一种PTFE复合驻极体压电敏感器件及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种PTFE复合驻极体压电敏感器件及其制备方法。所述制备方法包括：进行等离子体处理，形成位于表面的过氧基团；薄膜叠加，形成三明治结构；与丙烯酸溶液接触，以使丙烯酸溶液充满各层间隙，然后进行热处理引发丙烯酸聚合反应获得组合前体；对组合前体进行热压处理以及极化处理，并设置电极，获得PTFE复合驻极体压电敏感器件。本发明专利技术在层间通过原位接枝及聚合反应形成了具有化学键连接的连接层，利用该连接层的高介电常数以及高结合能力的特点，避免了界面的电荷流失和环境侵蚀，从而提高了压电器件的耐久性和稳定性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种ptfe复合驻极体压电敏感器件及其制备方法，属于压电传感器件领域，尤其是机电能量转换复合膜的压电。

技术介绍

1、本部分的描述仅提供与本专利技术公开相关的背景信息，而不构成现有技术。

2、驻极体是指具有长期储存电荷能力的固体电介质材料，早期的驻极体材料一般是陶瓷的，后来发展出有机高聚物薄膜驻极体材料，相比惯用的无机陶瓷功能电介质，它具有柔软性、易加工、长寿命、低成本、高湿环境中电荷储存的长寿命等优点，这类驻极体稳定性和重复性都很好，在压电传感中得到广泛应用。

3、有机高聚物薄膜中，聚四氟乙烯(ptfe)又称特氟龙，其良好的化学稳定性，极低的吸湿性，特殊的结构形态赋予，并且他们良好的电荷储存能力和储

4、有机高聚物薄膜中，聚四氟乙烯(ptfe)又称特氟龙，特殊的结构形态赋予其良好的化学稳定性，极低的吸湿性，良好的电荷储存能力和储存稳定性，在工业化驻极体材料应用中占据绝对优势。

5、而单层聚四氟乙烯驻极体薄膜的压电灵敏度不足，因此通常采用多层聚四氟乙烯薄膜复合的技术方案，其中一种典型的代表性方案本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种PTFE复合驻极体压电敏感器件的制备方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，还包括：

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述等离子体处理包括亲水性处理和官能团处理；

4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述等离子体处理具体包括：

5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述惰性载气、氨气和水蒸气的体积流量比例为100：(0.3-0.8)：(0.1-0.4)；

6.根据权利要求3-5中任意一项所述的制备方法，其特征在于，所述等离子体处理的极板间距为5-10cm，等...

【技术特征摘要】

1.一种ptfe复合驻极体压电敏感器件的制备方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，还包括：

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述等离子体处理包括亲水性处理和官能团处理；

4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述等离子体处理具体包括：

5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述惰性载气、氨气和水蒸气的体积流量比例为100：(0.3-0.8)：(0.1-0.4)；

6.根据权利要求3-5中任意一项所述的制备方法，其特征在于，所述等离子体处理的极板间距为5-10cm，等离子体功率为500-1000w，等离子体腔室中的气体压强为0.2-0.5torr，处理时间为1000-3000s。

7.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述丙...

【专利技术属性】
技术研发人员：小张隼一，大宫弓奈，赵依依，宫继业，
申请(专利权)人：上海大宫新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：