【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及平板显示玻璃基板检测领域，尤其涉及玻璃基板检测方法及系统。
技术介绍
1、在平板显示领域，液晶显示器(liquid crystal display，lcd)通常需要在玻璃基板上制作薄膜晶体管阵列(thin film transistor，tft)和彩色滤光片(color filter，cf)，以实现液晶盒的有源控制和彩色显示。在制作过程中，需要多次经过物理气相沉积(physical vapor deposition，pvd)成膜和化学气相沉积(cvd，chemical vapordeposition)成膜、光刻、刻蚀以及光刻胶去除等多道工序，在上述的每道工序中如果出现大面积的工艺缺陷，例如膜厚不均或者线幅不均等，均可直接体现在玻璃基板的表面上，因此在上述制造工艺中通过对玻璃基板的宏观表面进行检查，可以及时发现制造工艺中的不良缺陷，从而反馈到相关设备中进行工艺参数的调整，进而改善工艺问题，提升产品良率。
2、现有的玻璃基板表面检测装置主要由光源、玻璃基板载台以及驱动机构组成，往往需要人工去对检测结果进行手动记录，...
【技术保护点】
1.一种玻璃基板的检测方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.如权利要求1所述的玻璃基板的检测方法，其特征在于，所述获取待检测玻璃基板上任意一检测点的坐标信息，具体包括：
3.如权利要求1所述的玻璃基板的检测方法，其特征在于，所述根据所述检测点的坐标信息，对所述待检测玻璃基板进行拍照以获取所述待检测玻璃基板的表面图像，具体包括：
4.如权利要求1所述的玻璃基板的检测方法，其特征在于，所述根据所述检测点坐标信息以及所述待检测玻璃基板的表面图像确定并记录所述待检测玻璃基板的表面信息，具体包括：
5.如权利要求4所述的玻璃基板的...
【技术特征摘要】
1.一种玻璃基板的检测方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.如权利要求1所述的玻璃基板的检测方法，其特征在于，所述获取待检测玻璃基板上任意一检测点的坐标信息，具体包括：
3.如权利要求1所述的玻璃基板的检测方法，其特征在于，所述根据所述检测点的坐标信息，对所述待检测玻璃基板进行拍照以获取所述待检测玻璃基板的表面图像，具体包括：
4.如权利要求1所述的玻璃基板的检测方法，其特征在于，所述根据所述检测点坐标信息以及所述待检测玻璃基板的表面图像确定并记录所述待检测玻璃基板的表面信息，具体包括：
5.如权利要求4所述的玻璃基板的检测方法，其特征在于，
6.一种玻璃基板检测系统，其特征在于，包括有夹持装置、图像获取装置、照明装置、定位装置和控制器，所述夹持装置用于夹持待...
【专利技术属性】
技术研发人员：马国永，喻玥，沙双庆，何方，杭传静，顾葆华，朱泽力，
申请(专利权)人：深圳莱宝高科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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