一种用于TGV玻璃生产的打孔工装制造技术

本技术公开了一种用于TGV玻璃生产的打孔工装，涉及TGV玻璃生产技术领域，包括工作台，所述工作台的表面上方中部固定安装有放置架，所述工作台的表面上方左右两侧均固定安装有支撑柱，所述支撑柱的上方对向一侧中部设置有调节机构，所述调节机构的下方设置有激光打孔头，所述调节机构包括分别固定安装于两侧支撑柱表面上方对向一侧的横架，且左侧横架的内表面通过轴承转动设置有第一丝杆，并且右侧横架的内表面固定安装有第一导向杆。该用于TGV玻璃生产的打孔工装，与现有的普通用于TGV玻璃生产的打孔工装相比，通过调节机构，使激光打孔头在同一平面内，能够进行任意移动，对玻璃的任何位置都能够进行精确打孔，使用更加灵活，实用性更高。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及tgv玻璃生产，具体为一种用于tgv玻璃生产的打孔工装。

技术介绍

1、tgv玻璃是一种用于先进三维集成电路技术的材料，而tgv代表穿过玻璃基板的垂直电气互连。与tsv相对应，它使用高品质硼硅玻璃或石英玻璃作为基材，通过种子层溅射、电镀填充、化学机械平坦化、rdl再布线和bump工艺来制作微通孔，这些微通孔的直径通常为10μm到100μm。tgv技术因其低成本、易于获取大尺寸超薄玻璃衬底，以及高频电学性能优异等特点，被认为是下一代三维集成的关键技术，而tgv玻璃在生产过程中，需要通过打孔设备对特定的玻璃板进行打孔，才能够将电路技术材料穿过，与玻璃板装配，进而形成tgv玻璃。

2、如申请号为201921484065.2的公开文件，公开了一种玻璃基板激光打孔加工装置，该技术首先可以方便调节激光打孔头的位置，这样就能够快速完成对玻璃基板的打孔，而且还减轻了工作人员的劳动力度，然后还能够快速完成对加工中的玻璃基板进行降温，这样就充分提高了玻璃基板加工的工作效率，同时，也进一步提高了整个激光打孔设备的实用性，但是该打孔工装，对玻璃进行打孔时，只本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于TGV玻璃生产的打孔工装，包括工作台(1)，其特征在于，所述工作台(1)的表面上方中部固定安装有放置架(2)，所述工作台(1)的表面上方左右两侧均固定安装有支撑柱(3)，所述支撑柱(3)的上方对向一侧中部设置有调节机构(4)，所述调节机构(4)的下方设置有激光打孔头(5)；

2.根据权利要求1所述的一种用于TGV玻璃生产的打孔工装，其特征在于，所述调节板(405)与第一丝杆(402)螺纹连接，与第一导向杆(403)滑动连接，且移动块(408)与第二丝杆(406)螺纹连接，与第二导向杆(407)滑动连接，并且激光打孔头(5)与移动块(408)的下端固定连接。

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【技术特征摘要】

1.一种用于tgv玻璃生产的打孔工装，包括工作台(1)，其特征在于，所述工作台(1)的表面上方中部固定安装有放置架(2)，所述工作台(1)的表面上方左右两侧均固定安装有支撑柱(3)，所述支撑柱(3)的上方对向一侧中部设置有调节机构(4)，所述调节机构(4)的下方设置有激光打孔头(5)；

2.根据权利要求1所述的一种用于tgv玻璃生产的打孔工装，其特征在于，所述调节板(405)与第一丝杆(402)螺纹连接，与第一导向杆(403)滑动连接，且移动块(408)与第二丝杆(406)螺纹连接，与第二导向杆(407)滑动连接，并且激光打孔头(5)与移动块(408)的下端固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于tgv玻璃生产的打孔工装，其特征在于，所述放置架(2)的表面上方中...

【专利技术属性】
技术研发人员：阮金陵，卞富强，
申请(专利权)人：江苏美东半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：