导电板的制作方法技术

本发明专利技术涉及一种导电板的制作方法。此导电板的制作方法包括：提供具多个纳米单元的导电膜；将导电膜置于基材上；以及后处理已置于基材上的导电膜。于此，先行将导电膜置于基材上，再进行后处理，可提升制造过程的生产速度与良率，同时导电膜可以不间断的大面积导入。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种。
技术介绍
纳米碳管(CarbonNanotube，CNT)是一种由碳原子组成、直径为纳米等级的中空 管状物，随着纳米碳管的长度、直径和螺旋方式的变化，纳米碳管可呈现出金属性质或半导 体性质，由于纳米碳管的优异特性，因此可望在许多不同
中发挥重要作用。由于CNT具有导电性，因此陆续有人尝试以CNT制作成导电膜。以CNT所制作的 导电膜而言，其制作条件相对制作铟锡氧化物(Indium Tin Oxide, IT0)等透明导电膜要 来的容易，且制作成本相对其他透明导电膜来的低廉。因为透明导电膜其光学级穿透度上 的需求，因此以CNT所制作成的透明导电膜需要把CNT本身的密度降低，以达成较高的穿透 度。目前所使用的方式为将生长于晶圆(或其它基板)上的CNT丛集，通过机械力量来将 晶圆(或其它基板)上的CNT丛集悬空拉伸成一透明状导电膜。同时使用激光扫描上述的半透明状导电膜，通过激光集中能量式的方法来燃烧一 部分的CNT，以达到提升穿透率的效果。最后再将激光处理过后的CNT透明导电膜以微速小心贴到已上胶的基板上，用以 将CNT透明导电膜固定在基板上。但是这种在晶圆(或其它基板)上将CNT拉伸成透明状导电膜后，即先行以激光 处理以提升穿透率的方式的缺点是1.因激光处理的过程是在悬空状态下燃烧一部分的CNT，因此悬空部分的CNT面 积如果过大，则会受重力影响使制造过程不稳定，进而机台的生产速度与良率受到限制。因 此使得悬空部分的CNT面积会受到限制。2.激光处理后的CNT透明导电膜会因为CNT密度降低使得其机械强度也跟着下 降，因此制造过程中的微小气流都可能造成良率影响，例如机械动作气流扰动、热循环气流等。3.由于悬空的CNT透明导电膜的机械强度脆弱，因此在激光处理时需注意到激光 的能量功率及密度。由于CNT本身无法实时消散过高的激光功率所产生的热能，因此会导 致CNT在制造过程中被烧断，因此限制了生产速度与制造过程参数范围，例如激光能量不 能过高、激光扫瞄方向要垂直于CNT等。
技术实现思路
为了解决现有技术中导电板制造过程的生产速度与良率较低，且制造过程参数不 易控制，同时导电膜不能不间断的大面积导入的问题，有必要提供一种制造过程的生产速 度与良率较高，且制造过程参数容易控制，同时导电膜可以不间断的大面积导入的导电板 的制作方法。一种，其包括提供具多个纳米单元的一导电膜；将该导电膜4置于一基材上；和后处理已置于该基材上的该导电膜。相较于现有技术，本专利技术所揭露的该首先将导电膜置于基材 上，再对已置于基材上的导电膜进行激光等后处理，于此可提升制造过程的生产速度与良 率，且制造过程参数较易控制，同时导电膜可以不间断的大面积导入。附图说明图1是本专利技术的第一具体实施方式的各步骤的流程图。图2是本专利技术导电板制备系统的第一具体实施方式的示意图。图3是本专利技术的第二具体实施方式的各步骤的流程图。图4是本专利技术导电板制备系统的第二具体实施方式的示意图。具体实施例方式根据本专利技术的包括首先提供具多个纳米单元的一导电膜；接 着将导电膜置于一基材上；以及后处理已置于基材上的导电膜。请参阅图1和图2，图1是本专利技术第一具体实施方式的中各步骤 的流程图，图2是本专利技术第一具体实施方式的导电板制备系统示意图。在本实施方式中，首 先提供具多个纳米单元的导电膜。其中提供具多个纳米单元的导电膜的步骤可包括步骤S10:提供一底材；步骤Sll 形成多个纳米单元于底材上；以及步骤S12 拉伸处理该等纳米单元以形成一导电膜。上述的步骤10到步骤S12在第二供应装置50内完成。第二供应装置50包括 成膜装置51与拉膜装置52。首先将底材置于成膜装置51内，底材可为晶圆、石墨或石 英等含硅材料。