一种共步进单元的组合式扫描探针显微镜镜体制造技术

技术编号:43683455 阅读:33 留言:0更新日期:2024-12-18 21:04
本发明专利技术涉及一种共步进单元的组合式扫描探针显微镜镜体,其特征在于外框架、基座、第一扫描单元、第一探针支架、步进单元和第二探针支架,所述外框架内部中空,所述基座固定在外框架顶部,所述第一扫描单元的一端固定在基座上,另一端置有所述第一探针支架,所述步进单元置于外框架的内部,并且所述步进单元顶部置有所述第一样品台、底部置有所述第二样品台,所述第二探针支架固定在外框架底部。本发明专利技术的组合式扫描探针显微镜包含两种扫描探针显微镜的测试结构,并且它们的逼近和退针过程共用同一个步进单元,该显微镜结构紧凑、刚性强,适用于低温和强磁场的极端环境测试。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于扫描探针显微镜,尤其涉及适用于一种共步进单元的组合式扫描探针显微镜镜体


技术介绍

1、扫描探针显微镜因其卓越的原子级分辨率以及在原子尺度上的操纵和搬运能力,已成为探索表面科学的前沿工具。它的种类繁多包括了扫描隧道显微镜、磁力显微镜和原子力显微镜等诸多类型。随着科技的不断进步和传统科学的深入发展,在对物质材料性质进行探索时,扫描探针显微镜的应用已经超越了常规条件,扩展到了极低温和超强磁场等极端环境,这些极端条件下的研究能够为我们提供对物质本质更深层次的理解。扫描探针显微镜成像时通常需独立腔体测试,这样做所需要的代价也是巨大的,因为首先无论是扫描隧道显微镜、磁力显微镜还是原子力显微镜其商业价格都是极其的昂贵,若想同时购买这几种扫描探针显微镜需要耗费巨额资金。且在极端测试条件下(如极低温和强磁场条件)测试需要分别把这几种扫描探针显微镜依次置入腔体当中,这个过程这不仅造成液氦等资源的损失,还耗费大量实验时间。组合式扫描探针显微镜的设计是将不同扫描探针显微镜的功能集中到同一个机械结构当中,使得在同一腔体和环境下进行多种成像测试成为可能,显著减少了实验本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种共步进单元的组合式扫描探针显微镜镜体,其特征在于包括外框架(1)、基座(2)、第一扫描单元(3)、第一探针支架(4)、步进单元(11)和第二探针支架(10),所述外框架(1)内部中空,所述基座(2)固定在外框架(1)顶部,所述第一扫描单元(3)的一端固定在基座(2)上,另一端置有所述第一探针支架(4),所述步进单元(11)置于外框架(1)的内部,步进单元(11)顶部置有所述第一样品台(7a),所述步进单元(11)与第一扫描单元(3)、第一探针支架(4)、第一探针(5)、第一样品台(7a)以及外框架(1)构成适用于第一扫描探针显微镜的测试结构,步进单元(11)底部置有所述第二样品台...

【技术特征摘要】

1.一种共步进单元的组合式扫描探针显微镜镜体,其特征在于包括外框架(1)、基座(2)、第一扫描单元(3)、第一探针支架(4)、步进单元(11)和第二探针支架(10),所述外框架(1)内部中空,所述基座(2)固定在外框架(1)顶部,所述第一扫描单元(3)的一端固定在基座(2)上,另一端置有所述第一探针支架(4),所述步进单元(11)置于外框架(1)的内部,步进单元(11)顶部置有所述第一样品台(7a),所述步进单元(11)与第一扫描单元(3)、第一探针支架(4)、第一探针(5)、第一样品台(7a)以及外框架(1)构成适用于第一扫描探针显微镜的测试结构,步进单元(11)底部置有所述第二样品台(7b),所述第二探针支架(10)固定在外框架(1)底部,所述步进单元(11)也是第二扫描单元,步进单元(11)与第二探针支架(10)、第二探针(9)、第二样品台(7b)以及外框架(1)构成适用于第二扫描探针显微镜的测试结构。

2.根据权利要求1所述的一种共步进单元的组合式扫描探针显微镜镜体,其特征在于,所述步进单元(15)为第一扫描探针显微镜和第二扫描探针显微镜共用步进单元。

3.根据权利要求1所述的一种共步进...

【专利技术属性】
技术研发人员:李旭阳夏志刚张晶晶
申请(专利权)人:中国计量大学
类型:发明
国别省市:

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