【技术实现步骤摘要】
本技术涉及光学镜头,特别涉及可连续变倍的电动扩束镜头。
技术介绍
1、波长为365nm的紫外激光常被用于缺陷检测、老化测试、激光雕刻等领域。在不同的使用场景中,对于激光束的能量、准直度等指标要求各不相同,对于激光加工,只有通过扩束镜的调节使激光光束变为准直光束,才能利用聚焦镜获得细小的高功率密度光斑。而当前应用于365nm波长的扩束镜中,多为定倍或手动定点调节镜片位置实现变倍,此类镜头在变倍时需要反复拆装及重新校准光轴一致性。
技术实现思路
1、本技术的主要目的是提出一种可连续变倍的电动扩束镜头,应用在深紫外激光,利用电控能够自主控制倍率,在变倍过程中无需拆装扩束镜,省去对检测光路的反复校调,极大程度降低因装调误差而对检测结果产生的影响。
2、为实现上述目的,本技术提出一种可连续变倍的电动扩束镜头,包括镜片组件和电驱组件,所述镜片组件包括沿光轴方向依次设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜,所述电驱组件驱使所述第二透镜和所述第三透镜沿光轴方向做直线活动,以实现1.5x-2
...【技术保护点】
1.一种可连续变倍的电动扩束镜头,其特征在于,包括镜片组件和电驱组件,所述镜片组件包括沿光轴方向依次设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜,所述电驱组件驱使所述第二透镜和所述第三透镜沿光轴方向做直线活动,以实现1.5X-2.5X连续变焦。
2.如权利要求1所述的可连续变倍的电动扩束镜头,其特征在于,所述第一透镜和所述第四透镜为负光焦度,所述第二透镜和所述第三透镜为正光焦度。
3.如权利要求2所述的可连续变倍的电动扩束镜头,其特征在于,所述第一透镜的光焦度为φ1,所述第二透镜的光焦度为φ2,所述第三透镜的灯光角度为φ3,所述第四透镜的光焦度
...【技术特征摘要】
1.一种可连续变倍的电动扩束镜头,其特征在于,包括镜片组件和电驱组件,所述镜片组件包括沿光轴方向依次设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜,所述电驱组件驱使所述第二透镜和所述第三透镜沿光轴方向做直线活动,以实现1.5x-2.5x连续变焦。
2.如权利要求1所述的可连续变倍的电动扩束镜头,其特征在于,所述第一透镜和所述第四透镜为负光焦度,所述第二透镜和所述第三透镜为正光焦度。
3.如权利要求2所述的可连续变倍的电动扩束镜头,其特征在于,所述第一透镜的光焦度为φ1,所述第二透镜的光焦度为φ2,所述第三透镜的灯光角度为φ3,所述第四透镜的光焦度为φ4,其中,-0.032≤φ1≤-0.030,0.015≤φ2≤0.020,0.006≤φ3≤0.008,-0.003≤φ4≤-0.002。
...【专利技术属性】
技术研发人员:江宝林,朱红伟,邱盛平,
申请(专利权)人:成都联江科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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