一种活动卡扣式花篮结构制造技术

本发明专利技术涉及半导体花篮技术领域，尤其涉及一种活动卡扣式花篮结构，包括篮体，篮体的两侧内壁上分别设置有若干个分隔栅，篮体的两个上边分别固定连接有顶板，顶板的上表面固定连接有固定座，固定座的上表面滑动连接有连接杆，两侧连接杆相靠近的一端分别转动连接有L型板，两个L型板的下表面分别通过弹性机构连接有限位辊，限位辊与L型板之间设置有调距机构，两个L型板相互远离的一侧分别固定连接有凹型架，凹型架与固定座的上表面之间设置有卡扣机构，分隔栅的上端拐角设置有斜导面，本发明专利技术可以在搬运中对晶圆片起到限位的作用，有利于提升搬运的稳定性，在具备提升稳定性功能的同时，依然确保了晶圆片取出过程便利。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体花篮，尤其涉及一种活动卡扣式花篮结构。

技术介绍

1、晶圆片花篮是用于装载、存储、传输和加工晶圆片的容器。在半导体制造过程中，晶圆片需要经过多个工艺步骤，如清洗、光刻、蚀刻等，而晶圆片花篮则在这些步骤中起到了保护和支撑晶圆片的作用。晶圆片花篮的材质多种多样，其中pfa（全称为perfluoralkoxy，即全氟烷氧基）花篮因其独特的性能而得到了广泛应用，半导体制造中的一些工艺步骤需要在高温环境下进行，而pfa花篮能够承受高温而不发生变形或损坏，确保晶圆片在高温条件下的稳定传输和处理。

2、现有技术中，为了使得晶圆片取放便利，花篮上方为敞开设计，但在搬运过程中，易造成内侧晶圆片放置不稳定的问题发生，晶圆片易发生竖向位移，造成与花篮间的碰撞问题，而造成损坏，因此，我们提出了一种活动卡扣式花篮结构。

技术实现思路

1、本专利技术的目的是为了解决
技术介绍
中存在的缺点，而提出的一种活动卡扣式花篮结构。

2、为达到以上目的，本专利技术采用的技术方案为：一种活动卡扣式花篮结构，包本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种活动卡扣式花篮结构，包括篮体（1），其特征在于：篮体（1）的两侧内壁上分别设置有若干个分隔栅（2），篮体（1）的两个上边分别固定连接有顶板（3），顶板（3）的上表面固定连接有固定座（4），固定座（4）的上表面滑动连接有连接杆（6），两侧连接杆（6）相靠近的一端分别转动连接有L型板（11），两个L型板（11）的下表面分别通过弹性机构连接有限位辊（12），限位辊（12）与L型板（11）之间设置有调距机构，两个L型板（11）相互远离的一侧分别固定连接有凹型架（16），凹型架（16）与固定座（4）的上表面之间设置有卡扣机构，分隔栅（2）的上端拐角设置有斜导面（23）；

2.根...

【技术特征摘要】

1.一种活动卡扣式花篮结构，包括篮体（1），其特征在于：篮体（1）的两侧内壁上分别设置有若干个分隔栅（2），篮体（1）的两个上边分别固定连接有顶板（3），顶板（3）的上表面固定连接有固定座（4），固定座（4）的上表面滑动连接有连接杆（6），两侧连接杆（6）相靠近的一端分别转动连接有l型板（11），两个l型板（11）的下表面分别通过弹性机构连接有限位辊（12），限位辊（12）与l型板（11）之间设置有调距机构，两个l型板（11）相互远离的一侧分别固定连接有凹型架（16），凹型架（16）与固定座（4）的上表面之间设置有卡扣机构，分隔栅（2）的上端拐角设置有斜导面（23）；

2.根据权利要求1所述的一种活动卡扣式花篮结构，其特征在于：所述固定座（4）的上表面开设有滑槽（5），所述连接杆（6）的下表面一端固定连接有滑动柱（7），滑动柱（7）的下端滑动卡入滑槽（5）的内侧，固定座（4）的上表面固定连接有l型盖（8），连接杆（6）的上表面与l型盖（8）的内顶面滑动接触。

3.根据权利要求1所述的一种活动卡扣式花篮结构，其特征在于：所述连接杆（6）的上表面远离所述固定座（4）的一端处固定连接有连接轴（9），且连接轴（9）的外表面转动套设有连接板（10）...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘云华，曹刚，
申请(专利权)人：无锡旭邦精密机械有限公司，
类型：发明
国别省市：