【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种在针灸针上制备电极通路的制备方法，属于微纳米制造领域。
技术介绍
1、在微纳米制造领域，对于曲率边缘进行柔性光刻是一项具有挑战性但又十分关键的技术。随着微纳加工技术、生物医学器件和传感器等领域的迅速发展，对于在曲率边缘进行精细图案制备的需求日益增加。然而，传统的光刻技术往往受到硬性基材的限制，难以在曲率边缘实现高精度的图案转移。因此，开发适用于曲率边缘的柔性光刻技术成为了当今研究的热点之一。传统的光刻技术通常基于硅片等刚性基材进行，其图案制备过程需要将光刻胶层覆盖在平坦的基板表面上，并利用光源通过掩模将所需图案投影到光刻胶上，然后通过显影等步骤实现图案的转移。然而，在曲率边缘或凹凸不平的表面上，比如在侵入式针灸针上涂覆光刻胶和图案转移过程会受到很大挑战，容易出现光疲劳、失真等问题，导致制备的图案不符合要求。针对这一挑战，近年来研究人员提出了在极小曲率半径的锥度边缘进行柔性光刻的新技术方案。这种技术利用柔性基材的特性，结合先进的光刻设备和材料，通过调整光刻胶的性质和制备工艺，实现在曲率边缘上精确制备微纳米级的图案。具体来...
【技术保护点】
1.一种在针灸针上制备电极通路的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的在针灸针上制备电极通路的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：
3.根据权利要求1所述的在针灸针上制备电极通路的制备方法，其特征在于：所述绝缘材料是选自硝化纤维素、不饱和聚醋树脂、聚酸丙烯酸醋树脂、环氧丙烯酸醋树脂、聚氨醋丙烯酸树脂、阳离子固化基础树脂中的一种。
4.根据权利要求1所述的在针灸针上制备电极通路的制备方法，其特征在于：所述金属层是通过真空蒸镀、溅射工艺、电镀和化学气相沉积中的一种。
5.根据权利要求1在针灸针上制备电...
【技术特征摘要】
1.一种在针灸针上制备电极通路的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的在针灸针上制备电极通路的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：
3.根据权利要求1所述的在针灸针上制备电极通路的制备方法，其特征在于：所述绝缘材料是选自硝化纤维素、不饱和聚醋树脂、聚酸丙烯酸醋树脂、环氧丙烯酸醋树脂、聚氨醋丙烯酸树脂、阳离子固化基础树脂中的一种。
4.根据权利要求1所述的在针灸针上制备电极通路的制备方法，其特征在于：所述金属层是通过真空蒸镀、溅射工艺、电镀和化学气相沉积中的一种。
5.根据权利要求1在针灸针上制备电极通路的制备方法，其特征在于：所述的柔性光掩模，所述图案化...
【专利技术属性】
技术研发人员：李盛，陈凌，张伟，梁盛雨，霍峰蔚，
申请(专利权)人：南京工业大学，
类型：发明
国别省市：
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