质谱仪腔体气密性检测方法、装置、质谱仪及存储介质制造方法及图纸

本申请涉及测量仪器领域，提供一种质谱仪腔体气密性检测方法、装置、质谱仪及存储介质，该方法包括：控制第一真空泵抽取一级真空区内的气体，获取一级真空区的第一真空度；在第一真空度达到第一预设真空度时，获取使第一真空度达到第一预设真空度的第一时长，并控制第二真空泵和第三真空泵抽取二级真空区和三级真空区内的气体；获取第二真空泵的第一转速和第三真空泵的第二转速，在第一转速和第二转速达到预设转速时，获取使第一转速和第二转速达到预设转速的第二时长，并获取三级真空区的第二真空度，得到第二真空度曲线；在第一时长满足第一预设条件、第二时长满足第二预设条件且第二真空度曲线满足第三预设条件的情况下，判定质谱仪检测腔的气密性通过检测。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及测量仪器领域，尤其涉及一种质谱仪腔体气密性的检测方法、装置、质谱仪及存储介质。

技术介绍

1、质谱仪是一种高灵敏度、高分辨率的三级真空仪器，主要用于测量样品中原子、分子或分子片段的质荷比(mass-to-charge rat i o，m/z)。为了减少样品分子在飞行过程中与气体分子的碰撞，提高质谱仪的质量分辨率，减少来自气体分子的背景噪声，在使用前需要对质谱仪的三级真空区域和离子传输路径进行抽真空，并且质谱仪腔体需要确保良好的气密性以维持真空环境。然而，对质谱仪的气密性进行检测的技术要求较高，导致检测效率低下，亟需一种更为高效的腔体气密性的检测方法。

技术实现思路

1、本申请的主要目的在于提供一种质谱仪腔体气密性的检测方法、装置、质谱仪腔体气密性的检测及计算机存储介质，旨在提高质谱仪腔体的气密性检测效率。

2、第一方面，本申请提供一种质谱仪腔体气密性的检测方法，所述质谱仪腔体包括：一级真空区、二级真空区、三级真空区；所述一级真空区、所述二级真空区、所述三级真空区之间分别通过小孔相互连通，本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种质谱仪腔体气密性的检测方法，其特征在于，所述质谱仪腔体包括：一级真空区、二级真空区、三级真空区；所述一级真空区、所述二级真空区、所述三级真空区之间分别通过小孔相互连通，且所述一级真空区与第一真空泵连接，所述二级真空区与第二真空泵连接，所述三级真空区与第三真空泵连接，所述方法包括：

2.根据权利要求1所述的质谱仪腔体气密性的检测方法，其特征在于，所述控制所述第一真空泵抽取所述一级真空区内的气体，并获取所述一级真空区的第一真空度，包括：

3.根据权利要求1所述的质谱仪腔体气密性的检测方法，其特征在于，所述在所述第一真空度达到第一预设真空度时，获取使所述第一真空...

【技术特征摘要】

1.一种质谱仪腔体气密性的检测方法，其特征在于，所述质谱仪腔体包括：一级真空区、二级真空区、三级真空区；所述一级真空区、所述二级真空区、所述三级真空区之间分别通过小孔相互连通，且所述一级真空区与第一真空泵连接，所述二级真空区与第二真空泵连接，所述三级真空区与第三真空泵连接，所述方法包括：

2.根据权利要求1所述的质谱仪腔体气密性的检测方法，其特征在于，所述控制所述第一真空泵抽取所述一级真空区内的气体，并获取所述一级真空区的第一真空度，包括：

3.根据权利要求1所述的质谱仪腔体气密性的检测方法，其特征在于，所述在所述第一真空度达到第一预设真空度时，获取使所述第一真空度达到所述第一预设真空度所需的第一时长，并控制所述第二真空泵和所述第三真空泵分别抽取所述二级真空区和所述三级真空区内的气体，包括：

4.根据权利要求3所述的质谱仪腔体气密性的检测方法，其特征在于，所述获取所述第二真空泵的第一转速和所述第三真空泵的第二转速，在所述第一转速和所述第二转速达到预设转速时，获取使所述第一转速和所述第二转速达到所述预设转速所需的第二时长，并获取所述三级真空区的第二真空度，得到第二真空度曲线，包括：

5.根据权利要求4所述的质谱仪腔体气密性的检测方法，其特征在于，所述控制真空规获取所述三级真空区的第二真空度，得到所述第二真空度曲线，包括：

6.根据权利要求1所述的质谱仪腔体气密性的检测方法，其特征在于，所述在所述第一时长满足第一预设条件、所述第二时...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘旋通，叶小敏，王军芳，
申请(专利权)人：深圳市禾越生物科技有限公司，
类型：发明
国别省市：