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【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及平板显示玻璃基板检测领域,尤其涉及玻璃基板检测方法及系统。
技术介绍
1、在平板显示领域,液晶显示器(liquid crystal display,lcd)通常需要在玻璃基板上制作薄膜晶体管阵列(thin film transistor,tft)和彩色滤光片(color filter,cf),以实现液晶盒的有源控制和彩色显示。在制作过程中,需要多次经过物理气相沉积(physical vapor deposition,pvd)成膜和化学气相沉积(cvd,chemical vapordeposition)成膜、光刻、刻蚀以及光刻胶去除等多道工序,在上述的每道工序中如果出现大面积的工艺缺陷,例如膜厚不均或者线幅不均等,均可直接体现在玻璃基板的表面上,因此在上述制造工艺中通过对玻璃基板的宏观表面进行检查,可以及时发现制造工艺中的不良缺陷,从而反馈到相关设备中进行工艺参数的调整,进而改善工艺问题,提升产品良率。
2、现有的玻璃基板表面检测装置主要由光源、玻璃基板载台以及驱动机构组成,往往需要人工去对检测结果进行手动记录,无法实现智能化地检测和记录,这种传统的检测装置一方面存在效率低下的问题,另一方面人工记录与玻璃基板真实状况可能存在误差,无法准确地反应真实情况。
3、因此,如何提升玻璃基板表面检测装置的精准度和提高工作效率,已经成为行业内一个急需解决的问题。
技术实现思路
1、本专利技术旨在解决至少一个
技术介绍
中的问题。
2、为此,本专利技术
3、本专利技术的第二个目的在于提出一种玻璃基板检测系统。
4、为达上述目的,根据本专利技术第一方面实施例提出了一种玻璃基板检测方法,获取待检测玻璃基板上任意一检测点的坐标信息;根据所述检测点的坐标信息,对所述待检测玻璃基板进行拍照以获取所述待检测玻璃基板的表面图像;根据所述检测点坐标信息以及所述待检测玻璃基板的表面图像确定并记录所述待检测玻璃基板的表面信息。
5、根据本专利技术的另一个实施例,所述获取待检测玻璃基板上任意一检测点的坐标信息,具体包括:向所述待检测玻璃基板上发出一束激光光线;将所述激光光线与所述待检测玻璃基板的接触点定义为检测点;计算出所述检测点的坐标值。
6、根据本专利技术的另一个实施例,所述根据所述检测点的坐标信息,对所述待检测玻璃基板进行拍照以获取所述待检测玻璃基板的表面图像,具体包括:根据所述检测点的坐标,确定所述检测点在所述待检测玻璃基板上的具体位置;以所述检测点为中心对所述待检测玻璃基板表面进行拍照以获取所述待检测玻璃基板的表面图像。
7、根据本专利技术的另一个实施例,所述根据所述检测点坐标信息以及所述待检测玻璃基板的表面图像确定并记录所述待检测玻璃基板的表面信息,具体包括:将所述检测点坐标信息以及所述待检测玻璃基板的表面图像发送至服务器;在所述服务器中识别所述待检测玻璃基板的标签;根据所述待检测玻璃基板的标签从服务器中读取对应的玻璃基板信息以及工艺流程信息。
8、根据本专利技术的另一个实施例,在所述根据所述待检测玻璃基板的标签从服务器中读取对应的玻璃基板信息以及工艺流程信息之后,还包括:将所述玻璃基板信息以及所述工艺流程信息上传至数据库。
9、为达上述目的,本专利技术第二方面实施例提出了一种玻璃基板检测系统,包括夹持装置、图像获取装置、照明装置、定位装置和控制器,所述夹持装置用于夹持待检测玻璃基板,所述图像获取装置用于对所述待检测玻璃基板进行拍照以获取其表面图像,所述夹持装置、所述图像获取装置、所述照明装置以及所述定位装置与所述控制器电连接。
10、根据本专利技术的另一个实施例,所述夹持装置包括基座、调节机构和载台,所述调节机构的底部设置于所述基座上,且所述调节机构顶部连接有所述载台。
