【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及减震装置，特别是涉及一种减震装置。
技术介绍
1、在传统电子显微镜与扫描探针成像应用中，通常采用减震块来降低振动，并通过较长金属波纹管连接。因分子泵距离电镜越近，实际真空效率越高，为了优化真空系统性能，需要尽量缩短真空波纹管长度。经优化后的波纹管应处于自然悬垂状态，且电镜与减震块在波纹管轴线方向上均不受拉应力。然而，由于电镜与减震块相对位置固定，且真空系统压力变化会导致连接二者的波纹管长度发生变化，造成波纹管受电子显微镜上相关元件拉应力。如，在提高真空系统真空度时，波纹管收缩会引起应力，以至该连接变成刚性连接，进而增加振动传递。
技术实现思路
1、鉴于以上所述现有技术的缺点，本专利技术的目的在于提供一种减震装置，用于解决现有技术中减震块减震效果不佳的问题。
2、为实现上述目的及其他相关目的，本专利技术提供一种减震装置，包括：
3、支撑平台；
4、固定板，设置在所述支撑平台上；
5、位移组件，沿第一方向可移动地设置在所述固定板上；
6、减本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种减震装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的减震装置，其特征在于，所述位移组件包括第一支撑板，所述第一支撑板的外侧壁上分别设置有第一限位块，所述第一支撑板具有用于支撑所述减震块的第一面，各个所述限位块与所述第一面围成限位区域，所述减震块设置在所述限位区域内。
3.根据权利要求2所述的减震装置，其特征在于，所述位移组件还包括第二支撑板，所述第二支撑板上设置有转动轴承，所述第一支撑板通过所述转动轴承可水平转动地设置在所述第二支撑板上。
4.根据权利要求3所述的减震装置，其特征在于，所述位移组件还包括第三支撑板，所述第第...
【技术特征摘要】
1.一种减震装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的减震装置，其特征在于，所述位移组件包括第一支撑板，所述第一支撑板的外侧壁上分别设置有第一限位块，所述第一支撑板具有用于支撑所述减震块的第一面，各个所述限位块与所述第一面围成限位区域，所述减震块设置在所述限位区域内。
3.根据权利要求2所述的减震装置，其特征在于，所述位移组件还包括第二支撑板，所述第二支撑板上设置有转动轴承，所述第一支撑板通过所述转动轴承可水平转动地设置在所述第二支撑板上。
4.根据权利要求3所述的减震装置，其特征在于，所述位移组件还包括第三支撑板，所述第第二支撑板沿第二方向可移动地设置在所述第三支撑板上，所述第一方向和第二方向相互垂直。
5.根据权利要求4所述的减震装置，其特征在于，所述第三支撑板上沿第二方向设置有第一滑轨，所述第二支撑板与所述第三支撑板的相对侧设置有第一滑块，所述第一滑块与所述第一滑轨相配合。
6.根据权利要...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。