一种半导体封装设备用流量计制造技术

本技术涉及流量计技术领域，且公开了一种半导体封装设备用流量计，包括测量管，所述测量管一侧套接有安装套环，所述安装套环中部安装有卡合组件，所述安装套环侧部卡合连接有进气管，所述进气管通过所述卡合组件与所述测量管卡合连接，所述测量管中部安装有电源箱，所述电源箱中部通过固定螺栓固定安装有显示屏，所述测量管另一侧插接有出气管，通过卡合组件中安装套环的设置，在进气管与流量计进行安装时，尽可能的使得流量计安装较为便捷，通过密封垫的设置，在流量计与进气管安装后，密封垫对流量计与进气管连接处进行密封处理，那么通过密封垫的安装，使得流量计与进气管之间的安装密封性较好。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及流量计，具体为一种半导体封装设备用流量计。

技术介绍

1、半导体封装设备用流量计的
技术介绍
主要涉及精确的流量测量和控制技术，这是确保半导体制造过程中气体供应稳定、流量控制准确的关键环节。半导体制造过程对气体的用量和质量有着严苛的要求，因此，流量计在半导体封装设备中扮演着至关重要的角色，半导体流量计的原理通常基于热传导效应，它利用物质流过芯片时，由于芯片上的金属电阻发生温度差而引起的电阻变化来测量流量，在半导体封装过程中，气体质量流量计可以精确测量和控制不同气体的流量，确保半导体制造过程中气体的稳定供应和流量的准确控制。

2、现有技术中，大多在半导体进行封装过程中，需要对气体进行流量的测量，如若流量计与进气管采用螺栓固定的方式进行安装时，那么在气体通过进气管流通时，螺栓连接处很有可能出现漏气或密封不彻底的情况，便会影响后续测量结果；因此，不满足现有的需求，对此我们提出了一种半导体封装设备用流量计。

技术实现思路

1、本技术提供了一种半导体封装设备用流量计，具备在进气管与流量计进行安装时安装本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种半导体封装设备用流量计，包括测量管(120)，其特征在于：所述测量管(120)一侧套接有安装套环(170)，所述安装套环(170)中部安装有卡合组件(320)，所述安装套环(170)侧部卡合连接有进气管(110)，所述进气管(110)通过所述卡合组件(320)与所述测量管(120)卡合连接，所述测量管(120)中部安装有电源箱(150)，所述电源箱(150)中部通过固定螺栓(160)固定安装有显示屏(140)，所述测量管(120)另一侧插接有出气管(130)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体封装设备用流量计，其特征在于：所述卡合组件(320)包括开设在所述安装套环...

【技术特征摘要】

1.一种半导体封装设备用流量计，包括测量管(120)，其特征在于：所述测量管(120)一侧套接有安装套环(170)，所述安装套环(170)中部安装有卡合组件(320)，所述安装套环(170)侧部卡合连接有进气管(110)，所述进气管(110)通过所述卡合组件(320)与所述测量管(120)卡合连接，所述测量管(120)中部安装有电源箱(150)，所述电源箱(150)中部通过固定螺栓(160)固定安装有显示屏(140)，所述测量管(120)另一侧插接有出气管(130)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体封装设备用流量计，其特征在于：所述卡合组件(320)包括开设在所述安装套环(170)中部的安装槽(250)，所述安装槽(250)中部固定安装有固定块(180)，所述固定块(180)与所述进气管(110)插接，所述固定块(180)侧部设置有密封垫(200)，所述密封垫(200)与卡块(190)接触连接。

3.根据权利要求2所述的一种半导体封装设备用流量计，其特征在于：所述固定块(180)侧部开设有卡合槽(220)，所述卡合槽(220)中部卡合连接有弹性块(210)，所述弹性块(210)与所述进气管(110)侧部连接。

4.根据权利要求3所述的一种半导体封装设备用流量计，其特征在于：所述固定块(180)侧部安装有转...

【专利技术属性】
技术研发人员：史久轩，周莉明，张立丰，
申请(专利权)人：余姚市金泰仪表有限公司，
类型：新型
国别省市：