11、根据本专利技术的另一个实施例,所述定位装置包括激光定位器。
12、根据本专利技术的另一个实施例,还包括服务器,所述服务器用于识别所述待检测玻璃基板的标签,并且存储玻璃基板信息以及工艺流程信息。
13、根据本专利技术的另一个实施例,还包括数据库,所述数据库用于记录所述玻璃基板信息以及所述工艺流程信息。
14、与现有技术相比,本专利技术具有以下有益效果:
15、本专利技术实施例的玻璃基板检测方法及系统,通过获取待检测玻璃基板上检测点的坐标信息,根据检测点对待检测玻璃基板进行拍照以获取待检测玻璃基板的表面图像,并最终确定和记录所述待检测玻璃基板的表面信息,通过表面图形的获取,精确地匹配了待检测玻璃基板的表面信息,进而提高了检测的效率。
16、本专利技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出,部分将从下面的描述中变得明显,或通过本专利技术的实践了解到。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种玻璃基板的检测方法,其特征在于,包括以下步骤:
2.如权利要求1所述的玻璃基板的检测方法,其特征在于,所述获取待检测玻璃基板上任意一检测点的坐标信息,具体包括:
3.如权利要求1所述的玻璃基板的检测方法,其特征在于,所述根据所述检测点的坐标信息,对所述待检测玻璃基板进行拍照以获取所述待检测玻璃基板的表面图像,具体包括:
4.如权利要求1所述的玻璃基板的检测方法,其特征在于,所述根据所述检测点坐标信息以及所述待检测玻璃基板的表面图像确定并记录所述待检测玻璃基板的表面信息,具体包括:
5.如权利要求4所述的玻璃基板的检测方法,其特征在于,
6.一种玻璃基板检测系统,其特征在于,包括有夹持装置、图像获取装置、照明装置、定位装置和控制器,所述夹持装置用于夹持待检测玻璃基板,所述图像获取装置用于对所述待检测玻璃基板进行拍照以获取其表面图像,所述夹持装置、所述图像获取装置、所述照明装置以及所述定位装置与所述控制器电连接。
7.如权利要求6所述的玻璃基板检测系统,其特征在于,所述夹持装置包括基座、调节机构和载台,所
8.如权利要求6所述的玻璃基板检测系统,其特征在于,所述定位装置包括激光定位器。
9.如权利要求6所述的玻璃基板检测系统,其特征在于,还包括服务器,所述服务器用于识别所述待检测玻璃基板的标签,并且存储玻璃基板信息以及工艺流程信息。
10.如权利要求9所述的玻璃基板检测系统,其特征在于,还包括数据库,所述数据库用于记录所述玻璃基板信息以及所述工艺流程信息。
...【技术特征摘要】
1.一种玻璃基板的检测方法,其特征在于,包括以下步骤:
2.如权利要求1所述的玻璃基板的检测方法,其特征在于,所述获取待检测玻璃基板上任意一检测点的坐标信息,具体包括:
3.如权利要求1所述的玻璃基板的检测方法,其特征在于,所述根据所述检测点的坐标信息,对所述待检测玻璃基板进行拍照以获取所述待检测玻璃基板的表面图像,具体包括:
4.如权利要求1所述的玻璃基板的检测方法,其特征在于,所述根据所述检测点坐标信息以及所述待检测玻璃基板的表面图像确定并记录所述待检测玻璃基板的表面信息,具体包括:
5.如权利要求4所述的玻璃基板的检测方法,其特征在于,
6.一种玻璃基板检测系统,其特征在于,包括有夹持装置、图像获取装置、照明装置、定位装置和控制器,所述夹持装置用于夹持待...
【专利技术属性】
技术研发人员:马国永,喻玥,沙双庆,何方,杭传静,顾葆华,朱泽力,
申请(专利权)人:深圳莱宝高科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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