一种制备电子级硫酸的方法技术

本发明专利技术涉及电子级硫酸技术领域，公开了一种制备电子级硫酸的方法。采用工业级液体三氧化硫经气化、除雾、除湿提纯制备超纯三氧化硫；再利用电子级硫酸吸收三氧化硫，制得电子级硫酸粗品；电子级硫酸粗品经过脱气、改性氢型大孔阳离子树脂、连续多组高效膜组合过滤，得到电子级硫酸；本发明专利技术的改性氢型大孔阳离子树脂，通过酰化反应改变了树脂的表面特性，使其在后续的金属离子吸附过程中表现出更好的选择性和亲和力；引入的多巯基官能团为树脂提供了更多的吸附位点，这些位点能够与金属离子形成稳定的配合物，从而有效吸附和去除溶液中的金属离子，进一步降低电子级硫酸中金属离子杂质；本发明专利技术制备的电子级硫酸纯度为99.9999999％，金属离子含量仅为5ppt，能满足超大集成电路半导体级G5品质要求。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及电子级硫酸，尤其是一种制备电子级硫酸的方法。

技术介绍

1、电子级硫酸作为一种超净高纯试剂，主要用于硅晶片的清洗和蚀刻，可有效去除硅晶片上的杂质颗粒、无机残留物和碳沉积物，其纯度直接影响着集成电路的成品率，被广泛应用于半导体、超大规模集成电路的装配和加工过程。电子级硫酸的纯度和洁净度对电子元件的成品率、电性能及可靠性有着重要的影响。

2、中国专利cn113274750b：属于化工产品制备领域，尤其涉及一种电子级硫酸制备装置及其制备方法。该装置包括预处理池，该预处理池内盛装强氧化剂，强氧化剂包括高锰酸钾和重铬酸钾，用于氧化工业硫酸原料中的还原性杂质；精馏塔内部温度为185-195℃，压力为1.45-2.23kpa，用于去除预处理池中氧化反应生成的硫酸盐杂质，得到高纯度硫酸；吸收处理塔，吸收处理塔内设有碱性溶液，用于吸收中和精馏塔中产生的酸性废气；过滤器内设有微孔滤膜，可将高纯度硫酸中的微细固体颗粒杂质滤除。

3、中国专利cn114314525a：提供一种气体吸收的方法制备电子级硫酸的工艺，包括以下步骤：a)将加压的液态硫本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种制备电子级硫酸的方法，其操作步骤为：

2.根据权利要求1所述的一种制备电子级硫酸的方法，其特征在于：所述的工业级液体三氧化硫含量为99.9％。

3.根据权利要求1所述的一种制备电子级硫酸的方法，其特征在于：所述的气化压力为-10～10kpa，操作温度为35-50℃。

4.根据权利要求1所述的一种制备电子级硫酸的方法，其特征在于：所述的吸收装置为3个依次串联的吸收塔组成，每个吸收塔均配有冷却器，来移除反应热。

5.根据权利要求1所述的一种制备电子级硫酸的方法，其特征在于：所述的吸收的温度为60-90℃，压力为-10～10kpa。...

【技术特征摘要】

1.一种制备电子级硫酸的方法，其操作步骤为：

2.根据权利要求1所述的一种制备电子级硫酸的方法，其特征在于：所述的工业级液体三氧化硫含量为99.9％。

3.根据权利要求1所述的一种制备电子级硫酸的方法，其特征在于：所述的气化压力为-10～10kpa，操作温度为35-50℃。

4.根据权利要求1所述的一种制备电子级硫酸的方法，其特征在于：所述的吸收装置为3个依次串联的吸收塔组成，每个吸收塔均配有冷却器，来移除反应热。

5.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：卢振成，贺辉龙，张洪礼，程文海，毛索源，周涛涛，姜奇，陈碧野，陈友豪，任郎郎，张晓东，姜瓘涛，
申请(专利权)人：中巨芯湖北科技有限公司，
类型：发明
国别省市：