【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于电子显微镜，尤其涉及一种透射电子显微镜快速采集的位置校正方法。
技术介绍
1、透射电子显微镜（tem）是材料研究表征的重要科学仪器，广泛的应用与材料学、生物学、微电子学等领域；透射电子显微镜快速采集和多角度成像，是tem表征中非常重要的技术需求，受限于精确位置的校正，采集过程很难实现自动化的处理过程。
2、尽管高精度的样品台可以实现细微的位移控制，但在多角度采集过程中，仍可能由于机械误差导致样品位置的偏移；目前商业的自动化系统，通过复杂的光路拟合，可以一定程度上实现自动样品采集，但是操作难度大、维护成本高，尤其是在需要频繁调整和校准的情况下，可能导致图像模糊，这对于后续的图像处理是个显著的障碍。
3、文献j.phys.chem.c,2020,124,27276−2728，sci. rep. 2015, 5, 14516.中公开了快速采集在断层重构中的重要性，并通过图像录制，图像后期优化处理的方式实现了数据的快速采集和三维重构；但是研究者局限于大视野内的小颗粒采集，采集过程中，颗粒不会偏移超出视野之外...
【技术保护点】
1.一种透射电子显微镜快速采集的位置校正方法，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的一种透射电子显微镜快速采集的位置校正方法，其特征在于：倾转角度在-70°到70°的范围内。
3.根据权利要求1所述的一种透射电子显微镜快速采集的位置校正方法，其特征在于：
4.根据权利要求1所述的一种透射电子显微镜快速采集的位置校正方法，其特征在于：利用多项式函数拟合横坐标和纵坐标。
5.根据权利要求1所述的一种透射电子显微镜快速采集的位置校正方法，其特征在于：利用线性函数拟合聚焦值。
6.一种透射电子显微镜的控制系统，其特征...
【技术特征摘要】
1.一种透射电子显微镜快速采集的位置校正方法，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的一种透射电子显微镜快速采集的位置校正方法，其特征在于：倾转角度在-70°到70°的范围内。
3.根据权利要求1所述的一种透射电子显微镜快速采集的位置校正方法，其特征在于：
4.根据权利要求1所述的一种透射电子显微镜快速采集的位置校正方法，其特征在于：利用多项式函数拟合横坐标和纵坐标。
5.根据权利要求1所述的一种透射电子显微镜快速采集的位置校正方法，其特征在于：利用线性函数拟合聚焦值。
6.一种透射电子显微镜的控制系统，其特征在于，连续采集不同...
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