【技术实现步骤摘要】
本技术涉及蒸镀机转盘，具体为一种方便清洗的蒸镀机转盘。
技术介绍
1、蒸镀机是.种常用的表面外理设备，其主要原理是利用高温下的物质蒸发并沉积在待处理物体表面，形成一层薄膜，应用广泛，是半导体芯片制造行业常用的真空镀膜设备，其采用电子束加热的方式使镀膜材料蒸发，并成为具有一定能量的气态粒子，蒸发的气态粒子通过基本上无碰撞的直线运动方式传输到基底，然后在基底上凝聚成金属薄膜，在使用时需要定期进行清洁转盘，以便保障其良好使用；
2、对此，中国申请专利号：cn202223082421.2，公开了一种便于清洗的蒸镀机转盘，包括转盘本体、阵列开设在所述转盘本体上的槽体，还包括和所述槽体内壁接触的防着套、沿所述防着套顶部环形设置且和所述槽体顶部接触的闭合环圈，所述防着套包括散热部以及耐热部，所述散热部的外壁和所述槽体内壁接触，所述散热部的内壁和所述耐热部固定连接；
3、然而，现有蒸镀机转盘不便根据需要进行拆卸分离清洁清洗，影响使用效率；
4、因此，为了解决上述问题，提出一种方便清洗的蒸镀机转盘。
【技术保护点】
1.一种方便清洗的蒸镀机转盘，包括转盘主体(100)和装配内圈(110)，所述装配内圈(110)一体设置在转盘主体(100)中央，其特征在于：所述转盘主体(100)外侧套设装配有拓展环一(200)，所述拓展环一(200)外侧套设装配有拓展环二(210)，所述拓展环二(210)、拓展环一(200)和转盘主体(100)顶面和底面齐平，所述拓展环一(200)和拓展环二(210)顶部均设置有防着套(300)，所述防着套(300)底部固定有装配螺销(310)，所述装配螺销(310)插设装配在拓展环二(210)和拓展环一(200)内部。
2.根据权利要求1所述的一种方...
【技术特征摘要】
1.一种方便清洗的蒸镀机转盘，包括转盘主体(100)和装配内圈(110)，所述装配内圈(110)一体设置在转盘主体(100)中央，其特征在于：所述转盘主体(100)外侧套设装配有拓展环一(200)，所述拓展环一(200)外侧套设装配有拓展环二(210)，所述拓展环二(210)、拓展环一(200)和转盘主体(100)顶面和底面齐平，所述拓展环一(200)和拓展环二(210)顶部均设置有防着套(300)，所述防着套(300)底部固定有装配螺销(310)，所述装配螺销(310)插设装配在拓展环二(210)和拓展环一(200)内部。
2.根据权利要求1所述的一种方便清洗的蒸镀机转盘，其特征在于：所述拓展环二(210)和拓展环一(200)内部均开设有与装配螺销(310)对应的装配插孔(311)，所述装配插孔(311)均匀等距分别在拓展环二(210)和拓展环一(200)内部。
3.根据权利要求1所述的一种方便清洗的蒸镀机转盘，其特征在于：所述转盘主体(100)外侧、拓展环一(200)外侧和拓展环二(210)外侧均开设有装配凸槽(201)，所述拓展环一(200)内侧和拓展环二(210)内侧开设有与装配凸槽(201)对应的装配凹槽(202)，且转盘主体(100)与拓展环一(200)和拓展环一(200)与拓展环二(210)之间均填充有垫圈套(220)。
4.根据权利要求3...
【专利技术属性】
技术研发人员：李凯文，黄胜蓝，谈健，
申请(专利权)人：湘能华磊光电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。