一种高精度探针架制造技术

本技术属于一种高精度探针架，涉及半导体测试技术领域，与待测半导体芯片配合使用，包括：探针架底座、水平X向模块、水平Y向模块、竖直Z向模块和探针臂，所述水平Y向模块设于探针架底座上方，所述水平X向模块设于水平Y向模块上方，所述竖直Z向模块设于水平X向模块侧方且与其固定连接，竖直Z向模块下方设有探针臂，本技术与现有技术相比大幅度的提高了探针架的下探精度，下探精度可达1μm，解决了现有技术中测试探针在对被测半导体芯片进行测试时极易损坏和计算针压值容易产生误差的问题，本技术实现快速测试功能，操作简单，装置成本低，作业效率高。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种高精度探针架，属于半导体测试。

技术介绍

1、随着光通信行业的快速发展，半导体芯片作为核心元器件扮演着极其重要的角色，从数据中心，移动宽带，互联网，国防军工等，光器件的应用无所不在，为了满足人们的不同应用需求，适应不同的工作环境，半导体芯片的性能可靠性直接影响着信号传输的质量，稳定性跟时限性，如何更为有效的筛选测试出高性能的可靠性更高的半导体芯片已成为不可或缺的一项工作。半导体装置执行测试时采用执行探针测试以检测缺陷单元的探针测试逻辑电路，测试探针通常为细长状，在调整探针与半导体芯片之间的距离调整精度不够，若操作不当，测试探针在对被测半导体芯片进行测试时极易损坏，同时计算探针扎到半导体芯片上的针压值容易产生误差，影响测量数值的准确性。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种高精度探针架，本技术结构简单，使用方便，通过对垂直调整旋钮进行旋转，调整探针的高度并通过垂直调整显示刻度盘进行距离示数读取，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。应当理解，这个概述并不是关于本技术的穷举性概述。它并不是意图确定本本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种高精度探针架，其特征在于：包括：探针架底座、水平X向模块、水平Y向模块、连接块、竖直Z向模块和探针模块，所述探针架底座保持水平状态，所述水平Y向模块设于探针架底座上方，所述水平X向模块设于水平Y向模块上方，所述连接块与水平X向模块固定连接，所述竖直Z向模块设于连接块侧方且与其固定连接，所述竖直Z向模块包括：垂直调整旋钮、垂直调整显示刻度盘、标尺杆、标尺基座、顶杆、竖直Z向移动滑块和标尺调整滑块，所述标尺调整滑块下方固定连接探针模块，所述探针模块包括：悬臂、探针臂、固定螺丝和探针。

2.根据权利要求1所述的一种高精度探针架，其特征在于：所述水平X向模块包括水平X向调整滑...

【技术特征摘要】

1.一种高精度探针架，其特征在于：包括：探针架底座、水平x向模块、水平y向模块、连接块、竖直z向模块和探针模块，所述探针架底座保持水平状态，所述水平y向模块设于探针架底座上方，所述水平x向模块设于水平y向模块上方，所述连接块与水平x向模块固定连接，所述竖直z向模块设于连接块侧方且与其固定连接，所述竖直z向模块包括：垂直调整旋钮、垂直调整显示刻度盘、标尺杆、标尺基座、顶杆、竖直z向移动滑块和标尺调整滑块，所述标尺调整滑块下方固定连接探针模块，所述探针模块包括：悬臂、探针臂、固定螺丝和探针。

2.根据权利要求1所述的一种高精度探针架，其特征在于：所述水平x向模块包括水平x向调整滑块和水平x向调整旋钮，所述水平y向模块包括水平y向调整滑块和水平y向调整旋钮。

3.根据权利要求1所述的一种高精度探针架，其特征在于：所述标尺基座前端为竖直圆孔结构且圆孔一侧设有紧固螺钉，所述标尺基座后端为向下弯曲的圆弧状结构，所述标尺基座后端与水平x...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚锐，程国庆，王刚，孟鹤，
申请(专利权)人：吉林华微电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：