述第二端之间并靠近所述第一端的连接点,所述连接点与所述升降机构的输出端连接,所述第一端与所述旋转座之间通过弹性结构活动连接,当所述连接点被所述升降机构驱动时所述摆臂做弧形摆动运动。

2.如权利要求1所述的固晶装置,其特征在于,所述弹性结构包括至少一个弹片,所述弹片的一端与所述旋转座贴合固定,所述弹片的另一端与所述摆臂贴合固定。

3.如权利要求1所述的固晶装置,其...

【技术特征摘要】

1.一种固晶装置,其特征在于,包括旋转机构、旋转座、升降机构及摆臂;所述旋转座安装于所述旋转机构的输出端,所述升降机构安装于所述旋转座;所述摆臂具有相对设置的第一端及第二端,所述摆臂还具有位于所述第一端与所述第二端之间并靠近所述第一端的连接点,所述连接点与所述升降机构的输出端连接,所述第一端与所述旋转座之间通过弹性结构活动连接,当所述连接点被所述升降机构驱动时所述摆臂做弧形摆动运动。

2.如权利要求1所述的固晶装置,其特征在于,所述弹性结构包括至少一个弹片,所述弹片的一端与所述旋转座贴合固定,所述弹片的另一端与所述摆臂贴合固定。

3.如权利要求1所述的固晶装置,其特征在于,所述弹性结构包括第一弹片及第二弹片,所述第一弹片与所述第二弹片相互垂直,所述第一弹片的相对两端分别贴合固定在所述旋转座及所述摆臂上;所述第二弹片的相对两端分别贴合固定在所述旋转座及所述摆臂上,所述第一弹片与所述第二弹片的垂直交叉点为所述摆臂的摆动支点。

4.如权利要求1至3任一项所述的固晶装置,其特征在于,所述升降机构包括音圈电机,所述音圈电机包括磁铁组件及线圈组件,所述磁铁组件安装于所述旋转座上,所述线圈组件与所述摆臂连接并跟随所述摆臂一起做弧形摆动运动。

【专利技术属性】
技术研发人员:胡新平
申请(专利权)人:深圳新益昌科技股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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