成膜装置51可透过电弧放电法(Arc Discharge)、激光蒸发法(Laser Vaporization)或有机气相沉积法(Chemical Vapor Deposition)等方式于底材上形成一 膜层结构。膜层结构是布满底材，且膜层结构是由多个纳米单元所组成的一集合结。纳米 单元例如是纳米碳管、纳米粒子等。上述的纳米单元可以为非等向性形状的纳米单元，所谓 非等向性形状的纳米单元是形状上长度与宽度不同的纳米单元。当于底材上形成一膜层结构后，接着由拉膜装置52透过机械直接施力自底材上 拉出膜层结构而形成一导电膜。详言之，底材上的多个纳米单元中的一纳米单元受到外部 拉力而离开底材时，与该纳米单元邻近的另一纳米单元会因为与该纳米单元之间的凡得瓦 力的作用而一并被带离底材。于此，当底材上的多个纳米单元中受到外部拉力而离开底材时，其中每一受到外 部拉力的纳米单元后会串接起多个纳米单元以形成一纳米单元束，因此可将底材上的多个 纳米单元以拉伸处理的方式形成具多个纳米单元束的导电膜，且这些纳米单元束之间是以 一定向排列来配置。就具一定排列配向的导电膜而言，在沿着该定向排列的方向来配置的纳米单元束 的方向上的电阻抗较小，在沿着不同于该定向排列配向的方向来配置的纳米单元束的方向 上的电阻抗较大，因此所形成的具一定排列配向的导电薄膜具电异向性。在此，所谓的电异 向性又称导电异向性或称电阻抗异向性，是指不同方向上具有不同的导电性质或电阻抗性5质。由底材上所拉伸出的具多个纳米单元的导电膜可于拉伸后以卷材方式保存，因此 第二供应装置50可是以卷材方式或以片材方式提供具多个纳米单元的导电膜。第二供应 装置50可为第二卷材。上述的将导电膜置于基材上的步骤可包括步骤S13 提供一基材；上述的步骤S13是当第二供应装置50提供具多个纳米单元的导电膜的同 时，由第一供应装置60提供基材。基材可为一透明材料。透明材料基材可包括玻璃 基材、高分子透明材料基材。其中高分子透明材料基材可为包括有聚甲基丙烯酸甲酯 (Polymethylmethacrylate, PMMA)、聚对苯二甲酸乙二酉旨(Polyethylene Terephthalate, PET)或聚碳酸酯树脂(Polycarbonate，PC)的基材。但是，在本专利技术的基材为高分子透明 材料基材的情况下，高分子透明材料并不以上述例为限，也可为其它高分子透明材料。其中 基材具可挠性。其中第一供应装置60以卷材方式或以片材方式提供基材。第一供应装置60可为 第一卷材。上述的第一供应装置60所提供的基材与上述的第二供应装置50所提供的具多个 纳米单元的导电膜是由带动装置70所带动。基材与导电膜由带动装置70先行带动到结合 装置80。由结合装置80将导电膜置于基材上以形成一复合材。其中结合装置80可为滚筒 以通过转动来带动基材与导电膜的结合，也可是透过机械来置放导电膜在基材上以使基材 与导电膜的结合等方式。上述的将导电膜置于基材上的步骤更可包括步骤S14 提供一胶体；以及步骤S15 利用胶体使导电膜承载于基材上。所述的步骤S14可以为基材的表面是已事先附着一黏着物，例如黏胶等，也可是 透过一上胶装置90透过涂布、滴定等方式在基材上形成胶体。胶体可依固化方式的不同选 择用光固化胶、热固化胶或光热固化胶。所谓的光固化胶指会受特定波段的光线照射而固 化的胶体，例如是紫外线硬化胶(Ultraviolet Glue)，而所谓的 固化胶则指会本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种导电板的制作方法，其特征在于：该导电板的制作方法包括：提供具多个纳米单元的一导电膜；将该导电膜置于一基材上；和后处理已置于该基材上的该导电膜。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：吴志笙，郑嘉雄，施博盛，赵志涵，冯辰，
申请(专利权)人：群康科技深圳有限公司，群创光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：94[中国|深圳]