一种刻蚀机恒压滴液系统技术方案

本技术涉及一种光伏湿法的刻蚀设备，尤其是一种刻蚀机恒压滴液系统，包括：滴液箱，用于存放纯水；恒压管，设于所述滴液箱的下方，且与所述滴液箱相通；若干手动隔膜阀，设于所述恒压管上；若干气动隔膜阀，设于所述手动隔膜阀上，且与所述手动隔膜阀一一对应；以及若干滴水刀，设于所述气动隔膜阀上，且与所述气动隔膜阀一一对应。本技术提供的一种刻蚀机恒压滴液系统既能保证滴液的稳定性和均匀性，同时能保证长期稳定的运行，减少售后维修维护成本，降低了人工成本，同时提高了清洗的产能。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种光伏湿法的刻蚀设备，尤其是一种刻蚀机恒压滴液系统。

技术介绍

1、现有技术中在刻蚀清洗设备上为了将纯水均匀的滴落在硅片上表面，使硅片上表面形成均匀且完整的水膜达到只刻蚀硅片下表面，采用的是微型隔膜泵做动力，从滴液箱吸纯水，纯水由管道输送，经过滴水刀进行分流，均匀的滴落在硅片上表面。微型隔膜泵使用模拟电压调速，频繁启停，会导致微型隔膜泵过早损坏，使用寿命短；此外，微型隔膜泵对纯水介质要求太高，如纯水介质中含有灰尘，油污等污染物会污染微型隔膜泵泵内零部件，会导致微型隔膜泵的流量小达不到使用需求，或过早损坏。由于微型隔膜泵频繁损坏，增加了更换检修时间，影响刻蚀清洗设备稳定性，降低了设备产能。再者，由于出水量仅仅依靠微信隔膜泵控制，导致滴水刀的出水不均匀，也不稳定。

技术实现思路

1、为解决上述滴水刀出水不均匀、不稳定、微型隔膜泵容易损坏导致设备稳定性低以及影响产能的问题，本技术提供一种刻蚀机恒压滴液系统，具体技术方案为：

2、一种刻蚀机恒压滴液系统，包括：滴液箱，用于存放纯水；恒压管，设于本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种刻蚀机恒压滴液系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种刻蚀机恒压滴液系统，其特征在于，所述恒压管(5)上还设有排气管(4)。

3.根据权利要求1所述的一种刻蚀机恒压滴液系统，其特征在于，还包括：浮球(2)，设于所述滴液箱(1)内。

4.根据权利要求1所述的一种刻蚀机恒压滴液系统，其特征在于，还包括：若干固定板(91)，设于所述气动隔膜阀(7)和所述手动隔膜阀(6)上。

【技术特征摘要】

1.一种刻蚀机恒压滴液系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种刻蚀机恒压滴液系统，其特征在于，所述恒压管(5)上还设有排气管(4)。

3.根据权利要求1所述的一种刻蚀机恒压滴液...

【专利技术属性】
技术研发人员：王学卫，谷士斌，代聪，
申请(专利权)人：无锡釜川科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：