一种EBSD数据的矫正拼接方法技术

本发明专利技术提供一种EBSD数据的矫正拼接方法，涉及EBSD数据处理技术领域。该方法首先将EBSD数据转换为取向成像图，并对取向成像图进行拼接矫正获得标准图和待矫正图，匹配对齐并筛选出标准图和待矫正图的有效特征数据点，通过有效特征数据点计算待矫正图中出畸变的像素点矫正回标准位置的目标变换矩阵，并对取向成像图数据集中的每一张取向成像图中可识别的数据点进行相同的矩阵变换得到矫正的数据点，并对矫正后的数据点的格式进行标准化进而得到矫正标准化后的EBSD数据，对所有EBSD数据进行拼图，确定拼接处是否完全拼接，若有拼接痕，重新匹配特征数据点，重复这一过程直至拼接数据无拼接痕。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及ebsd数据处理，尤其涉及一种ebsd数据的矫正拼接方法。

技术介绍

1、电子背散射衍射(electron backscattered diffraction，简称ebsd)是一种在扫描电子显微镜（sem）上应用的重要材料表征技术。它通过分析从样品表面反射回来的高能电子产生的衍射花样来获取晶体微区的取向和结构信息。近年来，随着探测器采集频率的革命性升级，分析速率可超过4500pps，并且可以在不需要高束流或牺牲花样分辨率的条件下快速定量统计研究材料的微观组织结构和织构。这意味着，ebsd技术可以摆脱微区检测的藩篱，对大面积样品的织构、晶粒取向、微观结构、晶粒尺寸和形貌等进行精细表征。同时，随着科研统计性的不断严苛，ebsd拼图技术应用愈发广泛。但ebsd测试时为保证高的空间解析率，大多采用动态聚焦技术，这是指电子枪扫描屏幕时，对电子束在屏幕中心和四角聚焦上的差异进行自动修补的功能。普通的电子枪聚焦时会产生散光现象，即在边角时像素点垂直方向和水平方向的焦距长度不统一，散光现象在屏幕四周最为明显。为了减少这种情况的发生，需要对电子枪作动态补偿，使本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种EBSD数据的矫正拼接方法，其特征在于：包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种EBSD数据的矫正拼接方法，其特征在于：所述步骤1的具体方法为：

3.根据权利要求2所述的一种EBSD数据的矫正拼接方法，其特征在于：所述步骤2的具体方法为：

4.根据权利要求3所述的一种EBSD数据的矫正拼接方法，其特征在于：所述步骤2.2的目标变换矩阵基于matchFeatures函数计算得到，具体过程为：

5.根据权利要求4所述的一种EBSD数据的矫正拼接方法，其特征在于：所述步骤2.2.1的具体方法为：

6.根据权利要求5所述的一...

【技术特征摘要】

1.一种ebsd数据的矫正拼接方法，其特征在于：包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种ebsd数据的矫正拼接方法，其特征在于：所述步骤1的具体方法为：

3.根据权利要求2所述的一种ebsd数据的矫正拼接方法，其特征在于：所述步骤2的具体方法为：

4.根据权利要求3所述的一种ebsd数据的矫正拼接方法，其特征在于：所述步骤2.2的目标变换矩阵基于...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹耕晟，孙永辉，常松涛，沙玉辉，张芳，左良，
申请(专利权)人：东北大学，
类型：发明
国别省市：