【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及真空调节阀压力控制，具体而言，涉及一种真空调节阀压力控制系统及其控制方法。
技术介绍
1、调节阀在不同的真空环境下能够有效地控制真空腔体的压力，在半导体工艺、新型显示制造及太阳能等领域广泛应用。在真空系统中，调节阀安装到进气或排气口，与真空腔设备连接，通过控制算法调节阀板实现压力的控制，然而目前的真空调节阀压力控制系统在控制阀板转动时未能同时兼顾速度和精度，当阀板以较高速度转动时其实际位置往往与指定位置存在难以控制的较大误差，致使真空腔的腔体压力不稳定，导致目前真空调节阀压力控制系统无法满足生产线所要求的响应速度和稳定性。
2、针对上述问题，目前尚未有有效的技术解决方案。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种真空调节阀压力控制系统及其控制方法，解决了目前真空调节阀压力控制系统无法满足生产线所要求的响应速度和稳定性的问题，达到提高系统响应速度和稳定性的效果。
2、第一方面，本专利技术提供了一种真空调节阀压力控制系统的控制方法，包括通过阀门转速模...
【技术保护点】
1.一种真空调节阀压力控制系统的控制方法，其特征在于，包括通过阀门转速模型获得指定转速后，根据所述指定转速控制真空调节阀的阀板转动到指定的角度位置；所述阀门转速模型基于PWM脉冲频率和Simoid函数建立。
2.根据权利要求1所述的真空调节阀压力控制系统的控制方法，其特征在于，所述Simoid函数的具体表达式为：
3.根据权利要求2所述的真空调节阀压力控制系统的控制方法，其特征在于，通过阀门转速模型获得指定转速包括根据以下公式计算所述指定转速：
4.根据权利要求1所述的真空调节阀压力控制系统的控制方法，其特征在于，在所述真空调节阀上...
【技术特征摘要】
1.一种真空调节阀压力控制系统的控制方法，其特征在于，包括通过阀门转速模型获得指定转速后，根据所述指定转速控制真空调节阀的阀板转动到指定的角度位置；所述阀门转速模型基于pwm脉冲频率和simoid函数建立。
2.根据权利要求1所述的真空调节阀压力控制系统的控制方法，其特征在于，所述simoid函数的具体表达式为：
3.根据权利要求2所述的真空调节阀压力控制系统的控制方法，其特征在于，通过阀门转速模型获得指定转速包括根据以下公式计算所述指定转速：
4.根据权利要求1所述的真空调节阀压力控制系统的控制方法，其特征在于，在所述真空调节阀上电时，执行以下步骤：
5.根据权利要求4所述的真空调节阀压力控制系统的控制方法，其特征在于，步骤a2中的具体步骤包括：
6.根据权利要求4所述的真空调节...
【专利技术属性】
技术研发人员：托乎提努尔，肖永能，胡强，苏艮英，刘凯翔，
申请(专利权)人：季华实验室，
类型：发明
国别省市：
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