还原回收料的精馏系统技术方案

本技术公开了一种还原回收料的精馏系统，涉及多晶硅生产技术领域，主要目的是降低分离提纯工艺的操作成本和设备成本。本技术的主要技术方案为：还原回收料的精馏系统，包括：还原回收料储罐、反歧化反应器、还原回收精馏塔和四氯化硅提纯塔；所述还原回收料储罐的进口连接于尾气回收工段的高温物料管道；所述四氯化硅提纯塔的进料管连接于所述还原回收精馏塔的塔釜；其中，所述还原回收料储罐的出口和所述反歧化反应器的出口分别连接于所述还原回收精馏塔的进料口，所述还原回收精馏塔的顶采管道连接于三氯氢硅储罐，尾气回收工段的低温物料管道和所述四氯化硅提纯塔的顶采管道分别连接于所述反歧化反应器的进口。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及多晶硅生产，尤其涉及一种还原回收料的精馏系统。

技术介绍

1、改良西门子法是多晶硅最主要的生产工艺。该工艺主要包括冷氢化、精馏、还原、尾气回收四大核心工段。冷氢化工段将工业硅粉转化为氯硅烷混合物(以二氯二氢硅、三氯氢硅、四氯化硅为主，伴有其他金属及非金属的氯化物杂质)，精馏工段将氯硅烷混合物提纯分离为高纯度三氯氢硅，还原工段将精馏工段得到的高纯三氯氢硅在钟罩反应器(还原炉)内发生气相化学沉积反应(cvd)生产出多晶硅棒，尾气回收工段将钟罩反应器内未参加反应的高纯三氯氢硅、氢气和反应副产物二氯二氢硅及四氯化硅冷凝冷却回收，回收后的氯硅烷混合物送至精馏工段继续分离提纯得到高纯三氯氢硅，再次进入还原工段生产多晶硅。

2、现有技术中，还原回收料分离提纯的工艺流程如下：

3、如图1所示，尾气回收工段采用生产设备将还原工段送来的氯硅烷蒸汽混合物冷凝冷却。在上述冷凝冷却过程中，由于氯硅烷的挥发性极强，且二氯二氢硅的凝点低，常规的冷媒可将绝大部分的三氯氢硅和四氯化硅冷凝，二氯二氢硅只有很少的一部分被冷凝为液相。因此氯硅烷混合物经过一次冷凝本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种还原回收料的精馏系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的还原回收料的精馏系统，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的还原回收料的精馏系统，其特征在于，

【技术特征摘要】

1.一种还原回收料的精馏系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的还原回收料...

【专利技术属性】
技术研发人员：张德奇，冷文辉，马锐，罗佳林，陈文吉，裴雅晨，
申请(专利权)人：新疆大全新能源股份有限公司，
类型：新型
国别省市：