一种散热装置及半导体激光器制造方法及图纸

技术编号:43659655 阅读:16 留言:0更新日期:2024-12-13 12:51
本技术涉及激光器技术领域,具体涉及一种散热装置及半导体激光器。本技术提供的散热装置包括热沉和冷却板,所述半导体激光器包括激光芯片,所述激光芯片安装于所述热沉上,所述热沉安装于冷却板上,所述冷却板内设有散热通道,所述散热通道对应所述激光芯片设置,且在所述散热通道的纵截面内,所述散热通道的中部截面积大于两端的截面积,因此散热通道中部流通的冷媒更多,冷却介质流速更大,中部在垂直方向的散热能力更好,中部的散热能力优于两端的散热能力,可以平衡激光芯片中部发热量大于两端发热量而导致的热量分布不均匀的情况,可以实现激光芯片水平温度的一致性,进而减少慢轴远场发散角,提升发光亮度。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体激光器,具体涉及一种散热装置及半导体激光器


技术介绍

1、半导体激光器在先进工业制造、军事、航空航天、医疗美容、照明显示等各个行业都有广泛的应用;随着工业生产的发展,对半导体激光器的功率、亮度及可靠性要求越来越高。

2、半导体激光器在工作时会产生大量的热量影响设备运行,因此目前的半导体激光器对于散热性能有较高的要求。现有技术中半导体激光器的激光芯片设置于热沉上,热沉设置于冷却板上,冷却板内设置散热通道,通过冷却板和热沉对其上的激光芯片进行散热,通道散热结构对应热沉设置,其通常为矩形通道,其截面积相同,因此其散热效率是一致的,但是激光芯片中间温度较两端温度高,导致散热后芯片中间和两段温度不一致,通过现有的通道对激光芯片散热无法保持激光芯片温度的一致性,会导致半导体激光器慢轴远场发散角增大,亮度降低。


技术实现思路

1、(一)本技术所要解决的技术问题是:目前半导体激光器通过冷却板内的微通道对激光芯片进行散热,但是激光芯片的发热不均匀,导致无法使激光芯片的各个部分温度保持一致,激光芯片本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于半导体激光器的散热装置,其特征在于,包括热沉(12)和冷却板(11),所述半导体激光器包括激光芯片(13);

2.根据权利要求1所述的散热装置,其特征在于,所述激光芯片(13)包括脊波导(131),所述脊波导(131),在竖直方向的投影落于所述散热通道(111)的中部。

3.根据权利要求2所述的散热装置,其特征在于,所述激光芯片(13)包括本体,所述本体一侧表面包括对应脊波导(131)位置的第一区域和位于所述第一区域两侧的第二区域;

4.根据权利要求2所述的散热装置,其特征在于,在所述散热通道(111)纵截面中,所述散热通道(111)的截面...

【技术特征摘要】

1.一种用于半导体激光器的散热装置,其特征在于,包括热沉(12)和冷却板(11),所述半导体激光器包括激光芯片(13);

2.根据权利要求1所述的散热装置,其特征在于,所述激光芯片(13)包括脊波导(131),所述脊波导(131),在竖直方向的投影落于所述散热通道(111)的中部。

3.根据权利要求2所述的散热装置,其特征在于,所述激光芯片(13)包括本体,所述本体一侧表面包括对应脊波导(131)位置的第一区域和位于所述第一区域两侧的第二区域;

4.根据权利要求2所述的散热装置,其特征在于,在所述散热通道(111)纵截面中,所述散热通道(111)的截面积由中部向两侧逐渐减小。

5.根据权利要求4所述的散热装置,其特征在于,所述散热通道(111)的纵截面形状呈倒拱形,所述散热通道(111)的拱顶靠近所述冷却板(11)的底部。

6.根据权利要求5所述的散热装置,其特征在于,所述散热通道(111)的最大高度为l1,所述散热通道(111)的最大宽度为l2,所述冷却板(11)的高度为l3,所述脊波导(131)的宽度为l4,所述激光芯片(13)的宽度为l5;

7.根据权利要求4所述的散热装置,其特征在于,所述散热通道(111)呈拱形,所述散热通道(111)的拱顶靠近所述激光芯片(13)设置。

8.根据权利要求7所述的散热装置,其特征在于,所述散热通道(111)的最大高度为z1,所述散热通道(111...

【专利技术属性】
技术研发人员:赵卫东刘育衔杨国文
申请(专利权)人:度亘核芯光电技术苏州有限公司
类型:新型
国别省市:

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