一种高灵敏度的多功能太赫兹超材料传感器制造技术

本发明专利技术提供了一种高灵敏度的多功能太赫兹超材料传感器，属于太赫兹传感技术领域。该传感器由若干个相同的周期排列的超材料结构单元组成，超材料结构单元的具体结构自上而下依次排列为：石墨烯图案层，锑化铟介质层和金属反射层。其中，石墨烯图案层由两组相互嵌套的谐振结构组成，每组包括四个大小相等，双轴且中心对称的L形条片。本发明专利技术利用石墨烯的电可调性和锑化铟的热、磁敏感特性，实现了性能优异且功能多样的传感，扩宽了其在太赫兹传感领域的应用范围。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及太赫兹传感器，尤其是涉及一种高灵敏度的多功能太赫兹超材料传感器。

技术介绍

1、太赫兹（terahertz，thz）波通常是指频率在0.1-10thz范围内的电磁波，具有低能性、高穿透性、瞬态性及非电离性等特性。同时，因具有较宽的频率范围和较高的分辨率，太赫兹波能有效对物质进行检测。这些特点使太赫兹波在安全检测、材料性能研究和传感探测等多个领域有广泛的应用前景。

2、超材料（metamaterial）是一种人为设计的周期性排列的亚波长尺寸的电磁材料,具有自然材料所不具备的独特性质，如负折射率、负磁导率和负介电常数等。自然材料在太赫兹波段无法产生有效的电磁响应，而超材料却能与其相互作用产生强烈的电磁耦合效应，可以十分敏感的反应出周围媒质介电常数的变化。这种特性使超材料在传感领域有很大的应用潜力，可以实现对周围环境微小变换的高灵敏度检测，分辨率较高。

3、目前，现有的太赫兹超材料传感器的灵敏度不高，且功能较为单一，只能实现某些特定环境下的分析物检测，无法拓宽应用场景。

技术实现思路...

【技术保护点】

1.一种高灵敏度的多功能太赫兹超材料传感器，其特征在于，所述多功能太赫兹超材料传感器由若干个相同的周期性排列的太赫兹超材料单元组成；

2.根据权利要求1所述的高灵敏度的多功能太赫兹超材料传感器，其特征在于，所述太赫兹超材料单元的周期为p＝60μm～65μm。

3.根据权利要求1所述的高灵敏度的多功能太赫兹超材 料传感器，其特征在于，所述石墨烯图案层关于太赫兹超材料单元结构双轴且中心对称。

4.根据权利要求3所述的高灵敏度的多功能太赫兹超材料传感器，其特征在于，所述第一谐振结构的L形条片之间的间隙范围为l1=0.5μm～1.4μm，宽度范围为w1=3μm...

【技术特征摘要】

1.一种高灵敏度的多功能太赫兹超材料传感器，其特征在于，所述多功能太赫兹超材料传感器由若干个相同的周期性排列的太赫兹超材料单元组成；

2.根据权利要求1所述的高灵敏度的多功能太赫兹超材料传感器，其特征在于，所述太赫兹超材料单元的周期为p＝60μm～65μm。

3.根据权利要求1所述的高灵敏度的多功能太赫兹超材 料传感器，其特征在于，所述石墨烯图案层关于太赫兹超材料单元结构双轴且中心对称。

4.根据权利要求3所述的高灵敏度的多功能太赫兹超材料传感器，其特征在于，所述第一谐振结构的l形条片之间的间隙范围为l1=0.5μm～1.4μm，宽度范围为w1=3μm～3.5μm，所述第二谐振结构的...

【专利技术属性】
技术研发人员：骆兴芳，邹彦煜，马淑娟，付旺廷，
申请(专利权)人：江西师范大学，
类型：发明
国别省市：